The invention discloses an ultrasonic processing device in the process of processing DMOS wafers, which includes an ultrasonic cavity and a transmission track for ultrasonic processing, and a first connecting rod with a plurality of radial extensions along the transmission track in the transmission track, and a installation device is set on each first connecting rod. The installation includes second connecting rods that are perpendicular to the first connecting rod. The end part of the second connecting rod is provided with a supporting rod, and a filter net is arranged between the two adjacent support rods. The contact area is significantly increased and the flexible support of the filter is used to further avoid the drop of the wafer. In addition, the moving direction of the first transmission track can improve the cleaning time of the wafer in the cleaning liquid so that the cleaning effect can be improved.
【技术实现步骤摘要】
DMOS圆片加工过程中的超声波处理设备
本专利技术涉及一种半导体生产设备,尤其是一种DMOS圆片加工过程中的超声波处理设备。
技术介绍
DMOS圆片在完成蚀刻液加工后需对其进行清洁工作,以去除圆片表面残留的蚀刻液。现有的DMOS圆片清洁工艺多采用将DMOS圆片批量置入超声波腔室中,以进行超声波清洗;上述工艺需要人员对DMOS圆片进行置放与取出,从而使得其工作效率低下。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种DMOS圆片加工过程中的超声波处理设备,其可使得圆片的清洁效果得以显著改善。为解决上述技术问题,本专利技术涉及一种DMOS圆片加工过程中的超声波处理设备,其包括有用于超声波处理的超声波腔室,以及延伸至超声波腔体中的传输轨道,超声波腔室中设置有超声波发生器与超声波换能器;所述传输轨道包括有沿竖直方向进行延伸的第一传输轨道,第一传输轨道之中设置有多根沿第一传输轨道径向延伸的第一连接杆件,每一根第一连接杆件之上均设置有安置装置;所述安置装置包括有两根垂直于第一连接杆件延伸的第二连接杆件,第二连接杆件于第一连接杆件侧的端部设置有连接孔,第一连接杆件于连接孔内部进行延伸;所述第二连接杆件背离第一连接杆件侧的端部设置有垂直于第二连接杆件进行延伸的支撑杆件,相邻两根第二连接杆件端部支撑杆件之间设置有滤网,滤网的宽度大于两根支撑杆件之间的距离。作为本专利技术的一种改进,所述传输轨道包括有第二传输轨道,其设置于第一传输轨道的侧端部,且朝向第一传输轨道的方向进行延伸;所述第二传输轨道的高度沿其运动方向逐渐降低。采用上述设计,其可通过第二传输轨道连接超声波腔室与其余工 ...
【技术保护点】
1.一种DMOS圆片加工过程中的超声波处理设备,包括超声波腔室、传输轨道;所述超声波腔室中设置有超声波发生器与超声波换能器;其特征在于,所述传输轨道还包括有第一传输轨道,第一传输轨道之中设置有沿第一传输轨道径向延伸的第一连接杆件,第一连接杆件上设置有安置装置。
【技术特征摘要】
1.一种DMOS圆片加工过程中的超声波处理设备,包括超声波腔室、传输轨道;所述超声波腔室中设置有超声波发生器与超声波换能器;其特征在于,所述传输轨道还包括有第一传输轨道,第一传输轨道之中设置有沿第一传输轨道径向延伸的第一连接杆件,第一连接杆件上设置有安置装置。2.按照权利要求1所述的DMOS圆片加工过程中的超声波处理设备,其特征在于,所述安置装置包括有两根垂直于所述第一连接杆件延伸的第二连接杆件,第二连接杆件于第一连接杆件侧的端部设置有连接孔,第一连接杆件于连接孔内部进行延伸;所述第二连接杆件背离第一连接杆件...
【专利技术属性】
技术研发人员:伍志军,
申请(专利权)人:苏州赛森电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。