旋转靶材制备设备制造技术

本发明专利技术提供了一种旋转靶材制备设备，由加热装置对靶材原料进行加热，使得靶材原料热熔为可液态状态，喷出装置与加热装置连通，可将融化的靶材原料喷出。喷涂装置与喷出装置对接，待成型的靶材管材沿其轴向与喷涂装置内的喷涂通道通过，喷涂装置上设置喷涂腔，喷出装置通过喷涂腔通入喷涂通道内，待成型靶材管材穿过喷涂通道的过程中，可通过喷出装置将融化的靶材原料喷涂到靶材管材的表面，喷涂过程连续，可直接制备一体结构的旋转靶材，无需在通过分块绑定的方式制备，靶材原料的直接喷涂可实现对靶材原料的有效利用，降低了旋转靶材的制备难度，降低了靶材损耗。

【技术实现步骤摘要】
旋转靶材制备设备
本专利技术涉及靶材制备
，更具体地说，涉及一种旋转靶材制备设备。
技术介绍
磁控溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材。溅射靶材根据形状可分为平面靶材，多弧靶材，旋转靶材。旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。现有制作旋转靶材技术通过分块制作后绑定而成，材料利用率低，大约只有40％至50％。其余损耗需要通过回收技术重新利用，损耗大，成本高。因此，如何降低旋转靶材制备过程中的损耗，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种旋转靶材制备设备，以降低旋转靶材制备过程中的损耗。为了达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种旋转靶材制备设备，包括对靶材原料进行加热融化的加热装置，所述加热装置上设置有将融化的所述靶材原料喷出的喷出装置；与所述喷出装置对接的喷涂装置，所述喷涂装置内设置容置待成型靶材管材沿其轴向传输的喷涂通道，所述喷涂装置上还开设有连通所述喷出装置的喷头和所述喷涂通道的喷涂腔。优选地，在上述旋转靶材制备设备中，所述加热装置包括加热外壳和设置于所述加热外壳内以容置所述靶材原料的装载坩埚，所述加热外壳和所述装载坩埚之间架设有对所述装载坩埚进行加热的加热模块，所述装载坩埚的底部开设连通所述喷出装置的喷涂管路的下料孔。优选地，在上述旋转靶材制备设备中，还包括对所述加热外壳内空气进行抽取并通入氮气保护气的换气装置；所述加热外壳上设置有对其内气压进行泄压的泄压装置。优选地，在上述旋转靶材制备设备中，所述喷出装置还包括连通所述下料孔的下料管，所述下料管的末端设置伸入所述喷涂腔的喷头，所述喷头和所述下料管之间设置连通二者的开关控制阀。优选地，在上述旋转靶材制备设备中，所述加热外壳和所述加热模块之间还设置有对所述加热装置内进行保温的保温模块。优选地，在上述旋转靶材制备设备中，所述加热模块为环绕所述装载坩埚的周向布置的多个加热器。优选地，在上述旋转靶材制备设备中，还包括架撑待成型所述靶材管材的夹紧装置，所述夹紧装置上还设置有驱动所述夹紧装置沿所述靶材管材的轴向传输的管材传送装置；驱动所述靶材管材沿其轴心转动的转动驱动装置。优选地，在上述旋转靶材制备设备中，所述喷涂装置的前端和后端均设置有与所述喷涂通道连通，对待成型的所述靶材管材进行加热的预加热器；所述夹紧装置上设置有与所述靶材管材的内腔连通的冷却通道。优选地，在上述旋转靶材制备设备中，所述喷涂装置上开设有与所述喷涂通道连通对所述喷涂通道内空气进行抽取的抽气通道。优选地，在上述旋转靶材制备设备中，还包括架撑所述喷涂装置和所述夹紧装置的机架，所述机架上设置对所述管材传送装置进行滑移导向的导向滑轨，所述机架的端部设置有驱动所述管材传送装置动作的轴向驱动装置。本专利技术提供的旋转靶材制备设备，包括对靶材原料进行加热融化的加热装置，加热装置上设置有将融化的靶材原料喷出的喷出装置；与喷出装置对接的喷涂装置，喷涂装置内设置容置待成型靶材管材沿其轴向传输的喷涂通道，喷涂装置上还开设有连通喷出装置的喷头和喷涂通道的喷涂腔。加热装置对靶材原料进行加热，使得靶材原料热熔为可液态状态，喷出装置与加热装置连通，可将融化的靶材原料喷出。喷涂装置与喷出装置对接，待成型的靶材管材沿其轴向与喷涂装置内的喷涂通道通过，喷涂装置上设置喷涂腔，喷出装置通过喷涂腔通入喷涂通道内，待成型靶材管材穿过喷涂通道的过程中，可通过喷出装置将融化的靶材原料喷涂到靶材管材的表面，喷涂过程连续，可直接制备一体结构的旋转靶材，无需在通过分块绑定的方式制备，靶材原料的直接喷涂可实现对靶材原料的有效利用，降低了旋转靶材的制备难度，降低了靶材损耗。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术提供的旋转靶材制备设备的加热装置的结构示意图；图2为本专利技术提供的旋转靶材制备设备的喷涂装置的结构示意图。具体实施方式本专利技术公开了一种旋转靶材制备设备，降低了旋转靶材制备过程中的损耗。下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1和图2所示，图1为本专利技术提供的旋转靶材制备设备的加热装置的结构示意图；图2为本专利技术提供的旋转靶材制备设备的喷涂装置的结构示意图。本案提供了一种旋转靶材制备设备，包括对靶材原料进行加热融化的加热装置1，加热装置1上设置有将融化的靶材原料喷出的喷出装置101；与喷出装置101对接的喷涂装置2，喷涂装置2内设置容置待成型靶材管材3沿其轴向传输的喷涂通道201，喷涂装置2上还开设有连通喷出装置101的喷头102和喷涂通道201的喷涂腔202。加热装置对靶材原料进行加热，使得靶材原料热熔为可液态状态，喷出装置101与加热装置1连通，可将融化的靶材原料喷出。喷涂装置2与喷出装置101对接，待成型的靶材管材3沿其轴向与喷涂装置2内的喷涂通道201通过，喷涂装置2上设置喷涂腔202，喷出装置101通过喷涂腔202通入喷涂通道201内，待成型靶材管材3穿过喷涂通道201的过程中，可通过喷出装置101将融化的靶材原料喷涂到靶材管材3的表面，喷涂过程连续，可直接制备一体结构的旋转靶材，无需在通过分块绑定的方式制备，靶材原料的直接喷涂可实现对靶材原料的有效利用，降低了旋转靶材的制备难度，降低了靶材损耗。在本案一具体实施例中，加热装置1包括加热外壳103和设置于加热外壳103内以容置靶材原料的装载坩埚104，加热外壳103和装载坩埚104之间架设有对装载坩埚104进行加热的加热模块105，装载坩埚104的底部开设连通喷出装置101的喷涂管路的下料孔106。靶材原料加热为液态，具有较高的热熔温度，加热装置1通过其内的装载坩埚104盛装靶材原料，加热外壳103将装载坩埚104密封于密封空间内，加热外壳103包括壳体和密封盖，便于装载坩埚的安装，以及靶材原料的装入。靶材原料的热熔通过加热模块105提供热能，加热模块105位于加热外壳103和装载坩埚104之间。由于装载坩埚104通过加热模块105的热传递升温，因此需要加热外壳103具有一定隔热能力，以保证工作环境的安全性。装载坩埚104的底部开设下料孔106，喷出装置101通过下料孔106将装载坩埚104内热熔的流体状体的靶材原料导出，并喷射到靶材管材3的表面。在本案一具体实施例中，还包括对加热外壳103内空气进行抽取并通入氮气保护气的换气装置；加热外壳103上设置有对其内气压进行泄压的泄压装置107。靶材原料加热热熔过程中，需要控制加热壳体103内氧气含量，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转靶材制备设备，其特征在于，包括对靶材原料进行加热融化的加热装置，所述加热装置上设置有将融化的所述靶材原料喷出的喷出装置；与所述喷出装置对接的喷涂装置，所述喷涂装置内设置容置待成型靶材管材沿其轴向传输的喷涂通道，所述喷涂装置上还开设有连通所述喷出装置的喷头和所述喷涂通道的喷涂腔。

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材制备设备，其特征在于，包括对靶材原料进行加热融化的加热装置，所述加热装置上设置有将融化的所述靶材原料喷出的喷出装置；与所述喷出装置对接的喷涂装置，所述喷涂装置内设置容置待成型靶材管材沿其轴向传输的喷涂通道，所述喷涂装置上还开设有连通所述喷出装置的喷头和所述喷涂通道的喷涂腔。2.根据权利要求1所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，所述加热装置包括加热外壳和设置于所述加热外壳内以容置所述靶材原料的装载坩埚，所述加热外壳和所述装载坩埚之间架设有对所述装载坩埚进行加热的加热模块，所述装载坩埚的底部开设连通所述喷出装置的喷涂管路的下料孔。3.根据权利要求2所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，还包括对所述加热外壳内空气进行抽取并通入氮气保护气的换气装置；所述加热外壳上设置有对其内气压进行泄压的泄压装置。4.根据权利要求3所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，所述喷出装置还包括连通所述下料孔的下料管，所述下料管的末端设置伸入所述喷涂腔的喷头，所述喷头和所述下料管之间设置连通二者的开关控制阀。5.根据权利要求2所述的旋转靶材制备设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄宇彬，阿南·辛格·迪欧达特，谭继军，谭建林，文崇斌，朱刘，
申请(专利权)人：清远先导材料有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44