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本发明涉及一种用于直写光刻封装机型中的高精度调焦装置，包括基座、棱镜装置及传动机构，所述棱镜装置包括相互滑动配合的上棱镜与下棱镜，所述上棱镜与下棱镜之间具有间隙，所述基座上设有与所述下棱镜相匹配的第一安装槽，所述传动装置包括丝杠及电机，所述...
该专利属于合肥芯碁微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备有限公司授权不得商用。

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