一种高效MWT太阳能电池的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种高效MWT太阳能电池的制备方法，包括：将制绒扩散后的硅片经掩膜工序后再进行刻蚀工序，刻蚀工序结束后依次进行以下工序：背面钝化层制备：在电池片背面制备一层钝化层；正面减反膜：在电池片正面制备一层减反膜；背面保护膜：在电池片背面钝化层上覆一层保护膜；开槽：将背面的减反膜和保护膜开槽，以便铝背场浆料和硅基体形成欧姆接触；其中，掩膜工序包括在硅片扩散面制备正电极图案对应的掩膜图案；刻蚀工序包括去除硅片周边及背面的PN结，对掩膜图形以外正面扩散层进行抛结，去除掩膜浆料，去除磷硅玻璃，并进行背面抛光。本发明专利技术所制备的电池转换效率高，工艺路线设备投入少，成本低，适合规模化量产。

【技术实现步骤摘要】
一种高效MWT太阳能电池的制备方法
本专利技术涉及硅太阳能电池工艺
，尤其涉及一种高效MWT太阳能电池制备方法。
技术介绍
金属穿孔卷绕硅太阳能电池(MWT)因其效率高，遮光面积小以及更好的外观特点受到越来越多的关注。MWT硅太阳能电池是通过激光钻孔将正面收集的能量穿过电池转移至电池背面，以减少遮光面积来达到提高转换效率的目的。专利CN201410016190.6提供了一种MWT的低成本制备方法，改方法在传统晶硅电池的制作流程上仅增加两道工序，即：在制绒工序前增加一道激光打孔工序和在扩散后或镀膜后增加一道孔洞处绝缘的工序。由于该方法工艺简单，增加设备少，成为目前业内MWT电池生产唯一量产的工艺。局部接触背钝化(PERC)太阳能电池是最近两年新开发出来的一种高效太阳能电池技术，得到了业内的广泛关注。如专利CN201410484916.9提供了一种丝网印刷纳米氧化铝或氧化硅制备钝化层的技术；专利CN201710054179.2提供了一种低复合率的单晶PERC电池工艺方案；专利CN201710125141.X提供了一种P型PERC双面太阳能电池的工艺方案。PERC电池工艺技术的核心是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：将制绒扩散后的硅片经掩膜工序后再进行刻蚀工序，刻蚀工序结束后依次进行以下工序：(a)背面钝化层制备：在电池片背面制备一层钝化层；(b)正面减反膜：在电池片正面制备一层减反膜；(c)背面保护膜：在电池片背面钝化层上覆一层保护膜；(d)开槽：将背面的减反膜和保护膜开槽，以便铝背场浆料和硅基体形成欧姆接触；其中，掩膜工序包括在硅片扩散面制备正电极图案对应的掩膜图案；刻蚀工序包括去除硅片周边及背面的PN结，对掩膜图形以外正面扩散层进行抛结，去除掩膜浆料，去除磷硅玻璃，并进行背面抛光。

【技术特征摘要】
1.一种高效MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：将制绒扩散后的硅片经掩膜工序后再进行刻蚀工序，刻蚀工序结束后依次进行以下工序：(a)背面钝化层制备：在电池片背面制备一层钝化层；(b)正面减反膜：在电池片正面制备一层减反膜；(c)背面保护膜：在电池片背面钝化层上覆一层保护膜；(d)开槽：将背面的减反膜和保护膜开槽，以便铝背场浆料和硅基体形成欧姆接触；其中，掩膜工序包括在硅片扩散面制备正电极图案对应的掩膜图案；刻蚀工序包括去除硅片周边及背面的PN结，对掩膜图形以外正面扩散层进行抛结，去除掩膜浆料，去除磷硅玻璃，并进行背面抛光。2.根据权利要求1所述的高效MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于，采用碱或二乙二醇单丁醚去除掩膜浆料。3.根据权利要求1所述的高效MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于，钝化层为氧化铝或氧化硅，钝化层的厚度为1-50nm。4.根据权利要求1所述的高效MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于，减反膜为氮化硅，折射率为1.9-2.2，膜厚为60-100nm；保护膜为氮化硅，折射率为1.9-2.2，膜厚为10-150nm。5.根据权利要求1所述的高效MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于，硅片在经制绒扩散前先进行打孔，在硅片上形成用于填充浆料将正面电极汇集的电流引至基片背面的孔洞；掩膜工序时在孔洞内制备掩膜层。6.根据权利要求5所述的高效MWT太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：(1)打孔；(2)制绒：对硅片进行清洗和...

【专利技术属性】
技术研发人员：李质磊，安欣睿，逯好峰，吴仕梁，路忠林，盛雯婷，张凤鸣，
申请(专利权)人：南京日托光伏科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32