一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置，包括基座、棱镜装置及传动机构，所述棱镜装置包括相互滑动配合的上棱镜与下棱镜，所述上棱镜与下棱镜之间具有间隙，所述基座上设有与所述下棱镜相匹配的第一安装槽，所述传动装置包括丝杠及电机，所述上棱镜通过连接支架与所述丝杠传动连接，所述丝杠的两端分别通过第一支座、第二支座与基座固定连接，丝杠的端部通过联轴器与电机的转轴固定连接，所述电机通过安装支架与基座固定连接，所述基座的端部设有位移传感器。本发明专利技术通过激光位移传感器实时测量反馈焦面距离，配合小楔角的楔形棱镜的运动，达到精密调焦的目的，解决直写光刻封装机型焦深较小这一技术缺陷。

A high precision focusing device for direct write lithography packaging models

The invention relates to a high precision focusing device for a direct writing lithography package type, including a base, a prism device, and a transmission mechanism. The prism device includes a prism and a lower prism with each other sliding to each other. The prism and the lower prism have a gap between the prism and the lower prism. The base is provided with a matching of the lower prism. The transmission device includes a screw rod and a motor. The upper prism is connected with the lead screw through a connecting support. The ends of the screw are fixed to the base by the first support and the second support. The end part of the screw rod is fixed with the shaft of the motor through a coupling. The motor passes the mounting bracket through the mounting bracket. The end of the base is provided with a displacement sensor. This invention can measure the distance of the focal plane by the laser displacement sensor, and coordinate the motion of the wedge prism with the small wedge angle to achieve the aim of precision focusing, and solve the technical defect of the small coke depth of the direct writing lithography package.

【技术实现步骤摘要】
一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置
本专利技术涉及光刻
，具体涉及一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置。
技术介绍
封装机型是直写光刻设备的一种，可应用于IC封装载板。特点是高解析、高对位精度，最小曝光线宽可达到8um。曝光镜头的高解析带来的问题是焦深的减小，而在PCB制版行业，焦深是评估曝光设备性能优良的重要指标之一。楔形棱镜是光学中常用的调焦结构，其原理是通过两块楔形棱镜的相对运动，使其中心距相应变化，相当于不同厚度的平行平板，从而使曝光镜头的焦面位置相应变化。在封装机型的曝光镜头光学设计中加入楔形棱镜，确保楔形棱镜在调焦过程中的成像质量。目前直写光刻设备的调焦装置多采用双向调焦结构，这种结构上下楔形棱镜块均可移动，这种装置调焦行程较大，但精度低，稳定性差。而直写光刻封装机型本身对调焦的行程要求不高，却对精度和稳定性有着极其严苛的要求，故需要一种精度高稳定性高的调焦装置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置，通过激光位移传感器实时测量反馈焦面距离，配合小楔角的楔形棱镜的运动,提高直写光刻封装机型调焦的精密度。为实现上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置，其特征在于：包括基座（1）、棱镜装置及传动机构，所述棱镜装置包括相互滑动配合的上棱镜（21）与下棱镜（22），所述上棱镜（21）与下棱镜（22）之间具有间隙，所述基座（1）上设有与所述下棱镜（22）相匹配的第一安装槽，所述传动装置包括丝杠（31）及用于向所述丝杠（31）提供动力的电机（32），所述上棱镜（21）通过连接支架（4）与所述丝杠（31）传动连接，所述丝杠（31）的两端分别通过第一支座（33）、第二支座（34）与基座（1）固定连接，丝杠（31）的端部通过联轴器（35）与电机（32）的转轴固定连接，所述电机（32）通过安装支架（36）与基座...

【技术特征摘要】
1.一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置，其特征在于：包括基座（1）、棱镜装置及传动机构，所述棱镜装置包括相互滑动配合的上棱镜（21）与下棱镜（22），所述上棱镜（21）与下棱镜（22）之间具有间隙，所述基座（1）上设有与所述下棱镜（22）相匹配的第一安装槽，所述传动装置包括丝杠（31）及用于向所述丝杠（31）提供动力的电机（32），所述上棱镜（21）通过连接支架（4）与所述丝杠（31）传动连接，所述丝杠（31）的两端分别通过第一支座（33）、第二支座（34）与基座（1）固定连接，丝杠（31）的端部通过联轴器（35）与电机（32）的转轴固定连接，所述电机（32）通过安装支架（36）与基座（1）固定连接，所述基座（1）的端部设有位移传感器（5）。2.根据权利要求1所述的用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置，其特征在于：所述连接支架（4）包括棱镜安装架（41）及连接架（42），所述棱镜安装架（41）的下端设有与所述上棱镜（21）大小相配合的第二安装槽，所述上棱镜（21）通过第一垫片（23）压紧在所述第二安装槽内，所述连接架（42）...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴琼，胡刚，张琦，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34