The invention provides a preparation method of a high-purity refractory metal block, which relates to the technical field of metal metallurgy. A preparation method of high purity refractory metal block is made of metal cladding material, which is difficult to dissolve with the metal powder to be sintered, and the coated sheet is used to wrap the metal powder to be sintered. And the metal powder is not sealed completely by the coated sheet. The wrapped material is sintered by vacuum, and the outer surface is completely covered with the coated material, then the coating material on the outer surface of the sintered material is removed, that is, the high purity block without carbon pollution is obtained. During sintering, the encapsulated material melts into liquid as the temperature increases. The liquid metal adheres tightly to the surface of the metal to be sintered to form a barrier, which is good for isolating the influence of carbon atmosphere on the material under high temperature. The coating material is simple and flexible to apply the sintering process, and the ordinary high temperature sintering equipment can be finished. It can be used for high efficiency and low cost sintering of refractory metal block with high purity requirement.
【技术实现步骤摘要】
一种高纯难熔金属块体的制备方法
本专利技术涉及金属冶金
,且特别涉及一种高纯难熔金属块体的制备方法。
技术介绍
难熔金属材料通常指钨、钼、钽、铌、钛及其合金等,这些材料因熔点很高,通常采用粉末冶金工艺来成型各种产品,由于它们的高熔点、高密度、良好导热导电性能、低热膨胀系数、高温抗变形能力和较好耐磨性等特性,使其成为高温、强辐射等使用场合的首选材料,在电子、电力、国防军工、窑炉热场加热和结构件中受到广泛应用。但上述这些难熔金属及其合金材料的优异性能与其纯度、致密度等都有很大的关系。在电子、太阳能等行业,常使用W、Mo、Ta、Nb、Zr、Ti、Co、Ni等高纯或二、三及多元合金用作溅射靶材及传感器,而合金材料的高纯度是保证产品质量和保证产品在使用过程中稳定性的重要条件。在靶材方面,只有保证较高的纯度才能保证溅射出膜层的均匀性和一致性。若是靶材中杂质较高,则材料的电性能将下降,还会导致溅射薄膜的厚度不均匀,降低膜层的附着强度,最终影响溅射薄膜的性能。专利技术人研究发现,在获取高纯度粉末冶金制品的过程中,除了要保证原材料的高纯度外,还需严控后续加工过程中杂质的带入。现有技术中,为了提高靶材的纯度,一种是采用电子束熔炼的方法,但这种方法成本高,操作复杂,熔炼后的坯材金属晶粒粗大,后续加工困难,很难保证成品靶材要求的的细小均匀的晶粒组织。另外一种是采用热等静压法,但这种方法的缺点是设备成本高,工艺及操作相对复杂,得到靶材的密度不易控制,而且由于设备规格的限制,很难制备出大规格尺寸的钼靶材。而常规的高温热压炉的方法,虽方便制取粉末冶金制品,但其中的碳气氛易在制品中 ...
【技术保护点】
1.一种高纯难熔金属块体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1,用包覆片包裹待烧结金属粉末,且使所述待烧结金属粉末被所述包覆片完全包裹住,得到待烧结物,其中,所述包覆片由与所述待烧结金属粉末难相溶的金属包覆料制成;S2,所述待烧结物经过真空烧结,得到外表面完全被所述包覆料覆盖的烧结物;S3,去除所述烧结物外表面的所述包覆料,得到无碳污染的高纯难熔金属块体。
【技术特征摘要】
1.一种高纯难熔金属块体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1,用包覆片包裹待烧结金属粉末,且使所述待烧结金属粉末被所述包覆片完全包裹住,得到待烧结物,其中,所述包覆片由与所述待烧结金属粉末难相溶的金属包覆料制成;S2,所述待烧结物经过真空烧结,得到外表面完全被所述包覆料覆盖的烧结物;S3,去除所述烧结物外表面的所述包覆料,得到无碳污染的高纯难熔金属块体。2.根据权利要求1所述的高纯难熔金属块体的制备方法,其特征在于,所述高纯难熔金属块体选自钨、钼、钽、铌、钛中的一种或钨、钼、钽、铌、钛中的两种或两种以上材料的合金材料中的一种。3.根据权利要求1所述的高纯难熔金属块体的制备方法,其特征在于,所述待烧结金属粉末的纯度大于或等于99.95%。4.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨益航,郑艾龙,张厚安,林文浩,刘嘉威,
申请(专利权)人:厦门理工学院,
类型:发明
国别省市:福建,35
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。