下载一种用于安装气体传感器的柔性衬底的技术资料

文档序号:18164197

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本发明提供了一种用于安装气体传感器的柔性衬底,其用于在其中安装气体传感器芯片,包括在柔性衬底中形成的凹槽,柔性衬底中凹槽的底面设置第一金属层,所述第一金属层上设置柔性介电材料层,在柔性介电材料层上设置第二金属层,在第二金属层上设置绝缘层,在...
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