膜形成方法技术

本发明专利技术涉及膜形成方法，更详细地说，是涉及使附着性差的膜牢固地粘附在基板上的方法。该方法包括：将对基板附着性差的第１膜沉积在该基板上的工序，在上述第１膜上设置到达上述基板表面的高密度细微孔的工序，在上述多孔性第１膜上形成对上述基板附着性高的第２膜从而将多孔性第１膜紧固在基板上的序。按照本发明专利技术，可将附着性差的，以前不便使用的贵金属膜粘附在各种物品上形成文字或图案，赋于装饰品以豪华形象。（*该技术在2010年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，更详细地说，是涉及使附着性低的膜牢固地粘附在基板上且不会从基板上剥离的膜形成新方法。有时希望在陶瓷器件和瓷砖，或金刚石等宝石的表面涂敷金或白金等贵金属，通过被覆这些贵金属箔膜施以图案装饰。以前，往往希望在陶瓷、瓷砖、塑料制品或金刚石等宝石表面上涂覆金或白金等贵重金属，通过被覆这些贵金属箔膜施以图案装饰。但是，这类贵金属化学性质稳定，其附着性不一定好，即使是稍微的机械接触也容易剥离。因此，以前就有将胶涂覆在基底上，再将金箔等粘附在胶上的方法。然而，这种方法是手工作业，其缺点是费工，同时由于金箔暴露在表面。因而容易受损伤。本专利技术是为解决上述问题而进行的研究，其目的是提供一种即使对附着性差的基底也具有良好再现性，且能简便形成所规定膜的。为了达到上述目的，本专利技术之第1专利技术的，其特征在于，它具有在基板上沉积对该基板附着性差的第1膜的工序，在上述第1膜上设置到达上述基板表面的微细且高密度孔的工序，在上述多孔性第1膜上形成对上述基板附着性高的第2膜从而将该多孔性的第一膜牢固保持在基板上的工序;第2专利技术的膜成形方法，其特征在于，它具有在基板上沉积对该基板附着性差的第1膜的工序，在上述第1膜上设置到达上述基板表面的微细且高密度孔，而且通过该孔在基板表面上形成凹部的工序，以及在上述多孔性第1膜上形成对上述基板附着性高的第2膜，从而使该多孔性第1膜牢固地保持在基板上的工序。作为上述基板，可采用陶瓷、玻璃、塑料、金属、合金或宝石;作为第1膜，可采用金膜、白金膜，银膜、铟膜、铜膜、镍膜、铬膜等金属膜，或这些金属的合金膜，或TiN膜等有机金属化合物膜;作为第2膜，可采用釉料膜、SiO膜、SiO2膜、铍膜、Al膜、钼膜、铅膜、钨膜、或金属的合金膜，或有机金属化合物膜，但不限于这些，一般对基板的附着性小的第1膜和附着性大的第2膜都适用。按照第1专利技术之，基板和第2膜，通过设在第1膜上的高密度微细孔互相粘连，第1膜除孔以外的其它部分处于夹在基板和第2膜之间的状态。因此，即使第1膜对基板的附着性低，也可以防止该第1膜从基板上剥离下来。按照第2专利技术的，不仅在第1膜上形成孔，而且通过该孔在基板上形成凹部。因此，第2膜与基板的接触面积比第1专利技术之时要大，同时第2膜是以钉钉的状态在基板上形成，因此第1膜对基板的附着性进一步提高。以下参照附图对本专利技术之实施例进行说明。(1)第1实施例图1是有关本专利技术第1实施例的说明图，这是一种由陶瓷构成的瓷砖上粘附Au膜方法的说明图。如图所示，将施釉温度为1140℃～1300℃(中火度施釉)的施釉瓷砖基板1(基板)的表面用三氯乙烯等洗净后经过100℃，1小时左右的干燥。随后，将瓷砖基板1送入Ar气体、2×10-4Torr的箱内，然后用喷溅法在瓷砖基板上形成薄的Au膜2。然后，将粒经2-5μm的Al2O3粒子3混入30%肥皂液后，将该肥皂散布在Au膜2上并使之干燥，使Al2O3粒子3粘附在Au膜2上。随后，以该Al2O3粒子3作为掩膜借助于氩离子(Ar+)对Au膜2进行干侵蚀。此时的干侵蚀条件是，加速电压400V，Ar气2×10-4Torr，10分钟。其后，用超声波洗净机水洗，除去Al2O3粒子和肥皂，则得到形成细孔面积率为25%的不定形微细孔的Au膜2。随后，用旋转涂器涂覆0.7μm厚的保护膜6，在该保护膜6上形成所规定的图案后，以该保护膜作为掩膜，部分除去Au膜2。其后全面除去保护膜6。然后，在Au膜2及瓷砖基板1的表面上施以素陶釉7后在850℃的炉中烧成。素陶釉7是将铅丹，熔融硼砂、火石玻璃以9∶6∶2的比例制成玻璃料，在该玻璃料中加硝石1经粉碎而制成。于是，可在瓷砖基板1上得到施以素陶釉7的Au膜2的图案。如上所述，按照本专利技术之第一实施例，由于通过许多细微孔使素陶釉7和瓷砖基板1互相粘连，因此夹在素陶釉7和瓷砖基板1之间的Au膜2很难剥离。因此，即使对附着性差的瓷砖基板1，也能很好地施以绚丽豪华的Au质图案。按照本专利技术之实施例，可以根据Al2O3粒子的粒径大小和散布状态来调整Au膜2上孔的形成状态。例如，微细孔在Au膜整体中占的比例(细孔面积率)多，则可使Au的色相变淡;反之，细微孔在Au膜整体中占的比例少，则可以在视觉上见到大致完全的Au膜。第2实施例图2是有关本专利技术第2实施例的说明图，这是一种在瓷砖基板上粘附Au膜方法。首先，如该图(a)所示，在中火度施釉的瓷砖基板1上的Au膜2上形成约厚0.7μm的保护膜8，通过形成微细孔的掩膜(图中未示出)，经过曝光，显影，在保护膜8上设置约2μm的孔后，如该图(b)所示，用干侵蚀法以保护膜8作为掩膜，在Au膜2上形成孔9。其后，如该图(c)所示，全面施以透明素陶釉10，得到粘附在瓷砖基板1上的Au膜2。按照该实施例，由于可用掩膜来控制孔9的大小和个数，因此可以精确地调整Au膜2的粘连情况和Au膜2的色相。通过屏幕网复制人物像片图案时，则可得到由细微白、黑点构成的人物画像掩膜，而如果在上述本专利技术实施例的工序中采用该掩膜，则可以在该瓷砖基板1上描绘出由Au膜构成的鲜明的人物画像。第3实施例图3是有关本专利技术第3实施例的说明图，这是一种在玻璃基板上粘附Au膜方法。首先，如该图(a)所示，将约1mm厚的玻璃基板11(基板)的表面用三氯乙烯等洗净后，在100℃经过1小时左右干燥。随之，将玻璃基板送入压力为2×10-4Torr的箱内，然后用真空镀敷法在玻璃基板11上形成0.1μm～1μm的薄Au膜12。其后，用图1之第1实施例中说明的同样方法，在Au膜12上设置细孔面积率约10%的孔13后(图3(b))，用喷溅法在Au膜12上堆积5μm～30μm Cr膜14。由此得到以不透明Cr膜14为背面的Au膜12形成的金色镜。在本专利技术实施例中，由于在通过孔13而附着的Cr膜14和玻璃板11之间夹入Au膜12，因此该Au膜很难剥离。第4实施例图4是关于本专利技术第4实施例，即在塑料浮雕上附着Au膜方法的说明图。首先，将塑料浮雕15表面洗净后，用喷溅法形成0.1μm～1μm薄Au膜16(同图(a))。随后，将粒径2-5μm的Al2O3粒子和3%淀粉糊溶液混合制成悬浮液17，将塑料浮雕15沉渍在该悬浮液17中从而使悬浮液附着在Au膜16的表面上(同图(b))。随后常温干燥，使Al2O3粒子18粘附在Au膜16上(同图(c))。然后以该Al2O3粒子18作为掩膜，进行干侵蚀以致在Au膜16上形成孔19(同图(c))。其后通过水洗除去Al2O3粒子18及糊剂后，在H2SiF6(硅氟化氢酸)的水溶液中加入硅胶使之饱和并进一步加硼酸溶液后得到的常温液中，将塑料浮雕15浸渍15小时，如同图(d)所示，则可得到被覆在Au膜16上的0.3μm厚的SiO2膜20。该SiO2膜20，通过孔19紧紧地附着在塑料浮雕上，因此可防止Au膜16从塑料浮雕15上剥离下来，同时还可以得到透明SiO2膜20的膜厚所导致的干涉色和Au膜16金色光辉交织的复合色。特别是，按照本专利技术实施例，通过浸渍在含Al2O3粒子18的悬浮液17中使Al2O3粒子18粘附在Au膜16上，因而同样也可以很容易地在表面不平的塑料浮雕15上形成。因此，能在整个曲面上均匀地形成孔19，以致能使Au膜16也能粘附在曲面的塑本文档来自技高网...

【技术保护点】
膜形成方法，其特征在于，该方法具有：将对基板附着性差的第１膜沉积在该基板上的工序，在上述第１膜上设置到达上述基板表面的微细且高密度孔的工序，在上述多孔性第１膜上形成对上述基板附着性高的第２膜从而将该多孔性第１膜紧紧保持在基板上的 工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：仲间宏，
申请(专利权)人：大和化工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]