一种氧化铝抛光液配置装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术一种氧化铝抛光液配置装置，包括：机架；水平移动机构；搅拌桶，固定设于所述第一固定板上；垂直移动机构；搅拌头，包括：电机，固定设于所述第二固定板上；旋转轴，与所述电机的输出端固定连接；桶盖，套设于所述旋转轴上且与所述搅拌桶的开口适配；多个叶片，套设于所述旋转轴上且位于所述桶盖的下方；刀片，固定设于所述旋转轴的端部。该氧化铝抛光液配置装置能对氧化铝抛光液中的氧化铝颗粒进行有效的搅拌分散，避免出现团聚现象，获得分散度均匀和悬浮稳定性优良的氧化铝抛光液，从而提高抛光表面质量。

An alumina polishing liquid configuration device

【技术实现步骤摘要】
一种氧化铝抛光液配置装置
本技术涉及抛光液生产装置的
，特别涉及一种氧化铝抛光液配置装置。
技术介绍
作为精密加工的化学机械抛光技术(CMP)，抛光液的性能对CMP效果有非常重要的影响，尤其是抛光磨料粒径的均匀度和磨料的分散程度直接控制着抛光面的去除率和光洁度，粒径均匀的抛光磨料可以获得更好的抛光速率和准确精细的光洁面，因此对抛光磨料比如氧化铝、碳化硅、金刚石等进行配置装置的研究非常重要。现有的氧化铝抛光液配置装置，只起到混合的作用，不能很好的对氧化铝抛光液中的氧化铝颗粒进行分散，氧化铝颗粒容易发生团聚现象。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种氧化铝抛光液配置装置，解决上述现有技术问题中的一个或者多个。本技术提供一种氧化铝抛光液配置装置，包括：机架；水平移动机构，包括：第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨平行设于所述机架上，所述第一导轨和第二导轨水平设置；第一滑块和第二滑块，所述第一滑块套设于所述第一导轨，所述第二滑块套设于所述第二导轨；第一固定板，固定设于所述第一滑块和第二滑块上；第一驱动机构，固定于所述机架上且可驱动所述第一固定板沿着所述第一导轨和第二导轨移动；搅拌桶，固定设于所述第一固定板上；垂直移动机构，包括：第三导轨和第四导轨，所述第三导轨和第四导轨平行设于所述机架上，所述第三导轨和第四导轨垂直设置；第三滑块和第四滑块，所述第三滑块套设于所述第三导轨，所述第四滑块套设于所述第四导轨；第二固定板，固定设于所述第三滑块和第四滑块上；第二驱动机构，固定于所述机架上且可驱动所述第二固定板沿着所述第三导轨和第四导轨移动；搅拌头，包括：电机，固定设于所述第二固定板上；旋转轴，与所述电机的输出端固定连接；桶盖，套设于所述旋转轴上且与所述搅拌桶的开口适配；多个叶片，套设于所述旋转轴上且位于所述桶盖的下方；刀片，固定设于所述旋转轴的端部。在一些实施方式中，第一驱动机构为第一气缸，所述第二驱动机构为第二气缸。在一些实施方式中，所述第一气缸为滑块气缸，第一气缸包括滑杆和第五滑块，所述滑杆固定于所述机架，所述第五滑块沿着所述滑杆移动，所述第五滑块与所述第一固定板固定连接；所述第二气缸包括气缸缸体和活塞杆，所述气缸缸体固定于所述机架，所述活塞杆与所述第二固定板固定连接。在一些实施方式中，还包括固定机构，所述固定机构包括第三气缸和第四气缸，所述第三气缸的输出端设有第一固定块，所述第四气缸的输出端设有第二固定块，所述第一固定块设有第一弧形槽，所述第二固定块设有第二弧形槽，所述第一弧形槽与所述搅拌桶的外壁适配，所述第二弧形槽与所述搅拌桶的外壁适配。在一些实施方式中，刀片为锯齿形。在一些实施方式中，机架底部设有四个万向轮。有益效果：本技术提供的实施方案中的氧化铝抛光液配置装置能对氧化铝抛光液中的氧化铝颗粒进行有效的搅拌分散，避免出现团聚现象，获得分散度均匀和悬浮稳定性优良的氧化铝抛光液，从而提高抛光表面质量。附图说明图1为本技术一实施方式中的一种氧化铝抛光液配置装置的结构示意图；图2为本技术一实施方式中的一种氧化铝抛光液配置装置垂直移动机构的结构示意图；图3为本技术一实施方式中的一种氧化铝抛光液配置装置水平移动机构的结构示意图；图4为本技术一实施方式中的一种氧化铝抛光液配置装置搅拌头的结构示意图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。如图1至4所示，一种氧化铝抛光液配置装置，包括：机架100；水平移动机构200，包括：第一导轨210和第二导轨220，所述第一导轨210和第二导轨220平行设于所述机架100上，所述第一导轨210和第二导轨220水平设置；第一滑块230和第二滑块，所述第一滑块230套设于所述第一导轨210，所述第二滑块套设于所述第二导轨220；第一固定板240，固定设于所述第一滑块230和第二滑块上；第一驱动机构250，固定于所述机架100上且可驱动所述第一固定板240沿着所述第一导轨210和第二导轨220移动；搅拌桶300，固定设于所述第一固定板240上；垂直移动机构400，包括：第三导轨410和第四导轨420，所述第三导轨410和第四导轨420平行设于所述机架100上，所述第三导轨410和第四导轨420垂直设置；第三滑块430和第四滑块，所述第三滑块430套设于所述第三导轨410，所述第四滑块套设于所述第四导轨420；第二固定板440，固定设于所述第三滑块430和第四滑块上；第二驱动机构450，固定于所述机架100上且可驱动所述第二固定板440沿着所述第三导轨410和第四导轨420移动；搅拌头500，包括：电机460，固定设于所述第二固定板440上；旋转轴470，与所述电机460的输出端固定连接；桶盖471，套设于所述旋转轴470上且与所述搅拌桶300的开口适配；多个叶片472，套设于所述旋转轴470上且位于所述桶盖471的下方；刀片473，固定设于所述旋转轴470的端部。进一步的，第一驱动机构250为第一气缸，所述第二驱动机构450为第二气缸。进一步的，所述第一气缸为滑块气缸，第一气缸包括滑杆和第五滑块，所述滑杆固定于所述机架100，所述第五滑块沿着所述滑杆移动，所述第五滑块与所述第一固定板240固定连接；所述第二气缸包括气缸缸体和活塞杆，所述气缸缸体固定于所述机架100，所述活塞杆与所述第二固定板440固定连接。工作原理：如图1所示，搅拌桶和桶盖处于分离状态，在搅拌桶中根据配方组成加入氧化铝抛光液；通过驱动第一气缸的第五滑块在水平方向移动，使得搅拌桶位于搅拌头的下方；此时，驱动第二气缸的活塞杆带动第二固定板向下移动，使得桶盖与搅拌桶处于盖和状态；此时，驱动电机旋转旋转轴，带动叶片和刀片进行运转，对氧化铝抛光液进行搅拌分散。其中，位于底部的刀片可以对沉降于底部的氧化铝颗粒进行粉碎，从而进一步的搅拌分散，避免氧化铝颗粒间的团聚现象。进一步的，还包括固定机构，所述固定机构包括第三气缸260和第四气缸270，所述第三气缸260的输出端设有第一固定块261，所述第四气缸270的输出端设有第二固定块271，所述第一固定块设261有第一弧形槽，所述第二固定块271设有第二弧形槽，所述第一弧形槽与所述搅拌桶300的外壁适配，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氧化铝抛光液配置装置，其特征在于，包括：/n机架(100)；/n水平移动机构(200)，包括：/n第一导轨(210)和第二导轨(220)，所述第一导轨(210)和第二导轨(220)平行设于所述机架(100)上，所述第一导轨(210)和第二导轨(220)水平设置；/n第一滑块(230)和第二滑块，所述第一滑块(230)套设于所述第一导轨(210)，所述第二滑块套设于所述第二导轨(220)；/n第一固定板(240)，固定设于所述第一滑块(230)和第二滑块上；/n第一驱动机构(250)，固定于所述机架(100)上且可驱动所述第一固定板(240)沿着所述第一导轨(210)和第二导轨(220)移动；/n搅拌桶(300)，固定设于所述第一固定板(240)上；/n垂直移动机构(400)，包括：/n第三导轨(410)和第四导轨(420)，所述第三导轨(410)和第四导轨(420)平行设于所述机架(100)上，所述第三导轨(410)和第四导轨(420)垂直设置；/n第三滑块(430)和第四滑块，所述第三滑块(430)套设于所述第三导轨(410)，所述第四滑块套设于所述第四导轨(420)；/n第二固定板(440)，固定设于所述第三滑块(430)和第四滑块上；/n第二驱动机构(450)，固定于所述机架(100)上且可驱动所述第二固定板(440)沿着所述第三导轨(410)和第四导轨(420)移动；/n搅拌头(500)，包括：/n电机(460)，固定设于所述第二固定板(440)上；/n旋转轴(470)，与所述电机(460)的输出端固定连接；/n桶盖(471)，套设于所述旋转轴(470)上且与所述搅拌桶(300)的开口适配；/n多个叶片(472)，套设于所述旋转轴(470)上且位于所述桶盖(471)的下方；/n刀片(473)，固定设于所述旋转轴(470)的端部。/n...

【技术特征摘要】
1.一种氧化铝抛光液配置装置，其特征在于，包括：
机架(100)；
水平移动机构(200)，包括：
第一导轨(210)和第二导轨(220)，所述第一导轨(210)和第二导轨(220)平行设于所述机架(100)上，所述第一导轨(210)和第二导轨(220)水平设置；
第一滑块(230)和第二滑块，所述第一滑块(230)套设于所述第一导轨(210)，所述第二滑块套设于所述第二导轨(220)；
第一固定板(240)，固定设于所述第一滑块(230)和第二滑块上；
第一驱动机构(250)，固定于所述机架(100)上且可驱动所述第一固定板(240)沿着所述第一导轨(210)和第二导轨(220)移动；
搅拌桶(300)，固定设于所述第一固定板(240)上；
垂直移动机构(400)，包括：
第三导轨(410)和第四导轨(420)，所述第三导轨(410)和第四导轨(420)平行设于所述机架(100)上，所述第三导轨(410)和第四导轨(420)垂直设置；
第三滑块(430)和第四滑块，所述第三滑块(430)套设于所述第三导轨(410)，所述第四滑块套设于所述第四导轨(420)；
第二固定板(440)，固定设于所述第三滑块(430)和第四滑块上；
第二驱动机构(450)，固定于所述机架(100)上且可驱动所述第二固定板(440)沿着所述第三导轨(410)和第四导轨(420)移动；
搅拌头(500)，包括：
电机(460)，固定设于所述第二固定板(440)上；
旋转轴(470)，与所述电机(460)的输出端固定连接；
桶盖(471)，套设于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军强，
申请(专利权)人：河北宇天昊远纳米材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13