气体浓度检测装置和气体浓度检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种气体浓度检测装置和气体浓度检测方法，包括真空的检测腔体、气体浓度检测传感器、真空的取样元件以及检测分析仪；取样元件与检测腔体连接，检测腔体与外部存储待检测气体的密封腔体连接，气体浓度检测传感器设置于检测腔体内，检测分析仪分别与气体浓度检测传感器以及取样元件连接。上述气体浓度检测装置，通过气体浓度检测传感器和真空的检测腔体对气体进行浓度检测，可以得到实时准确的检测结果，通过取样元件对密封腔体内的气体进行取样，并利用检测分析仪分析得到更为精确的检测结果，而且通过检测分析仪对比两种浓度检测结果，判断传感器是否发生故障，从而避免了因传感器故障导致获得错误的浓度信息，使检测结果更为准确。

Gas concentration detection device and gas concentration detection method

The invention relates to a gas concentration detection device and a gas concentration detection method, including a vacuum detection chamber, a gas concentration detection sensor, a vacuum sampling element, and a detection analyzer. The sampling element is connected to the detection chamber, the detection cavity is connected with a sealed cavity which stores the gas body outside, and the gas concentration is detected. The measuring sensor is arranged in the detection chamber, and the detection analyzer is respectively connected with the gas concentration detection sensor and the sampling element. The gas concentration detection device, through the gas concentration detection sensor and the vacuum detection cavity to detect the gas concentration, can get real-time and accurate detection results, sampling the gas in the sealed chamber through the sampling element, and use the detection analyzer to get more accurate detection results, and pass through. The over detection analyzer compares the results of two kinds of concentration detection to judge whether the sensor fails, thus avoiding the error caused by the sensor failure and making the detection result more accurate.

【技术实现步骤摘要】
气体浓度检测装置和气体浓度检测方法
本申请涉及检测领域，特别是涉及一种气体浓度检测装置和气体浓度检测方法。
技术介绍
随着电子技术的发展，对电子器件的封装过程要求越来越严格，当封装过程中存在“氢效应”时，会改变器件的使用性能，导致器件不正常的工作，使器件失效，最终大大缩短器件的使用寿命。为了能解决器件的氢效应问题，需要对器件的抗“氢中毒”能力进行快速评价。这需要在高温、高压的氢气气体中加速器件氢效应的效果，因此我们需要对高温、高压腔体中的氢气浓度进行精确控制，需要对氢气浓度进行实时检测。目前，主要通过设置气体浓度检测传感器进行气体浓度检测，因高温高压环境，容易使气体浓度检测传感器造成损坏，而且当气体浓度检测传感器得多次检测结果对比误差较小时，难以判断是气体浓度本身发生了变化还是气体浓度检测传感器出现了故障，无法获得准确的气体浓度检测结果。
技术实现思路
基于此，有必要针对难以判断是气体浓度本身发生了变化还是气体浓度检测传感器出现了故障，无法获得准确的气体浓度检测结果的问题，提供一种准确的气体浓度检测装置和气体浓度检测方法。一种气体浓度检测装置，包括真空的检测腔体、气体浓度检测传感器、真空的取样元件以及用于接收气体浓度检测传感器发送的传感器检测结果，并对取样元件中的取样气体进行浓度分析，得到取样检测结果，通过对比传感器检测结果与取样检测结果，判断气体浓度检测传感器是否故障的检测分析仪；取样元件与检测腔体连接，检测腔体与外部存储待检测气体的密封腔体连接，气体浓度检测传感器设置于检测腔体内，检测分析仪分别与气体浓度检测传感器以及取样元件连接。上述气体浓度检测装置，利用气体浓度检测传感器和真空的检测腔体对外部存储待检测气体的密封腔体中的气体进行浓度检测，可以得到实时准确的检测结果，通过真空的取样元件对气体进行取样，并通过检测分析仪分析得到取样元件中气体的浓度检测结果，对气体浓度进行二次检测得到更为精确的检测结果，而且通过检测分析仪对比通过传感器和取样元件获得的浓度检测结果，可以判断气体浓度检测传感器是否发生故障，从而避免了因气体浓度检测传感器故障导致获得错误的浓度信息，使检测结果更为准确。在其中一个实施例中，还包括温度调节器，检测腔体通过温度调节器与存储待检测气体的密封腔体连接。在其中一个实施例中，检测分析仪还包括显示器，显示器设置于检测分析仪。在其中一个实施例中，还包括真空处理组件，真空处理组件与检测腔体连接。在其中一个实施例中，真空处理组件包括机械真空泵和/或分子真空泵。在其中一个实施例中，还包括真空度检测仪，真空度检测仪连接于检测腔体与真空处理组件之间。在其中一个实施例中，检测腔体的容积小于存储待检测气体的密封腔体容积的1％。在其中一个实施例中，还包括通断控制组件，通断控制组件包括第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀以及第四控制阀；存储待取样气体的密封腔体与检测腔体通过第一控制阀连接，真空处理组件与检测腔体通过第二控制阀连接，取样元件通过第三控制阀与检测腔体连接。在其中一个实施例中，取样元件包括第四控制阀，第四控制阀与第三控制阀可拆卸连接。一种基于气体浓度检测装置的气体浓度检测方法，包括以下步骤：获取气体浓度检测传感器发送的气体浓度数据；将获取的多组气体浓度数据进行对比，当多组气体浓度数据差异较大时，通过取样元件对气体进行取样；获取通过对取样元件中取样气体分析得到的气体浓度数据；当通过传感器获得的数据与通过取样分析得到的数据差异大于设定范围时，发送气体浓度检测传感器故障信息；当通过传感器获得的数据与通过取样分析得到的数据差异小于设定范围时，发送气体浓度变化信号。上述气体浓度检测方法，利用气体浓度检测传感器对存储待检测气体的密封腔体中的气体浓度进行检测，可以得到实时检测结果，多组气体浓度数据差异较大时，通过取样元件对密封腔体内的气体进行浓度检测，对比气体浓度检测传感器和取样元件获得的浓度结果检测，判断气体浓度检测传感器发生故障还是气体浓度本身的变化，从而避免了因气体浓度检测传感器故障导致获得错误的浓度信息，使检测结果更为准确。附图说明图1为本申请一个实施例中气体浓度检测装置的结构示意图；图2为本申请另一个实施例中气体浓度检测装置的结构示意图；图3为本申请一个实施例中气体浓度检测方法的流程示意图。具体实施方式为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体地实施例的目的，不是旨在于限制本申请。如图1所示，一种气体浓度检测装置，包括真空的检测腔体200、真空的取样元件300、气体浓度检测传感器400以及用于接收气体浓度检测传感器发送的传感器检测结果，并对取样元件中的取样气体进行浓度分析，得到取样检测结果，通过对比传感器检测结果与取样检测结果，判断气体浓度检测传感器是否故障的检测分析仪500；取样元件300与检测腔体200连接，检测腔体200与外部存储待检测气体的密封腔体A连接，气体浓度检测传感器400设置于检测腔体200内，检测分析仪500分别与气体浓度检测传感器400以及取样元件300连接。存储待取样气体的密封腔体A中含有待取样的气体，具体地，存储待取样气体的密封腔体A可以是用于评估电子器件抗“氢中毒”能力的含有一定浓度氢气的高温高压腔体。检测腔体200是指用于检测气体浓度，且具有一定容积的中空密封腔体A。取样元件300是指是指用于采集和保存待检测气体，并使采集的气体通过检测设备分析获得气体浓度检测结果的元件。气体浓度检测传感器400是指用于检测气体浓度，将气体浓度信号转化为电信号的器件，具体地，当需要在混合气体中同时检测多种气体的浓度时，可以在检测腔体200内部设置多个气体浓度检测传感器400，用于检测不同的气体浓度。检测分析仪500是指用于对取样元件300中的气体进行精确地浓度分析，得到气体浓度检测结果，并且可以接收气体浓度检测传感器400发送的气体浓度检测数据，将接收的传感器数据与分析得到的取样数据进行对比分析，从而判断气体浓度传感器是否出现故障。上述气体浓度检测装置，利用气体浓度检测传感器400和真空的检测腔体200对外部存储待检测气体的密封腔体A中的气体进行浓度检测，可以得到实时准确的检测结果，通过真空的取样元件300对气体进行取样，利用检测分析仪500分析得到取样元件300中气体的浓度检测结果，对气体浓度进行二次检测得到更为精确的检测结果，而且通过检测分析仪500对比通过传感器400和取样元件300获得的浓度检测结果，可以判断气体浓度检测传感器400是否发生故障，从而避免了因气体浓度检测传感器400故障导致获得错误的浓度信息，使检测结果更为准确。下面通过对高温高压环境下的氢气的浓度检测为例进行说明，可以理解，气体所在环境可以是低温、常温、高温、低压、高压环境的任意组合，待取样气体也可以是任意气体，以下实施例只是为了描述具体地实施例的目的，不是旨在于限制本申请。如图2所示，在其中一个实施例中，检测分析仪500还包括显示器5本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体浓度检测装置，其特征在于，包括真空的检测腔体、气体浓度检测传感器、真空的取样元件以及用于接收所述气体浓度检测传感器发送的传感器检测结果，并对所述取样元件中的取样气体进行浓度分析，得到取样检测结果，通过对比所述传感器检测结果与所述取样检测结果，判断所述气体浓度检测传感器是否故障的检测分析仪；所述取样元件与所述检测腔体连接，所述检测腔体与外部存储待检测气体的密封腔体连接，所述气体浓度检测传感器设置于所述检测腔体内，所述检测分析仪分别与所述气体浓度检测传感器以及所述取样元件连接。

【技术特征摘要】
1.一种气体浓度检测装置，其特征在于，包括真空的检测腔体、气体浓度检测传感器、真空的取样元件以及用于接收所述气体浓度检测传感器发送的传感器检测结果，并对所述取样元件中的取样气体进行浓度分析，得到取样检测结果，通过对比所述传感器检测结果与所述取样检测结果，判断所述气体浓度检测传感器是否故障的检测分析仪；所述取样元件与所述检测腔体连接，所述检测腔体与外部存储待检测气体的密封腔体连接，所述气体浓度检测传感器设置于所述检测腔体内，所述检测分析仪分别与所述气体浓度检测传感器以及所述取样元件连接。2.根据权利要求1所述的气体浓度检测装置，其特征在于，还包括温度调节器，所述检测腔体通过所述温度调节器与所述存储待检测气体的密封腔体连接。3.根据权利要求1所述的气体浓度检测装置，其特征在于，所述检测分析仪还包括显示器，所述显示器设置于所述检测分析仪。4.根据权利要求1所述的气体浓度检测装置，其特征在于，还包括真空处理组件，所述真空处理组件与所述检测腔体连接。5.根据权利要求1所述的气体浓度检测装置，其特征在于，所述真空处理组件包括机械真空泵和/或分子真空泵。6.根据权利要求1所述的气体浓度检测装置，其特征在于，还包括真空度检测仪，所述真空度检测仪连接于所述检测腔体与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈义强，何江，恩云飞，师谦，黄云，来萍，黄亚兰，吴谋智，刘远，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所，
类型：发明
国别省市：广东,44