The present disclosure relates to a pixel unit and a manufacturing method thereof and an imaging device. The pixel unit may include a substrate including a first part for the photoelectric device and a second part for the transistor coupled to the photoelectric device. The first part has a first surface at the surface of the substrate, and the first part comprises a first doped region. The second part includes: a channel forming area, adjacent to the first doping area, and the conduction type of the channel forming region is opposite to the conductive type of the first doping area; and the second doping area adjacent to the channel formation region. The pixel unit also includes an adjusting insulating layer on at least a portion of the first surface on the substrate and adjusting the at least part of the first surface.
【技术实现步骤摘要】
像素单元及其制造方法以及成像装置
本公开涉及像素单元及其制造方法以及成像装置。
技术介绍
图像传感器可用于对辐射(例如,光辐射,包括但不限于可见光、红外线、紫外线等)进行感测,从而生成对应的电子信号。它被广泛地应用在数码相机和其他电子光学设备中。在图像传感器(特别是CMOS图像传感器(CIS)产品中,暗电流是一个主要性能参数。而暗电流主要发生在硅表面,由缺陷、悬挂键、位错或者金属沾污造成。目前防止表面暗电流发生的主要方式采用P型杂质的掺杂来形成钉扎光电二极管(PPD,pinnedphotodiode),以将硅表面与PPD下的主光电二极管(PD)进行隔离。但掺杂的方式有不利的作用,即离子注入会导致产生耗尽层,该耗尽层会降低PD的满阱容量(fullwellcapacity)。因此,需要提出一种新的技术来解决上述现有技术中的一个或多个问题。
技术实现思路
本公开的一些实施例的一个目的是提供一种新颖的技术,以在抑制暗电流的同时减少对满阱容量的影响,从而提供成像质量。本公开的实施例的另一个目的是提供一种新颖的像素单元及其制造方法以及包含所述像素单元的成像装置。根据本公开的实施例,还可以提供可调节的硅表面的电子势垒,降低电子在硅表面进行能级跃迁从而形成暗电流的发生几率,从而进一步抑制暗电流,改善图像质量。根据本公开的一个方面,提供了一种像素单元,包括:衬底,包括用于光电器件的第一部分和用于与所述光电器件耦合的晶体管的第二部分,其中所述第一部分在所述衬底的表面处具有第一表面,并且所述第一部分包括第一掺杂区;所述第二部分包括:沟道形成区,与所述第一掺杂区相邻,所述沟道形成区的 ...
【技术保护点】
1.一种像素单元,其特征在于,包括:衬底,包括用于光电器件的第一部分和用于与所述光电器件耦合的晶体管的第二部分,其中所述第一部分在所述衬底的表面处具有第一表面,并且所述第一部分包括第一掺杂区;所述第二部分包括:沟道形成区,与所述第一掺杂区相邻,所述沟道形成区的导电类型与所述第一掺杂区的导电类型相反,以及与沟道形成区相邻的第二掺杂区;在所述衬底之上且至少覆盖所述第一表面的至少一部分的调节绝缘层。
【技术特征摘要】
2017.12.07 CN 20171128384221.一种像素单元,其特征在于,包括:衬底,包括用于光电器件的第一部分和用于与所述光电器件耦合的晶体管的第二部分,其中所述第一部分在所述衬底的表面处具有第一表面,并且所述第一部分包括第一掺杂区;所述第二部分包括:沟道形成区,与所述第一掺杂区相邻,所述沟道形成区的导电类型与所述第一掺杂区的导电类型相反,以及与沟道形成区相邻的第二掺杂区;在所述衬底之上且至少覆盖所述第一表面的至少一部分的调节绝缘层。2.如权利要求1所述的像素单元,其特征在于,其中所述调节绝缘层包括:在所述第一表面之上的第一层,所述第一层由非高k材料的电介质材料形成;以及在所述第一层之上的第二层,所述第二绝缘层由包含金属元素的高k材料形成,并且所述第二层与所述第一表面的至少一部分重叠。3.如权利要求1或2所述的像素单元,其特征在于,其中所述第一部分还包括:在第一掺杂区之下的第三掺杂区,其中,所述第一掺杂区的导电类型与所述第三掺杂区的导电类型相同。4.如权利要求1或2所述的像素单元,其特征在于,其中所述第一部分还包括:在第一掺杂区之下的第三掺杂区,以及在第一掺杂区之上的第四掺杂区,其中,所述第一掺杂区的导电类型与第四掺杂区的导电类型相反,与所述第三掺杂区的导电类型相同。5.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈世杰,黄晓橹,
申请(专利权)人:德淮半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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