The invention discloses a double spray shower head glass substrate cleaning device, including a sliding support rod (1) with a slots (1), a first spray device (2a) and a second spray device (2b) connected to the sliding support rod (1) through the slide groove, and a roll brush (4) set below the spray mounting (2), a first spray device (2a), and second. Both the spray device (2b) and the roll brush (4) are directed toward the transmission surface of the transmission mechanism (6). The first spray device (2a) and the second spray device (2b) include a sprinkler (22), a connecting rod 21 connected between the nozzle (22) and the sliding support rod, and a plurality of holes (23) arranged on the sprinkler, the first spray device (2a) and the second spray installation. The position (2b) can be moved back and forth in the extension direction of the sliding support rod (1), and the sum of the maximum moving distance of the first spray device (2a) or the second spray device (2b) is less than the length of the sliding support rod (1).
【技术实现步骤摘要】
一种双喷淋头玻璃基板清洗装置
本专利技术涉及半导体器件制造领域,尤其涉及一种双喷淋头玻璃基板清洗装置。
技术介绍
玻璃基板作为各类半导体器件工艺中的主要部件,在工艺中通常需要使用清洗机对玻璃基板进行多次清洗。现有技术中,最为常见的清洗装置通常包括在传送机构上方的一个或多个滚刷,以及固定在传送机构上方的多个喷淋装置。滚刷清洗装置工作时,喷淋装置开启喷淋清洗液,由传送机构的传送表面输送待清洗的基板,滚刷旋转,其刷毛接触基板的表面,清洗液直接喷射在基板的表面上,从而滚刷对基板进行滚刷清洗。然而,现有的清洗机的清洗效率和清洗质量都有待提高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种双喷淋头玻璃基板清洗装置。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种双喷淋头玻璃基板清洗装置,该装置包括设有滑槽的滑动支持杆、通过所述滑槽滑动连接于所述滑动支持杆上的第一喷淋装置和第二喷淋装置以及设置在喷淋装置下方的滚刷,所述第一喷淋装置、第二喷淋装置和所述滚刷均朝向传送机构的传送表面设置,所述第一喷淋装置和第二喷淋装置均包括喷头、连接在该喷头和所述滑动支持杆之间的连杆以及所述喷头上设置的多个喷孔,所述第一喷淋装置和第二喷淋装置均可在所述滑动支持杆的延伸方向上作来回移动,并且第一喷淋装置或所述第二喷淋装置的最大移动距离之和小于所述滑动支持杆的长度。可选的,所述滑动支持杆上设置有一个向下凸起的止挡部,用以对第一喷淋装置或所述第二喷淋装置的移动幅度进行限制。可选的,所述止挡部位于所述滑动支持杆的中点。可选的,所述喷头上设置的多个喷孔的喷射方向各不相同。可选的,所述第一喷淋装置和第二喷淋装 ...
【技术保护点】
一种双喷淋头玻璃基板清洗装置,其特征在于,该装置包括设有滑槽的滑动支持杆(1)、通过所述滑槽滑动连接于所述滑动支持杆(1)上的第一喷淋装置(2a)和第二喷淋装置(2b)以及设置在喷淋装置(2)下方的滚刷(4),所述第一喷淋装置(2a)、第二喷淋装置(2b)和所述滚刷(4)均朝向传送机构(6)的传送表面设置,所述第一喷淋装置(2a)和第二喷淋装置(2b)均包括喷头(22)、连接在该喷头(22)和所述滑动支持杆之间的连杆(21)以及所述喷头上设置的多个喷孔(23),所述第一喷淋装置(2a)和第二喷淋装置(2b)均可在所述滑动支持杆(1)的延伸方向上作来回移动,并且第一喷淋装置(2a)或所述第二喷淋装置(2b)的最大移动距离之和小于所述滑动支持杆(1)的长度。
【技术特征摘要】
1.一种双喷淋头玻璃基板清洗装置,其特征在于,该装置包括设有滑槽的滑动支持杆(1)、通过所述滑槽滑动连接于所述滑动支持杆(1)上的第一喷淋装置(2a)和第二喷淋装置(2b)以及设置在喷淋装置(2)下方的滚刷(4),所述第一喷淋装置(2a)、第二喷淋装置(2b)和所述滚刷(4)均朝向传送机构(6)的传送表面设置,所述第一喷淋装置(2a)和第二喷淋装置(2b)均包括喷头(22)、连接在该喷头(22)和所述滑动支持杆之间的连杆(21)以及所述喷头上设置的多个喷孔(23),所述第一喷淋装置(2a)和第二喷淋装置(2b)均可在所述滑动支持杆(1)的延伸方向上作来回移动,并且第一喷淋装置(2a)或所述第二喷淋装置(2b)的最大移动距离之和小于所述滑动支持杆(1)的长度。2.根据权利要求1所述的双喷...
【专利技术属性】
技术研发人员:祁月红,
申请(专利权)人:苏州吉赛电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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