The invention provides a flexible substrate for installing a gas sensor, in which a gas sensor chip is installed, including a groove formed in a flexible substrate, and a first metal layer is set at the bottom of the groove in the flexible substrate, and a flexible dielectric material layer is arranged on the first metal layer, and a flexible dielectric material layer is set on the flexible dielectric material layer. Setting second metal layers and setting insulating layer on the second metal layer, setting metal coils in the flexible substrate material around the grooves, setting array gas sensors in the groove, solving the problem of the gas sensor used in the flexible situation, and miniaturization and flexibility of the gas sensor at the same time. The gas sensors are integrated directly in the substrate, and the capacitance and inductance are added to the circuit. The inductance and capacitance components are added to the circuit to save the volume of the circuit structure.
【技术实现步骤摘要】
一种用于安装气体传感器的柔性衬底
本专利技术属于气体传感器
,尤其涉及一种用于安装气体传感器的柔性衬底。
技术介绍
自从上世纪30年代气体敏感元件问世,至今已有七十多年的历史,其种类已经达到了数百个。目前,气体敏感元件涉及人类生产生活的多个方面,在能源与资源开发、环境监控、国防、航天等领域都得到了广泛应用,其中尤其以气体类别、浓度检测领域的应用最为广泛。传统气体类别、浓度检测依赖的传感器往往存在着尺寸大、精度低、响应速度慢的缺点,无法满足现在工业要求的微型化、集成化的要求。且当今市场上常用的热式气体类别、浓度传感器,往往只能检测单一方向的气体类别、浓度,无法完成二维方向气体类别、浓度的检测。随着工业领域中,气体类别、浓度检测对多方向、高精度、快响应趋势的发展,迫切需要设计一种能够有效测量二维方向气体类别、浓度的传感器来弥补现阶段市场产品的不足。上个世纪末,微系统技术革命逐渐兴起。功能结构的微纳米化能够带来能源与原材料的节省,并导致多功能的高度集成和生产成本的大大降低,为各项领域和技术提供了新的发展契机和研究思路,将MEMS技术应用于气体类别、浓度传感器制造已成为越来越瞩目的应用领域之一。目前气体传感器都是单独形成,并且形成额外的独立器件用于各个场合,但是市场上很少有柔性的气体传感器,随着智能终端制作工艺的发展,在很多情况下需要器件具有柔性,目前的气体传感器已经无法满足柔性的要求,与此同时,研究人员已经验证了纳米尺寸材料在气体传感器中应用的可行性,并且能够起到较好的效果,采用纳米尺寸材料使气体传感器柔性化具有了基础,因此如果能够通过结构改进,实现气体传 ...
【技术保护点】
一种用于安装气体传感器的柔性衬底,其用于在其中安装气体传感器芯片,其特征在于,包括在柔性衬底中形成的凹槽,所述柔性衬底中凹槽的底面设置第一金属层,所述第一金属层上设置柔性介电材料层,在柔性介电材料层上设置第二金属层,在所述第二金属层上设置绝缘层,在所述绝缘层上设置,所述第一金属层和所述第二金属层在竖直方向上的投影形状相同形成电容器,在凹槽四周的柔性衬底材料中埋设金属线圈,所述金属线圈以凹槽为中心,金属线圈形成为电感,所述凹槽中用于设置阵列气体传感器。
【技术特征摘要】
1.一种用于安装气体传感器的柔性衬底,其用于在其中安装气体传感器芯片,其特征在于,包括在柔性衬底中形成的凹槽,所述柔性衬底中凹槽的底面设置第一金属层,所述第一金属层上设置柔性介电材料层,在柔性介电材料层上设置第二金属层,在所述第二金属层上设置绝缘层,在所述绝缘层上设置,所述第一金属层和所述第二金属层在竖直方向上的投影形状相同形成电容器,在凹槽四周的柔性衬底材料中埋设金属线圈,所述金属线圈以凹槽为中心,金属线圈形成为电感,所述凹槽中用于设置阵列气体传感器。2.根据权利要求1所述的用于安装气体传感器的柔性衬底,其特征在于,所述电感一端连接至第二金属层,第二金属层作为电感、阵列气体传和电容器的公共电极。3.根据权利要求1或2所述的用于安装气体传感器的柔性衬底,其特征在于,所述凹槽的形状为圆形,所述金属线圈的形状也为圆形,并且两个圆形的中心...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡静,
申请(专利权)人:佛山市车品匠汽车用品有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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