一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法技术

本发明专利技术提供一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法，在气动打磨设备上安装百洁布打磨片，对熔射层区域进行打磨，控制打磨压力在3～5Kg/CM2，均匀打磨部件表面；可以有效去除部件表面的尖端晶粒，调控ARC熔射粗糙度最低能够达到16.781μm。

【技术实现步骤摘要】
一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法
本专利技术涉及电子产业领域，具体涉及一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法。
技术介绍
熔射是一种表面热喷涂处理技术，在进行过喷砂、清洁等一系列预处理后的基材表面，通过气流喷射熔融的溶射涂层小液滴，利用涂层冷却、铺展的机械结合力，在基材表面覆盖一层相对均匀、粗糙的涂层。半导体物理气相沉积(sputter)制程会在部品表面吸附一定厚度的金属、氧化物、有机物等溅镀物质，为了增加部品对这些附着物的吸附能力，降低制程后期的膜质剥离(peeling)、particle(颗粒)异常等不良，在部品的洗净再生过程会使用到溶射处理。ARC熔射即电弧喷涂，其原理是利用两根铝线材分别带正负电荷，相互接触产生电弧，电弧高温将线材瞬间熔化，经压缩空气雾化后喷射到基体表面。目前应用较为普遍的铝熔射工艺有ARC熔射和flame熔射(火焰熔射)两种方式，ARC熔射具有结合力好，机械臂操作运行，电流、电压、气压等参数可调节范围广的优点，但因工艺原理原因，熔射层表面存在较多的尖端grain(晶粒)。尖端grain在吸附膜层时，因接触面积较小，膜层分子易在尖端处聚集，严重时本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤一、本体喷砂；步骤二、清洗；步骤三、ARC熔射；步骤四、打磨处理：在气动打磨设备上安装百洁布打磨片，对熔射层区域进行打磨，控制打磨压力在3～5Kg/CM2，均匀打磨部件表面；步骤五、洁净清洗。

【技术特征摘要】
1.一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤一、本体喷砂；步骤二、清洗；步骤三、ARC熔射；步骤四、打磨处理：在气动打磨设备上安装百洁布打磨片，对熔射层区域进行打磨，控制打磨压力在3～5Kg/CM2，均匀打磨部件表面；步骤五、洁净清洗。2.根据权利要求1所述的一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法，其特征在于：步骤四所述百洁布打磨片为7447#百洁布打磨片。3.根据权利要求1所述的一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法，其特征在于：步骤一所述本体喷砂：采用白刚玉砂材对金属样块进行喷砂，使喷砂后的部件表面粗糙度均匀，粗糙度Ra值范围为6～13μm。4.根据权利要求1所述的一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法，其特征在于：步骤二所述清洗：对步骤一中...

【专利技术属性】
技术研发人员：惠朝先，贺贤汉，邱俊，
申请(专利权)人：四川富乐德科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51