一种玻璃基板承载平台制造技术

本实用新型专利技术涉及玻璃基板检测设备领域，公开了一种玻璃基板承载平台，该玻璃基板承载平台包括平台，平台用于承载玻璃基板，平台朝向玻璃基板的表面设有多个通气孔；平台内设有气道，气道与多个通气孔连通；气道用于向平台与玻璃基板之间输送空气，使玻璃基板在平台表面浮起，或用于将平台与玻璃基板之间的空气排出，使玻璃基板吸附在平台上。上述实施例中，当向气道内通入空气时，气流由通气孔中吹出，给玻璃基板一个向上的浮力，并在平台与玻璃基板之间形成缓冲作用；当将气道中的空气抽出时，由于玻璃基板上下表面存在压力差，从而使玻璃基板被牢牢地吸附在平台上。

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基板承载平台
本技术涉及玻璃基板检测设备领域，尤其涉及一种玻璃基板承台平台。
技术介绍
玻璃基板在检测时，需要放置到玻璃基板承载平台上以供检测设备检测，检测过程中，通过旋转承载平台使玻璃基板到达指定的位置，从而沿横向及纵向两个方向对玻璃基板进行检测，在旋转过程中，一旦玻璃基板与承载平台发生相对位移，则容易造成玻璃基板表面的划伤，影响玻璃基板的使用；另外，玻璃基板在检测过程中，还需要通过顶升装置将玻璃基板举升到位，由于玻璃基板与承台平台之间的硬性接触，在上升过程中，玻璃基板由于震动等原因容易发生碎裂。
技术实现思路
本技术提供一种玻璃基板承载平台，用以提高玻璃基板的稳定性。本技术实施例提供了一种玻璃基板承载平台，该玻璃基板承载平台包括平台，所述平台用于承载玻璃基板，所述平台朝向所述玻璃基板的一面设有多个通气孔；所述平台内设有气道，且所述气道与所述多个通气孔连通；所述气道用于向所述平台与所述玻璃基板之间输送空气，使所述玻璃基板在所述平台表面浮起，或所述气道用于将所述平台与所述玻璃基板之间的空气排出，使所述玻璃基板被吸附在所述平台上。上述实施例中，通气孔分布在平台朝向玻璃基板的表面，当向气道内通入空气时，气流被分配到各个通气孔中，给玻璃基板一个向上的浮力，使玻璃基板与平台之间形成微小的间隙，这样在顶升过程中，避免了两者之间的硬冲击，防止玻璃基板破碎；当将气道中的空气抽出时，由于玻璃基板上下表面存在压力差，从而将玻璃基板被牢牢地吸附在平台上，在平台旋转过程中，玻璃基板与平台之间不会发生相对位移，从而避免了玻璃基板表面的划伤。在一个具体的实施例中，所述气道包括至少一个一级主气道，每个一级主气道与多个副气道连通，每个副气道与多个所述通气孔连通。优选的，所述气道还包括至少一个二级主气道，每个二级主气道分别与一个一级主气道以及多个副气道连通，所述二级主气道用于将所述一级主气道中的气流分配到所述多个副气道，或用于将所述多个副气道中的气流汇集到所述一级主气道中。优选的，所述平台背离所述玻璃基板的一面设有与所述每个一级主气道连通的进气孔。具体设置时，所述气道包括四个一级主气道以及两个二级主气道，所述四个一级主气道呈十字形排列，且将所述平台分为四个区域。优选的，所述两个二级主气道分别位于呈对角设置的两个区域内，且所述平台上的副气道平行设置。优选的，当所述平台背离所述玻璃基板的一面设有一个进气孔时，所述进气孔位于所述平台的中心位置；当所述平台背离所述玻璃基板的一面设有两个或多个进气孔时，所述两个或多个进气孔沿圆周分布，所述圆周位于所述平台的中心位置。优选的，所述平台为铝合金材料制成而成的平台结构，且所述平台表面经过阳极氧化处理。优选的，所述平台上设有与顶升机构配合的顶升避位孔、与夹持定位机构配合的夹持定位避位孔以及与检测探头配合的检测探头避位孔。附图说明图1为本技术实施例提供的玻璃基板承载平台的俯视图；图2为图1中所示的玻璃基板承载平台在A处的局部放大图；图3为图1中所示的玻璃基板承载平台沿一级主气道方向的剖视图。附图标记：10-平台20-通气孔301-一级主气道302-二级主气道303-副气道40-进气孔501-顶升避位孔502-夹持定位避位孔503-检测探头避位孔504-安装孔具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本技术作进一步详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术实施例提供了一种玻璃基板承载平台，该玻璃基板承载平台包括平台，平台用于承载玻璃基板，平台朝向玻璃基板的表面设有多个通气孔；平台内设有气道，且气道与多个通气孔连通；气道用于向平台与玻璃基板之间输送空气，使玻璃基板在平台表面浮起上，或气道用于将平台与玻璃基板之间的空气排出，使玻璃基板被吸附在平台上。上述实施例中，通气孔分布在平台朝向玻璃基板的表面，当向气道内通入空气时，气流被分配到各个通气孔中，给玻璃基板一个向上的浮力，使玻璃基板与平台之间形成微小的间隙，这样在顶升过程中，避免了两者之间的硬冲击，防止玻璃基板破碎；当将气道中的空气抽出时，由于玻璃基板上下表面存在压力差，从而将玻璃基板被牢牢地吸附在平台上，在平台旋转过程中，玻璃基板不会发生移位，从而避免了玻璃基板表面的划伤。为了便于更加清楚得了解本技术实施例提供的玻璃基板承载平台的结构，现结合附图进行详细说明。如图1所示，该玻璃基板承载平台包括平台10，平台10用于承载玻璃基板以便于对玻璃基板进行检测。为了提高玻璃基板在检测过程中的稳定性，防止玻璃基板发生破碎或表面划伤，平台10朝向玻璃基板的一面设有多个通气孔20，平台10内设有气道，气道与通气孔20连通，气道用于向平台10与玻璃基板之间输送空气，使玻璃基板在平台10表面浮起，或用于将平台10与玻璃基板之间的空气排出，使玻璃基板吸附在平台10上。如图1所示，为了使玻璃基板受力均匀，通气孔20覆盖平台10整个表面，当向气道内通入空气时，气流由各个通气孔20中吹出，给玻璃基板一个向上的浮力，使玻璃基板与平台10之间形成微小的间隙，避免了玻璃基板在顶升时与平台10之间的硬冲击，防止玻璃基板破碎。将气道中的空气抽出时，玻璃基板上下表面的压力差使玻璃基板被牢牢地吸附在平台10上，在平台10旋转过程中，玻璃基板与平台10之间不会发生相对移动，从而避免了玻璃基板表面的划伤；另外，玻璃基板与平台10之间的气流也避免了静电的产生及其他微小颗粒的存在，对玻璃基板内部电路具有保护作用。在具体设置时，气道包括至少一个一级主气道301，每个一级主气道301与多个副气道303连通，每个副气道303与多个通气孔20连通。在需要向通气孔20中吹气时，首先向一级主气道301中输送空气，气流进入一级主气道301后被分配到多个副气道303中，每个副气道303中的气流又被分配到各个通气孔20中，经通气孔20后向上吹出，给玻璃基板一个向上的浮力，气流的流通路径为：一级主气道301-副气道303-通气孔20；在需要将气道中的空气抽出时，气流的流通路径相反，即通气孔20-副气道303-一级主气道301，气流经一级主气道301排出平台10以外，使平台10与玻璃基板之间形成真空，在大气压力的作用下，玻璃基板被牢牢地吸附在平台10上。在一级主气道301较长时，与一级主气道301末端连通的副气道303中的气流压力损失较大，这样，由通气孔20吹出的气流将无法提供足够的上浮力，为了降低气流在一级主气道301中流通时的压力损失，保证流向每个副气道303的气流都具有一定的压力，进而使气流经每个通气孔20吹出时都能提供一个向上的浮力，气道还包括至少一个二级主气道302，每个二级主气道302分别与一个一级主气道301以及多个副气道303连通，二级主气道302用于将一级主气道301中的气流分配到多个副气道303中，或用于将多个副气道303中的气流汇集到一级主气道301中。如图1所示，气道包括四个一级主气道301以及两个二级主气道302，四个一级主气道301呈十字形设置，为了便于描述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板承载平台，其特征在于，包括平台，所述平台用于承载玻璃基板，所述平台朝向所述玻璃基板的一面设有多个通气孔；所述平台内设有气道，且所述气道与所述多个通气孔连通；所述气道用于向所述平台与所述玻璃基板之间输送空气，使所述玻璃基板在所述平台表面浮起，或所述气道用于将所述平台与所述玻璃基板之间的空气排出，使所述玻璃基板吸附在所述平台上。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板承载平台，其特征在于，包括平台，所述平台用于承载玻璃基板，所述平台朝向所述玻璃基板的一面设有多个通气孔；所述平台内设有气道，且所述气道与所述多个通气孔连通；所述气道用于向所述平台与所述玻璃基板之间输送空气，使所述玻璃基板在所述平台表面浮起，或所述气道用于将所述平台与所述玻璃基板之间的空气排出，使所述玻璃基板吸附在所述平台上。2.如权利要求1所述的玻璃基板承载平台，其特征在于，所述气道包括至少一个一级主气道，每个一级主气道与多个副气道连通，每个副气道与多个所述通气孔连通。3.如权利要求2所述的玻璃基板承载平台，其特征在于，所述气道还包括至少一个二级主气道，每个二级主气道分别与一个一级主气道以及多个副气道连通，所述二级主气道用于将所述一级主气道中的气流分配到所述多个副气道中，或用于将所述多个副气道中的气流汇集到所述一级主气道中。4.如权利要求2所述的玻璃基板承载平台，其特征在于，所述平台背离所述玻璃基板的一面设有与所述每个一级主气道...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊海军，沈洪星，张作军，刘晏，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34