一种冷阱清洗设备和清洗方法技术

本申请提出了一种冷阱清洗设备和清洗方法，冷阱组设置于第一管道，第一管道两端分别设置第一阀门和第七阀门，第一管道于第一阀门与冷阱组之间连接第二管道一端，第一管道于第七阀门与冷阱组之间连接第二管道另一端；水洗组件设置于第二管道，第二管道于水洗组件两侧分别设置第十三阀门和第九阀门，第二管道于第九阀门远离水洗组件一侧设置第八阀门，第二管道于第十三阀门与水洗组件之间连接第三管道一端，第二管道于第八阀门远离第九阀门一侧连接第三管道另一端，第三管道两端分别设置第十五阀门和第十六阀门；第二管道连接第四管道，第四管连接第五管道，烘干组件设置于第五管道，改进冷阱方法，提高清洗效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及设备清洗，具体而言，涉及一种冷阱清洗设备和清洗方法。

技术介绍

1、液晶面板生产系统中，冷阱(cold trap)提供一个非常低温的表面，使真空室中的油气和水汽冷凝成液态或固态，减少对真空度的影响，从而提高真空泵的工作效率。真空室中的气体含有光刻胶等物质，使用一段时间后，光刻胶会附着在冷阱的冷却管道上，影响冷却的效果，需要定期清洗。由于冷阱独特的密闭结构，每次清洗需要对产品上的所有固定螺丝进行拆卸后单独清洗，清洗工序复杂，清洗工时太长。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种冷阱清洗装置来对冷阱进行清洗，改进冷阱清洗方法，提高清洗效率。

2、本申请的实施例是这样实现的：

3、第一方面，本申请实施例提供一种冷阱清洗设备，包括冷阱组、水洗组件和烘干组件；

4、冷阱组设置于第一管道，第一管道两端分别设置第一阀门和第七阀门，第一管道于第一阀门与冷阱组之间连接第二管道一端，第一管道于第七阀门与冷阱组之间连接第二管道另一端；水洗组件设置于第二管道，第二管道于水洗组件两侧分本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种冷阱清洗设备，其特征在于，包括冷阱组、水洗组件和烘干组件；

2.如权利要求1所述的冷阱清洗设备，其特征在于，所述冷阱组件包括依次设置的第一冷阱(51)、第二冷阱(52)和第三冷阱(53)，所述第一冷阱(51)靠近所述第一阀门(201)，所述第一冷阱(51)与第二冷阱(52)之间设置第二阀门(202)，所述第二冷阱(52)与第三冷阱(53)之间设置第五阀门(205)；所述第一管道(11)于所述第一冷阱(51)与第二阀门(202)之间连接第一支管(111)首端，所述第一管道(11)于第二冷阱(52)与第五阀门(205)之间连接第二支管(112)一端，所述第二支管(112)...

【技术特征摘要】

1.一种冷阱清洗设备，其特征在于，包括冷阱组、水洗组件和烘干组件；

2.如权利要求1所述的冷阱清洗设备，其特征在于，所述冷阱组件包括依次设置的第一冷阱(51)、第二冷阱(52)和第三冷阱(53)，所述第一冷阱(51)靠近所述第一阀门(201)，所述第一冷阱(51)与第二冷阱(52)之间设置第二阀门(202)，所述第二冷阱(52)与第三冷阱(53)之间设置第五阀门(205)；所述第一管道(11)于所述第一冷阱(51)与第二阀门(202)之间连接第一支管(111)首端，所述第一管道(11)于第二冷阱(52)与第五阀门(205)之间连接第二支管(112)一端，所述第二支管(112)另一端连接所述第一支管(111)，所述第一管道(11)于第三冷阱(53)与第七阀门(207)之间连接第三支管(113)一端，所述第三支管(113)另一端连接所述第一支管(111)末...

【专利技术属性】
技术研发人员：李国兵，邱俊，黄旭，
申请(专利权)人：四川富乐德科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：