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本实用新型公开了一种减少坩埚内表面缺陷的吹气装置，包括进气件、第一吹气件和第二吹气件；进气件为T字形，包括进气口和两个出气口；第一吹气件和第二吹气件均为V字形，且第一吹气件包括第一进气口和第一吹气口，第二吹气件包括第二进气口和第二吹气口，两...
该专利属于宁晋晶兴电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁晋晶兴电子材料有限公司授权不得商用。

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