蒸发舟的高温纳米保护涂层及制备工艺及对应蒸发舟制造技术

技术编号:18297857 阅读:46 留言:0更新日期:2018-06-28 09:35
本发明专利技术提出了一种蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。本发明专利技术在蒸发舟上涂覆有一多层结构的复合涂层,防止金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成的变形或形成凹坑,同时可以防止金属溶液腐蚀舟体,延长蒸发舟的寿命。

High temperature nano protective coating for evaporation boat and its preparation process and corresponding evaporation boat

The invention provides a high temperature nano protective coating for the evaporation boat, including the following components: 10~15 copies of nanomaterials, the series of nanomaterials of 10 to 100nm, 10~30 copies of resin materials and 30~60 copies of solvent materials. The invention is coated with a composite coating with a multilayer structure on the evaporation boat to prevent the metal solution from dropping to the bottom of the molybdenum boat or tungsten boat, forming the deformation or forming the pits, at the same time, it can prevent the metal solution from corroding the boat body and prolong the life of the evaporating boat.

【技术实现步骤摘要】
蒸发舟的高温纳米保护涂层及制备工艺及对应蒸发舟
本专利技术涉及蒸发舟领域,特别是指一种蒸发舟的保护涂层。
技术介绍
蒸发舟为所有蒸发器皿的统称。蒸发舟为所有蒸发器皿的统称。根据使用用途的不同,其成分配方也不一样。所涉及到的材料有氮化硼,二硼化钛,氮化铝,氧化铝,氧化锆,碳化硅,氮化硅等多种金属非金属化合物。目前,真空蒸镀经常采用钼舟或钨舟,在镀高熔点金属时,存在着如下缺点:送丝时,金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成变形或形成凹坑。
技术实现思路
本专利技术提出一种蒸发舟的高温纳米保护涂层及制备工艺及对应蒸发舟,解决了现有技术中的问题。本专利技术的技术方案是这样实现的:蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。作为本专利技术的优选方案,所述纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。作为本专利技术的优选方案,所述前置材料为硼粉、固体碳和碳化钼中的一种或多种。作为本专利技术的优选方案,所述后置材料为锆粉、钨粉、钼粉和碳化钼中的一种或多种。作为本专利技术的优选方案,所述树脂材料为酚醛树脂。作为本专利技术的优选方案,将树脂材料替换成3~15份的金属粉末。作为本专利技术的优选方案,所述溶剂材料为酮类溶剂和水中的一种或两种。一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用权利要求1中的材料配方,具体工艺如下:(1)将纳米材料研磨并混合均匀;(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。蒸发舟,采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽(1),所述容置槽两端连接有连接板(2),所述连接板(2)外侧设有延伸支架板(3)。有益效果:本专利技术提出了一种蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。本专利技术在蒸发舟上涂覆有一多层结构的复合涂层,防止金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成的变形或形成凹坑,同时可以防止金属溶液腐蚀舟体,延长蒸发舟的寿命。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术立体结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。实施例1蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:(1)将纳米材料研磨并混合均匀;(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽1,容置槽两端连接有连接板2,连接板2外侧设有延伸支架板3。具体配方工艺如下:分别将硼粉和锆粉研磨至纳米级(10~100nm),混合均匀后加入一定量的酚醛树脂和酮类溶剂混合球磨形成泥浆,将泥浆均匀涂刷于舟体,最后再气氛保护下反应烧结而成。实施例2蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:(1)将纳米材料研磨并混合均匀;(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。如图1所示,采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽1,容置槽两端连接有连接板2,连接板2外侧设有延伸支架板3。具体配方工艺如下:分别将硼粉和钨粉研磨至纳米级(10~100nm),混合均匀后加入一定量的酚醛树脂和酮类溶剂混合球磨形成泥浆,将泥浆均匀涂刷于舟体,最后再气氛保护下反应烧结而成。实施例3蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:(1)将纳米材料研磨并混合均匀;(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽1,容置槽两端连接有连接板2,连接板2外侧设有延伸支架板3。具体配方工艺如下:分别将固体碳、钼研磨至纳米级(10~100nm),混合均匀后加入一定量的酚醛树脂和酮类溶剂混合球磨形成泥浆,将泥浆均匀涂刷于舟体,最后再气氛保护下反应烧结而成。实施例4蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:(1)将纳米材料研磨并混合均匀;(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料和溶剂材料并混合球磨得到泥浆;(3)将步骤(2)中的泥浆均匀地涂刷与蒸发舟舟体;(4)将步骤(3)中的舟体在气氛保护下反应烧结。采用上述配方及工艺方法涂覆涂层,包括容置槽1,容置槽两端连接有连接板2,连接板2外侧设有延伸支架板3。具体配方工艺如下:将硼粉和锆粉按比例混合(比例为2~0.5),加入一定量的硅酸钠和高温树脂(质量分数为10%~30%),纳米化处理上述原料,而后在上述原料加入一定量水或其他溶剂(质量分数为:30~60%),混合球磨形成泥浆,将泥浆均匀涂刷于舟体内表面,最后再气氛保护下反应烧结而成。实施例5蒸发舟的高温纳米保护涂层,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。一种蒸发舟的高温纳米保护涂层的制备工艺,采用上述材料配方,具体工艺如下:(1)将纳米材料研磨并混合均匀;(2)向步骤(1)中的材料内添加竖直材料本文档来自技高网...
蒸发舟的高温纳米保护涂层及制备工艺及对应蒸发舟

【技术保护点】
1.蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。

【技术特征摘要】
1.蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,包括如下组分:纳米材料10~15份,所述纳米材料的级数为10~100nm;树脂材料10~30份;溶剂材料30~60份。2.根据权利要求1所述的蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,所述纳米材料包括前置材料和后置材料,其中0.5≤前置材料/后置材料≤2。3.根据权利要求2所述的蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,所述前置材料为硼粉、固体碳和碳化钼中的一种或多种。4.根据权利要求2所述的蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,所述后置材料为锆粉、钨粉、钼粉和碳化钼中的一种或多种。5.根据权利要求1所述的蒸发舟的高温纳米保护涂层,其特征在于,所述树脂材料为酚醛树脂。6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:严佐毅刘文卿张龙张丽
申请(专利权)人:安徽金美新材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:安徽,34

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