减少扩散炉管内杂质颗粒的方法技术

本发明专利技术公开了一种减少扩散炉管内杂质颗粒的方法，其特征在于它包括：S1、选择低压炉管进行电池片的扩散工艺，电池片扩散完成后取出电池片；S2、对低压炉管进行升温操作，升至待机温度以上；S3、去除所述低压炉管中残留的杂质颗粒。使用该方法可以有效降低炉管内颗粒物，且不需要拆除炉管即可进行清洗，大大提高了生产的效率，使用该混合气体降低金属污染(钝化可移动离子，如钠离子)。

【技术实现步骤摘要】
减少扩散炉管内杂质颗粒的方法
本专利技术属于光伏
，具体是一种新型的晶硅太阳能彩色电池片的制作工艺。
技术介绍
当今光伏制造工艺制成过程中洁净度要求越来越高，在炉管扩散工艺中，颗粒残留在气体管路和炉管内壁上，长时间多批次作业时，会增加杂质颗粒在工艺过程中掉落到电池片上的可能性，在电池片的生产过程中引入了颗粒等污染源，就可能引起电池片漏电较大，造成产品缺陷。扩散的反应是属于热壁式的，会有较多的颗粒扩散在炉管的内壁上，需要清洁的就将脏的石英炉管由设备中取出，对其进行湿法腐蚀以去除炉管壁上的累积附着物。对于生长氧化硅的炉管，通常是利用49％的HF酸腐蚀液对其进行浸泡，腐蚀去除内壁上的积累物；去除后，再用大量去离子水对该炉管进行冲洗，并烘干待用。这种清洗的方法容易对扩散的炉管造成损伤，且清洗时间烘干时间较长，降低了正常生产的效率。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的问题，提出一种减少扩散炉管内杂质颗粒的方法，它包括：S1、选择低压炉管进行电池片的扩散工艺，电池片扩散完成后取出电池片；S2、对低压炉管进行升温操作，升至待机温度以上；S3、去除所述低压炉管中残留的杂质颗粒。具体的，步本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种减少扩散炉管内杂质颗粒的方法，其特征在于它包括：S1、选择低压炉管进行电池片的扩散工艺，电池片扩散完成后取出电池片；S2、对低压炉管进行升温操作，升至待机温度以上；S3、去除所述低压炉管中残留的杂质颗粒。

【技术特征摘要】
1.一种减少扩散炉管内杂质颗粒的方法，其特征在于它包括：S1、选择低压炉管进行电池片的扩散工艺，电池片扩散完成后取出电池片；S2、对低压炉管进行升温操作，升至待机温度以上；S3、去除所述低压炉管中残留的杂质颗粒。2.根据权利要求1所述的减少扩散炉管内杂质颗粒的方法，其特征在于步骤S1中，扩散工艺具体为：S101、将电池片载入石英舟，放置在低压炉管内；S102、控制调节低压炉管内的压力与温度：压力155-160pa，温度800-820℃；进行扩散工序；S103、将石英舟移出低压炉管，将电池片从石英舟卸下。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：从海泉，樊华，吴俊清，李慧，俞超，徐强，
申请(专利权)人：东方环晟光伏江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32