吸附缓冲装置制造方法及图纸

本发明专利技术的课题是提供通过安装到XYZ致动器的前端而能使用的吸附缓冲装置，为简便、低成本的构成，也能长期地对输送对象物的搭载位置上的旋转位置进行高精度的定位。在与旋转轴(14a)连结的驱动轴(15)的外周面设置有驱动轴磁铁(20)，在与可动轴(17)连结的从动轴(16)的内周面设置有从动轴磁铁(21)。并且，驱动轴磁铁(20)的外周面和从动轴磁铁(21)的内周面的相互相对的面用不同的磁极起磁，由此驱动轴(15)和从动轴(16)不接触且在旋转方向上能一体地旋转。可动轴(17)在被轴承(30)在与可动轴(17)的轴向正交的方向上支承于主体壳体(13)的状态下允许可动轴向轴向的移动及可动轴的旋转。

【技术实现步骤摘要】
吸附缓冲装置
本专利技术涉及吸附电子部件等输送对象物的吸附缓冲装置。
技术介绍
一般，吸附电子部件等输送对象物的吸附缓冲装置装配于致动器。吸附缓冲装置具有吸附输送对象物的吸附部。并且，在利用吸附部吸附输送对象物时，使致动器驱动而使吸附缓冲装置朝向输送对象物移动，将吸附部按压到输送对象物。此时，当作用于输送对象物的按压力过大时，有输送对象物破损的担忧。但是，当作用于输送对象物的按压力过小时，有不能利用吸附部吸附输送对象物的担忧。因此，例如专利文献1公开了如下装置：通过在将吸附部按压到输送对象物时吸收作用于吸附部的按压反作用力，可抑制针对输送对象物过剩地作用按压力，且使作用于输送对象物的按压力为恒定。专利文献1的吸附垫支架构成为在固定轴的内周面及可动轴的外周面分别设置有相对的面的磁极不同的磁体。并且，在将装配于可动轴的一端部、即吸引部的垫按压到输送对象物时，可动轴相对于固定轴向与吸引部相反的一侧移动。此时，固定轴的磁体和可动轴的磁体偏移，在两磁体之间作用由要使偏移复原的磁力产生的吸引力。该吸引力以弹回可动轴的移动的方式作用，所以作用于垫的按压反作用力被吸收。而且，作用于两磁体之间的吸引力不被固定轴的磁体与可动轴的磁体的相对距离限制，为大致相同的大小，因此从垫作用于输送对象物的按压力为恒定。这样，提案在吸附操作时始终作用恒定的力的磁性弹簧的缓冲功能。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第4522611号公报在现有技术的吸附缓冲装置中，通过使自身装配于能在XYZ方向移动的致动器的前端，从而能在输送对象物的吸附及脱离时以一定负荷缓冲，但是在需要进行输送对象物的搭载角度的位置调整的情况下，不易进行精密的位置调整。作为角度调整的方法，例如将电动机的旋转轴与吸附垫支架连结，在输送对象物被垫吸附的状态下使电动机的旋转轴旋转，使整个吸附垫支架向以可动轴的轴线为旋转中心的旋转方向旋转，从而能调整输送对象物的以可动轴的轴线为旋转中心的旋转方向的朝向。但是，在电动机的旋转轴的轴线和可动轴的轴线一致的状态下，吸附垫支架不与电动机的旋转轴连结，在电动机的旋转轴和可动轴产生轴偏移的情况下，当输送对象物伴随电动机的旋转轴的旋转而旋转时，在与可动轴的轴线正交的平面方向上输送对象物的位置偏移。一边使电动机的旋转轴的轴线与可动轴的轴线一致一边进行吸附垫支架和电动机的旋转轴的连结操作非常费事。另外，有如下问题：担忧由于动作产生的粉尘使定位精度劣化、担忧该粉尘掉落到移载面等。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供通过安装到XYZ致动器的前端而能使用的吸附缓冲装置，为简便、低成本的构成，也能长期地对输送对象物的搭载位置上的旋转位置进行高精度的定位。解决上述问题的吸附缓冲装置具备：壳体；旋转轴，其能旋转地支承于所述壳体；驱动轴，其收容于所述壳体内，与所述旋转轴一体地旋转；筒状的从动轴，在其内侧插入所述驱动轴，并且所述从动轴相对于所述驱动轴能在轴向上移动；可动轴，其能与所述从动轴一体地在所述轴向上移动，并且在所述可动轴的与所述从动轴相反的一侧的端部具有吸附输送对象物的吸附部；筒状的驱动轴磁铁，其设置于所述驱动轴的外周面；以及筒状的从动轴磁铁，其设置于所述从动轴的内周面，并且在与所述轴向正交的方向上与所述驱动轴磁铁相对配置。所述驱动轴磁铁及所述从动轴磁铁以在周向上分割为多个磁极的方式使N极和S极交替地起磁，通过所述驱动轴磁铁的外周面和所述从动轴磁铁的内周面的相互相对的面用不同的磁极起磁，从而所述驱动轴和所述从动轴不接触且能在旋转方向上一体地旋转，所述驱动轴磁铁及所述从动轴磁铁不接触且使轴向的磁极的重叠偏移，使要复原的轴向的吸引力作用于所述可动轴同时能在轴向上移动。在所述壳体中形成有所述可动轴插通的插通孔。在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间设置有轴承，所述轴承在将所述可动轴在与所述轴向正交的方向上支承于所述壳体的状态下，允许所述可动轴向所述轴向的移动及所述可动轴的旋转。在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述轴承具有：轴承外筒，其配置于所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间；多个滚珠，其配置于所述轴承外筒的内周面与所述可动轴的外周面之间，并且与所述轴承外筒的内周面和所述可动轴的外周面接触；以及筒状的保持构件，其配置于所述轴承外筒的内周面与所述可动轴的外周面之间，保持所述多个滚珠。在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述可动轴具有：抽吸口，其抽吸空气以使得在所述吸附部吸附所述输送对象物；以及轴内通路，其将所述抽吸口和所述插通孔的内部连通，所述壳体具有抽真空用口，所述抽真空用口与所述插通孔的内部连通，并且抽出所述抽吸口、所述轴内通路以及所述插通孔的内部的空气，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述抽真空用口靠所述抽吸口侧设置有第1密封构件。在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述壳体具有收容所述第1密封构件的第1收容部，所述第1密封构件为环状，具有构成与所述可动轴的外周面的间隙密封的第1内周面、以及与所述第1内周面垂直的第1端面，通过作用大气压与真空压的压力差，从而作用所述第1端面上的密封力，所述第1密封构件的外形及厚度方向的尺寸是不受所述第1收容部限制的形状或者尺寸。在上述吸附缓冲装置中也可以为，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述抽真空用口靠与所述抽吸口相反的一侧设置有第2密封构件，所述壳体具有收容所述第2密封构件的第2收容部，所述第2密封构件为环状，具有构成与所述可动轴的外周面的间隙密封的第2内周面、以及与所述第2内周面垂直的第2端面，通过作用大气压与真空压的压力差，从而作用所述第2端面上的密封力，所述第2密封构件的外形及厚度方向的尺寸是不受所述第2收容部限制的形状或者尺寸，所述第2密封构件的与所述第2端面相反的一侧的端面成为所述从动轴的所述可动轴侧的端面能抵接的抵接面。在上述吸附缓冲装置中也可以为，在所述从动轴的所述可动轴侧的端面与所述抵接面抵接的状态下，所述从动轴磁铁的所述可动轴侧的端面位于比所述驱动轴磁铁的所述可动轴侧的端面靠与所述可动轴相反的一侧。在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述第1密封构件及所述第2密封构件为树脂制。在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述第1密封构件设置于所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述轴承靠所述抽吸口侧。在上述吸附缓冲装置中也可以为，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述第1密封构件靠所述抽吸口侧设置有沿着所述可动轴的外周面的狭小的外周空间，所述外周空间与真空发生器连接。在上述吸附缓冲装置中也可以为，所述轴承中的被所述多个滚珠隔开的所述可动轴与所述轴承外筒之间的排出空间与真空发生器连接。在上述吸附缓冲装置中也可以为，在所述排出空间连接有能切换地供给大气压和真空压的切换阀。根据本专利技术，为简便、低成本的构成，也能长期地对输送对象物的搭载位置上的旋转位置进行高精度的定位。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式中的吸附缓冲装置的剖视图。图2是表示驱动轴磁铁和从动轴磁铁的关系的剖视图。图3是将吸附缓冲装置的一部分放大的剖视图。图4是表示可动轴及从动轴朝向电动机壳体侧移动的状态的剖视图。图5是表示可动轴及从动轴朝向电动机壳体侧进一步移动的状态的剖视图。图6是表示输送对象物在被可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸附缓冲装置，其特征在于，具备：壳体；旋转轴，其能旋转地支承于所述壳体；驱动轴，其收容于所述壳体内，与所述旋转轴一体地旋转；筒状的从动轴，在其内侧插入所述驱动轴，并且所述从动轴相对于所述驱动轴能在轴向上移动；可动轴，其能与所述从动轴一体地在所述轴向上移动，并且在所述可动轴的与所述从动轴相反的一侧的端部具有吸附输送对象物的吸附部；筒状的驱动轴磁铁，其设置于所述驱动轴的外周面；以及筒状的从动轴磁铁，其设置于所述从动轴的内周面，并且在与所述轴向正交的方向上与所述驱动轴磁铁相对配置，所述驱动轴磁铁及所述从动轴磁铁以在周向上分割为多个磁极的方式使N极和S极交替地起磁，通过所述驱动轴磁铁的外周面和所述从动轴磁铁的内周面的相互相对的面用不同的磁极起磁，从而所述驱动轴和所述从动轴不接触且能在旋转方向上一体地旋转，所述驱动轴磁铁及所述从动轴磁铁不接触且使轴向的磁极的重叠偏移，使要复原的轴向的吸引力作用于所述可动轴同时能在轴向上移动，在所述壳体中形成有所述可动轴插通的插通孔，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间设置有轴承，所述轴承在将所述可动轴在与所述轴向正交的方向上支承于所述壳体的状态下，允许所述可动轴向所述轴向的移动及所述可动轴的旋转。...

【技术特征摘要】
2016.11.24 JP 2016-2281521.一种吸附缓冲装置，其特征在于，具备：壳体；旋转轴，其能旋转地支承于所述壳体；驱动轴，其收容于所述壳体内，与所述旋转轴一体地旋转；筒状的从动轴，在其内侧插入所述驱动轴，并且所述从动轴相对于所述驱动轴能在轴向上移动；可动轴，其能与所述从动轴一体地在所述轴向上移动，并且在所述可动轴的与所述从动轴相反的一侧的端部具有吸附输送对象物的吸附部；筒状的驱动轴磁铁，其设置于所述驱动轴的外周面；以及筒状的从动轴磁铁，其设置于所述从动轴的内周面，并且在与所述轴向正交的方向上与所述驱动轴磁铁相对配置，所述驱动轴磁铁及所述从动轴磁铁以在周向上分割为多个磁极的方式使N极和S极交替地起磁，通过所述驱动轴磁铁的外周面和所述从动轴磁铁的内周面的相互相对的面用不同的磁极起磁，从而所述驱动轴和所述从动轴不接触且能在旋转方向上一体地旋转，所述驱动轴磁铁及所述从动轴磁铁不接触且使轴向的磁极的重叠偏移，使要复原的轴向的吸引力作用于所述可动轴同时能在轴向上移动，在所述壳体中形成有所述可动轴插通的插通孔，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间设置有轴承，所述轴承在将所述可动轴在与所述轴向正交的方向上支承于所述壳体的状态下，允许所述可动轴向所述轴向的移动及所述可动轴的旋转。2.根据权利要求1所述的吸附缓冲装置，其特征在于，所述轴承具有：轴承外筒，其配置于所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间；多个滚珠，其配置于所述轴承外筒的内周面与所述可动轴的外周面之间，并且与所述轴承外筒的内周面和所述可动轴的外周面接触；以及筒状的保持构件，其配置于所述轴承外筒的内周面与所述可动轴的外周面之间，保持所述多个滚珠。3.根据权利要求2所述的吸附缓冲装置，其特征在于，所述可动轴具有：抽吸口，其抽吸空气以使得在所述吸附部吸附所述输送对象物；以及轴内通路，其将所述抽吸口和所述插通孔的内部连通，所述壳体具有抽真空用口，所述抽真空用口与所述插通孔的内部连通，并且抽出所述抽吸口、所述轴内通路以及所述插通孔的内部的空气，在所述可动轴的外周面与所述插通孔的内周面之间的比所述抽真空用口靠所述抽吸口侧设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：松永晴广，伊藤秀和，林本茂，伊藤正斋，竹内亲平，
申请(专利权)人：喜开理株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP