一种微透镜阵列成像光刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种微透镜阵列成像光刻装置设备，包括底板，所述底板上端设有记录基片，所述记录基片上端设有散射板，所述散射板上端设有第一镜片组，所述记录基片左右两端均与伸缩直杆通过焊接固定连接，所述伸缩直杆下端套在小伸缩筒内，所述小伸缩筒上端与小弹簧通过焊接固定连接，所述伸缩直杆套在小弹簧内部，所述第一镜片组左右两端均与内筒通过胶体固定连接，所述内筒下端与成像板固定连接，所述支撑板下端与显微镜固定连接，所述内筒内部与固定板固定连接，所述固定板上端与微透镜阵列固定连接，所述成像板下端与支撑架固定连接，所述支撑架内部与曝光光源固定连接。

A microlens array imaging lithography device

The utility model discloses a microlens array imaging lithography device, including a baseplate. The upper end of the floor is provided with a recording base plate, a scattering plate is provided on the upper end of the recording base, and the upper end of the scattering plate is provided with a first lens set, and the left and right ends of the recording base are fixed and connected with the telescopic straight rod through welding. The lower end of the contraction rod is set in a small telescopic tube, the upper end of the small telescopic tube is fixed to the small spring through welding, the telescopic straight rod is set inside the small spring, and the left and right ends of the first lens group are fixed with the inner cylinder through a colloid, and the lower end of the inner cylinder is fixedly connected with the imaging board, and the lower end of the support plate is fixed with the microscope. The inner cylinder is fixed connected with the fixed plate, the upper end of the fixed plate is fixed with the microlens array, and the lower end of the imaging plate is fixed to the support frame, and the support frame is fixed in fixed connection with the exposure light source.

【技术实现步骤摘要】
一种微透镜阵列成像光刻装置
本技术属于微透镜阵列
，具体涉及一种微透镜阵列成像光刻装置。
技术介绍
微米、亚微米特征尺寸周期结构在构成新型人工材料(如低折射率材料、负折射率材料、抗反射材料等)和器件(如频率选择表面等)方面有着广阔的应用前景。目前常用的微纳尺度周期结构加工方法主要有传统的光刻技术和激光束、电子束直写技术等。传统的光刻技术需要制备专用的铬掩模，铬掩模的通用性较差，且铬掩模的制备需要专用的加工设备。激光束写技术可制备特征尺寸500nm以上的图形，它采用逐点写入方式，因此加工效率较低，此外激光束写设备的成本较高。电子束直写与激光束写技术相似，也采用逐点写入方式，但由于电子束波长更低，因此可加工更小特征尺寸的图形，同时设备的成本更高，加工效率更低，难以制备大面积图形。如何低成本、高效率的制备微米、亚微米特征尺寸周期结构图形是目前急需解决的问题。。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种微透镜阵列成像光刻装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种微透镜阵列成像光刻装置，包括底板，所述底板上端设有记录基片，所述记录基片上端设有散射板，所述散射板上端设有第一镜片组，所述记录基片左右两端均与伸缩直杆通过焊接固定连接，所述伸缩直杆下端套在小伸缩筒内，所述小伸缩筒上端与小弹簧通过焊接固定连接，所述伸缩直杆套在小弹簧内部，所述小伸缩筒下端与底板通过焊接固定连接，所述第一镜片组左右两端均与内筒通过胶体固定连接，所述内筒与外筒通过外筒上的滑道滑动连接，所述外筒下端与底板通过焊接固定连接，所述内筒下端与小伸缩套杆通过焊接固定连接，所述小伸缩套杆下端套在大伸缩套杆内部，所述大伸缩套杆套在大伸缩筒内部，所述大伸缩筒下端与底板通过焊接固定连接，所述大伸缩筒上端与大弹簧通过焊接固定连接，所述大伸缩套杆和所述小伸缩套杆套在大弹簧内部，所述内筒下端与成像板固定连接，所述支撑板下端与显微镜固定连接，所述内筒内部与固定板固定连接，所述固定板上端与微透镜阵列固定连接，所述成像板下端与支撑架固定连接，所述支撑架内部与曝光光源固定连接。进一步地，所述内筒下端与一级连接环通过焊接固定连接，所述一级连接环共设有2个，且对称分布，所述一级连接环上与连接线的一端固定连接，所述连接线搭在滑轮上，并且绕过一级拉环，所述连接线另一端固定在另一个一级连接环上，所述一级连接环、连接线和一级拉环实现了对内筒高度的调节。进一步地，所述记录基片下端与二级连接环通过焊接固定连接，所述二级连接环共设有2个，且对称分布，所述二级连接环上与连接线的一端固定连接，所述连接线搭在滑轮上，并且绕过二级拉环，所述连接线的另一端固定在另一个二级连接环上，所述二级连接环、连接线和二级拉环实现了对记录基片高度和长度的调节。进一步地，所述内筒上端与支撑架通过焊接固定连接，所述支撑架内部与平面镜片通过胶体固定连接，支撑架实现了对平面镜片的固定，保证了平面镜片的稳定性。进一步地，所述内筒左右两端与密封套通过胶体固定连接，所述密封套的另一端搭在外筒上，密封套实现了内筒和外筒的密封，保证了装置内部的与外界空气隔绝，保证正常运行。进一步地，所述支撑架内部曝光光源上端与照明光源固定连接，曝光光源和照明光源实现了对平面镜片的照射，保证了平面镜片的亮度。本技术的技术效果和优点：该微透镜阵列成像光刻装置可以单次曝光可制备出亚微米特征尺寸、几十平方厘米面积的图形列阵，曝光时间仅为数秒至几十秒，相比于现有技术装置成本更低，操作更简易，加工微纳结构图形列效率更高，是一种低成本、高效率加工手段，可以满足亚微米特征尺寸、几十平方厘米面积图形列阵的制备。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：1、支撑板，2、大伸缩筒，3、大伸缩套杆，4、大弹簧，5、小伸缩套杆，6、一级连接环，7、外筒，8、密封套，9、滑道，10、内筒，11、小伸缩筒，12、伸缩直杆，13、小弹簧，14、二级连接环，15、记录基片，16、散射板，17、成像板，18、支撑架，19、滑轮，20、二级拉环，21、一级拉环，22、显微镜，23、微透镜阵列，24、固定板，25、曝光光源，26、照明光源具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1所示的一种微透镜阵列成像光刻装置，包括底板1，所述底板1上端设有记录基片15，所述记录基片15上端设有散射板16，所述散射板16上端设有第一镜片组17，所述记录基片15左右两端均与伸缩直杆12通过焊接固定连接，所述伸缩直杆12下端套在小伸缩筒11内，所述小伸缩筒11上端与小弹簧13通过焊接固定连接，所述伸缩直杆12套在小弹簧13内部，所述小伸缩筒11下端与底板1通过焊接固定连接，所述第一镜片组17左右两端均与内筒10通过胶体固定连接，所述内筒10左右两端与密封套8通过胶体固定连接，所述密封套8的另一端搭在外筒7上，所述内筒10上端与支撑架18通过焊接固定连接，所述支撑架18内部与平面镜片19通过胶体固定连接，所述内筒10与外筒7通过外筒7上的滑道9滑动连接，所述外筒7下端与底板1通过焊接固定连接，所述内筒10下端与小伸缩套杆4通过焊接固定连接，所述小伸缩套杆5下端套在大伸缩套杆3内部，所述大伸缩套杆3套在大伸缩筒2内部，所述内筒10下端与成像板17固定连接，所述支撑板1下端与显微镜22固定连接，所述内筒10内部与固定板24固定连接，所述固定板24上端与微透镜阵列23固定连接，所述成像板17下端与支撑架18固定连接，所述支撑架18内部与曝光光源25固定连接，所述大伸缩筒2下端与底板1通过焊接固定连接，所述大伸缩筒2上端与大弹簧4通过焊接固定连接，所述大伸缩套杆3和所述小伸缩套杆5套在大弹簧4内部，所述内筒10下端与一级连接环6通过焊接固定连接，所述一级连接环6共设有2个，且对称分布，所述一级连接环6上与连接线的一端固定连接，所述连接线搭在滑轮19上，并且绕过一级拉环21，所述连接线另一端固定在另一个一级连接环6上，所述记录基片15下端与二级连接环14通过焊接固定连接，所述二级连接环14共设有2个，且对称分布，所述二级连接环14上与连接线的一端固定连接，所述连接线搭在滑轮19上，并且绕过二级拉环20，所述连接线的另一端固定在另一个二级连接环上；所述支撑架18内部曝光光源25上端与照明光源26固定连接。工作过程：使用时，使用时，当需要调节成像板17组的高度时，拉动一级拉环21，一级拉环21带动连接线运动，连接线经过滑轮20，然后拉动一级连接环6运动，从而带动内镜筒10沿着外镜筒7上的滑道9向下运动，随着内镜筒10的向下运动，大伸缩套杆3和小伸缩套杆5都向下运动缩回大伸缩筒2内部，同时大弹簧4也处于蓄力状态，当需要成像板17需要回位时，通过大弹簧4的弹力，将内镜筒10送回原来的位置；当需要记录基片15调整时，拉动二级拉环21，二级拉环21带动记录基片15向下运动，记录基片15向下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微透镜阵列成像光刻装置，其特征在于，包括底板，所述底板上端设有记录基片，所述记录基片上端设有散射板，所述散射板上端设有第一镜片组，所述记录基片左右两端均与伸缩直杆通过焊接固定连接，所述伸缩直杆下端套在小伸缩筒内，所述小伸缩筒上端与小弹簧通过焊接固定连接，所述伸缩直杆套在小弹簧内部，所述小伸缩筒下端与底板通过焊接固定连接，所述第一镜片组左右两端均与内筒通过胶体固定连接，所述内筒与外筒通过外筒上的滑道滑动连接，所述外筒下端与底板通过焊接固定连接，所述内筒下端与小伸缩套杆通过焊接固定连接，所述小伸缩套杆下端套在大伸缩套杆内部，所述大伸缩套杆套在大伸缩筒内部，所述大伸缩筒下端与底板通过焊接固定连接，所述大伸缩筒上端与大弹簧通过焊接固定连接，所述大伸缩套杆和所述小伸缩套杆套在大弹簧内部，所述内筒下端与成像板固定连接，所述外筒上端与支撑板固定连接，所述支撑板下端与显微镜固定连接，所述内筒内部与固定板固定连接，所述固定板上端与微透镜阵列固定连接，所述成像板下端与支撑架固定连接，所述支撑架内部与曝光光源固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种微透镜阵列成像光刻装置，其特征在于，包括底板，所述底板上端设有记录基片，所述记录基片上端设有散射板，所述散射板上端设有第一镜片组，所述记录基片左右两端均与伸缩直杆通过焊接固定连接，所述伸缩直杆下端套在小伸缩筒内，所述小伸缩筒上端与小弹簧通过焊接固定连接，所述伸缩直杆套在小弹簧内部，所述小伸缩筒下端与底板通过焊接固定连接，所述第一镜片组左右两端均与内筒通过胶体固定连接，所述内筒与外筒通过外筒上的滑道滑动连接，所述外筒下端与底板通过焊接固定连接，所述内筒下端与小伸缩套杆通过焊接固定连接，所述小伸缩套杆下端套在大伸缩套杆内部，所述大伸缩套杆套在大伸缩筒内部，所述大伸缩筒下端与底板通过焊接固定连接，所述大伸缩筒上端与大弹簧通过焊接固定连接，所述大伸缩套杆和所述小伸缩套杆套在大弹簧内部，所述内筒下端与成像板固定连接，所述外筒上端与支撑板固定连接，所述支撑板下端与显微镜固定连接，所述内筒内部与固定板固定连接，所述固定板上端与微透镜阵列固定连接，所述成像板下端与支撑架固定连接，所述支撑架内部与曝光光源固定连接。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：姜世平，杨武，董小春，郑鑫，郭小伟，
申请(专利权)人：四川云盾光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51