一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置，包括进气件、第一吹气件和第二吹气件；进气件为T字形，包括进气口和两个出气口；第一吹气件和第二吹气件均为V字形，且第一吹气件包括第一进气口和第一吹气口，第二吹气件包括第二进气口和第二吹气口，两个出气口通过快速接头分别与第一进气口和第二进气口连接，且进气件的管径大于所述第一吹气件和第二吹气件的管径。本实用新型专利技术的吹气装置，快速接头可以调整第一进气口和第二进气口的具体位置，两个吹气口的距离呈逐渐变小的趋势，更精确地将气流吹到石墨电极，保证吹气速率，达到高效除尘的目的，避免石墨电极附着的杂质掉入埚内，有效地减少了坩埚内表面的缺陷。

A gas blowing device to reduce the defects of the inner surface of the crucible

The utility model discloses a blowing device for reducing the internal surface defects of the crucible, including an inlet, a first blow air part and second air blowing parts, a T shape, an air intake and two air outlets, a first blow air part and a second blow air part which are both V, and the first air blowing part including the first air intake and the first air blowing port, and the first blow air part including the first air intake and the first air blowing port. Two air blowing parts include second air intake and second gas blows, and two air outflows are connected to the first air intake and second air inlet through the quick joint, and the diameter of the intake part is larger than the diameter of the first and second air blows. The gas blowing device of the utility model can adjust the specific position of the first air intake and the second air intake, and the distance between the two air blows is gradually decreasing, and the air flow is more accurately blown to the graphite electrode to ensure the blowing rate, to achieve the purpose of high efficiency dust removal, and to avoid the impurity attached to the graphite electrode into the crucible. The defects in the inner surface of the crucible are effectively reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置
本技术涉及坩埚生产辅助装置
，更具体地说是涉及一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置。
技术介绍
单晶硅广泛应用于半导体或太阳能电池领域，而采用切克劳斯基法拉制单晶硅时，石英坩埚常被用于容纳硅熔体。在石英坩埚生产中，石墨电极在高压产生电弧从而使石英砂熔化，从而达到制作石英坩埚的目的，而石墨电极在高温情况下与空气发生反应，电极表面附着大量的灰白色的杂质，这些杂质在制作石英坩埚的过程中，有时会掉入坩埚内，从而造成石英坩埚内部白斑大量出现，石英坩埚质量下降。因此，如何减小坩埚表面缺陷，从而提高坩埚质量是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置，能够将气流吹向石墨电极，将石墨电极上附着的杂质吹走，防止杂质掉入埚内，有效减少坩埚内表面缺陷，提高坩埚的质量。为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置，包括进气件、第一吹气件和第二吹气件；所述进气件为T字形，包括进气口和两个出气口；所述第一吹气件和所述第二吹气件均为V字形，且所述第一吹气件包括第一进气口和第一吹气口，所述第二吹气件包括第二进气口和第二吹气口，所述进气件的两个出气口通过快速接头分别与所述第一进气口和所述第二进气口连接；所述进气件的管径大于所述第一吹气件和所述第二吹气件的管径。优选地，所述第一吹气件和所述第二吹气件对称设置于所述进气件的两侧。优选地，所述第一吹气件和所述第二吹气件V字形的角度范围包括40°～50°。优选地，所述吹气装置的材质为不锈钢。优选地，所述进气件包括4分圆管。优选地，所述第一吹气件和所述第二吹气件的管径相同且包括3分圆管。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本技术公开提供了一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置，进气件的管径大于第一吹气件和第二吹气件的管径，通过快速接头连接并密封第一吹气件和第二吹气件，气源通过进气口进入，通过第一吹气口和第二吹气口精确地将气流吹到石墨电极，从而保证了吹气速率，达到高效除尘的目的，避免石墨电极附着的杂质掉入埚内，有效地减少了坩埚内表面的缺陷，提高了坩埚的质量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1附图为本技术的结构示意图。其中，1为进气件，2为第一吹气件，3为第二吹气件，4为快速接头，11为进气口，12为出气口，21为第一进气口，22为第一吹气口，31为第二进气口，32为第二吹气口。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术实施例公开了一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置，包括进气件1、第一吹气件2和第二吹气件3；进气件1为T字形，包括进气口11和两个出气口12；第一吹气件2和第二吹气件3均为V字形，且第一吹气件2包括第一进气口21和第一吹气口22，第二吹气件3包括第二进气口31和第二吹气口32，进气件的两个出气口12通过快速接头4分别与第一进气口21和第二进气口31连接且密封；进气件1的管径大于第一吹气件2和第二吹气件3的管径。通过调节快速接头4可以调整第一进气口21和第二进气口31与进气件1的相对位置，第一吹气口22和第二吹气口32的距离呈逐渐变小的趋势，更精确地将气流吹到石墨电极，保证吹气速率，达到高效除尘的目的，避免石墨电极附着的杂质掉入埚内，有效地减少了坩埚内表面的缺陷，提高了坩埚的质量。为了进一步地优化上述技术方案，第一吹气件2和第二吹气件3对称设置于进气件1的两侧，便于保证吹气集中方向。为了进一步地优化上述技术方案，第一吹气件2和第二吹气件3V字形的角度范围包括40°～50°，使得吹气口更精确地对准石墨电极。为了进一步地优化上述技术方案，吹气装置的材质为不锈钢，具有耐腐蚀的特性，适用于湿度大，酸碱等恶劣环境。为了进一步地优化上述技术方案，进气件1包括4分圆管，进气口11连通气源。为了进一步地优化上述技术方案，第一吹气件2和第二吹气件3的管径相同且包括3分圆管，便于与进气件连接，并通过调节快速接头4调整第一吹气口22和第二吹气口32的距离。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置，其特征在于，包括进气件(1)、第一吹气件(2)和第二吹气件(3)；所述进气件(1)为T字形，包括进气口(11)和两个出气口(12)；所述第一吹气件(2)和所述第二吹气件(3)均为V字形，且所述第一吹气件(2)包括第一进气口(21)和第一吹气口(22)，所述第二吹气件(3)包括第二进气口(31)和第二吹气口(32)，所述进气件(1)的两个所述出气口(12)通过快速接头(4)分别与所述第一进气口(21)和所述第二进气口(31)连接且密封；所述进气件(1)的管径大于所述第一吹气件(2)和所述第二吹气件(3)的管径。

【技术特征摘要】
1.一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置，其特征在于，包括进气件(1)、第一吹气件(2)和第二吹气件(3)；所述进气件(1)为T字形，包括进气口(11)和两个出气口(12)；所述第一吹气件(2)和所述第二吹气件(3)均为V字形，且所述第一吹气件(2)包括第一进气口(21)和第一吹气口(22)，所述第二吹气件(3)包括第二进气口(31)和第二吹气口(32)，所述进气件(1)的两个所述出气口(12)通过快速接头(4)分别与所述第一进气口(21)和所述第二进气口(31)连接且密封；所述进气件(1)的管径大于所述第一吹气件(2)和所述第二吹气件(3)的管径。2.如权利要求1所述的一种减少坩埚...

【专利技术属性】
技术研发人员：范玉华，李卫涛，赵学东，陈召强，
申请(专利权)人：宁晋晶兴电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13