一种真空反应釜制造技术

本实用新型专利技术公开的一种真空反应釜，包括筒体、上封头和下封头构成整体反应釜结构，上封头设有第一接口和第二接口，第一接口与设于筒体外的料斗通过第一管路相连通，第二接口与设于筒体外部的真空泵通过第二管路相连通，下封头设有第三接口，第三接口与设于筒体外部的储料罐通过第三管路相连通。该真空反应釜，在反应釜内部没有搅拌桨搅拌，采用内部抽真空的方式形成负压，使内部自行产生涡流搅拌，使得反应液充分混合均匀的同时不受外界污染。

A vacuum reactor

A vacuum reaction kettle disclosed by the utility model comprises a cylinder, a top seal head and a lower seal head. The upper seal is provided with a first interface and a second interface. The first interface is connected with the first pipe through the first pipe, and the second interface is connected to the vacuum pump outside the cylinder through the second pipe. The lower head is provided with third interfaces, and the third interface is connected with the storage tank arranged outside the cylinder body through third pipelines. The vacuum reactor has no stirring in the reactor, and the internal vacuum is used to form a negative pressure to make the inner self generate eddy mixing, so that the reaction liquid is fully mixed and uniform without external pollution.

【技术实现步骤摘要】
一种真空反应釜
本技术涉及反应釜的
，特别涉及一种真空反应釜。
技术介绍
随着微电子技术的发展，集成度越来越高，CMP过程在集成电路制备过程中越来越重要，抛光液的质量和洁净度显的尤为重要。目前，制备用于CMP碱性抛光液的反应釜一般都采用机械搅拌的反应釜。反应釜由釜体、釜盖、夹套、搅拌器、传动装置、轴封装置、支承等组成。搅拌桨在反应釜内通过外部电机的带动对反应液搅拌。虽然反应液能够被充分搅拌，但容易对抛光液造成污染，尤其是机油的污染。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空反应釜，解决上述现有技术问题中的一个或者多个。本技术提供一种真空反应釜，包括筒体、上封头和下封头构成整体反应釜结构，上封头设有第一接口和第二接口，第一接口与设于筒体外的料斗通过第一管路相连通，第二接口与设于筒体外部的真空泵通过第二管路相连通，下封头设有第三接口，第三接口与设于筒体外部的储料罐通过第三管路相连通。在一些实施方式中，第一接口为三通结构，第一接口一通与设于筒体外的料斗通过第一管路相连通，第一接口二通与设于筒体内的第四管路相连，第一接口三通与第四接口相连，第四接口与设于筒体外的风机通过第五管路相连通。在一些实施方式中，第四管路一端与第一接口相连，另一端设于筒体底部，第四管路上设有若干通孔。在一些实施方式中，第二管路上设有第一阀门，第三管路设有第二阀门。有益效果：本技术实施例的真空反应釜，在反应釜内部没有搅拌桨搅拌，采用内部抽真空的方式形成负压，使内部自行产生涡流搅拌，使得反应液充分混合均匀的同时不受外界污染。附图说明图1为本技术一实施方式中一种真空反应釜的结构示意图；图2为本技术一实施方式中一种真空反应釜局部的结构示意图。具体实施方式下面结合说明书附图，对本技术进行进一步详细的说明。如图1所示，一种真空反应釜，包括筒体10、上封头11和下封头12构成整体反应釜结构，上封头11设有第一接口20和第二接口30，第一接口20与设于筒体10外的料斗22通过第一管路相连通，第二接口30与设于筒体10外部的真空泵通过第二管路相连通，下封头12设有第三接口40，第三接口40与设于筒体10外部的储料罐通过第三管路相连通。具体的，筒体10可以是玻璃反应釜，上封头11和下封头12通过密封胶和玻璃筒体10连接，形成一个封闭的反应釜。在上封头11上连接有第一接口20，第一接口20通过第一管路和料斗22连通，料斗22中的原料可以直接倒入料斗中，或者通过泵将原料抽至料斗22中。其中，原料包括硅溶胶以及将硅溶胶配成抛光液的助剂，包括盐类、碱类和有机溶剂，先通过泵将一定量的硅溶胶抽至玻璃反应釜内，然后通过泵或者直接将计算好一定量的助剂倒入料斗22内，加料完成后，使用真空泵通过第二接口30将反应釜抽至真空，反应釜内部抽真空形成负压，使内部自行产生涡流搅拌，使得助剂与硅溶胶混合均匀。混料完成后，通过底部的第三接口40将成品抽至储料罐中。其中，第一管路，第二管路，第三管路均可以选择塑料管路。如图2所示，进一步的，第一接口20为三通结构，第一接口20一通与设于筒体10外的料斗22通过第一管路相连通，第一接口20二通与设于筒体10内的第四管路21相连，第一接口20三通与第四接口23相连，第四接口23与设于筒体10外的风机通过第五管路相连通。具体的，可以通过在三通结构中安装三通阀，来控制料斗22通过第一接口20与第四管路21相连通，或者第四接口23通过第一接口20与第四管路21相连通。当加入原料时，控制三通阀将料斗22与第四管路21相连通，加料完成后，控制第四接口23与第四管路21相连通，第四接口23与设于筒体10外的风机相连，通过风机鼓风将第四管路21残留的原料吹入反应釜中，并不断吹风对硅溶胶和助剂进行鼓泡混合。进一步的，第四管路21一端与第一接口20相连，另一端设于筒体10底部，第四管路21上设有若干通孔。具体的，通孔沿着第四管路21纵向设置，可以等间距排列，当加入原料硅溶胶时，可以提升加料的速度，当加入助剂时，可以通过纵向排列的通孔加入到反应釜中硅溶胶不同的位置，使其混合均匀。而当通过风机进行鼓风时，设置在不同位置的通孔通入气流时，使得硅溶胶和助剂混合更均匀。进一步的，第二管路上设有第一阀门31，第三管路设有第二阀门41。具体的第一阀门31和第二阀门41可以手动控制或者选择电磁阀进行自动控制。工作原理：原料包括硅溶胶以及将硅溶胶配成抛光液的助剂，包括盐类、碱类和有机溶剂，先通过泵将一定量的硅溶胶抽至玻璃反应釜内，然后通过泵或者直接将计算好一定量的助剂倒入料斗22内。当加入原料时，控制三通阀将料斗22与第四管路21相连通，加料完成后，使用真空泵通过第二接口30将反应釜抽至真空，反应釜内部抽真空形成负压，使内部自行产生涡流搅拌，使得助剂与硅溶胶混合均匀，同时控制第四接口23与第四管路21相连通，第四接口23与设于筒体10外的风机相连，通过风机鼓风将第四管路21残留的原料吹入反应釜中，并不断吹风对硅溶胶和助剂进行鼓泡混合。混料完成后，通过底部的第三接口40将成品抽至储料罐中。本技术提供的实施方案中的真空反应釜，在反应釜内部没有搅拌桨搅拌，采用内部抽真空的方式形成负压，使内部自行产生涡流搅拌，使得反应液充分混合均匀，且不受污染。以上表述仅为本技术的优选方式，应当指出，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些也应视为本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空反应釜，包括筒体（10）、上封头（11）和下封头（12）构成整体反应釜结构，其特征在于，所述上封头（11）设有第一接口（20）和第二接口（30），所述第一接口（20）与设于所述筒体（10）外的料斗（22）通过第一管路相连通，所述第二接口（30）与设于所述筒体（10）外部的真空泵通过第二管路相连通，所述下封头（12）设有第三接口（40），所述第三接口（40）与设于所述筒体（10）外部的储料罐通过第三管路相连通。

【技术特征摘要】
1.一种真空反应釜，包括筒体（10）、上封头（11）和下封头（12）构成整体反应釜结构，其特征在于，所述上封头（11）设有第一接口（20）和第二接口（30），所述第一接口（20）与设于所述筒体（10）外的料斗（22）通过第一管路相连通，所述第二接口（30）与设于所述筒体（10）外部的真空泵通过第二管路相连通，所述下封头（12）设有第三接口（40），所述第三接口（40）与设于所述筒体（10）外部的储料罐通过第三管路相连通。2.根据权利要求1所述的一种真空反应釜，其特征在于，所述第一接口（20）为三通结构，所述第一接口（20）一通与设...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军强，
申请(专利权)人：河北宇天昊远纳米材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13