电磁波屏蔽膜涂敷方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种电磁波屏蔽膜涂敷方法及其装置，能提高被涂敷物和电磁波屏蔽膜间的粘合力，并且能均匀地进行涂敷，能带来批量生产的再现性，不仅能消除安全事故的危险性，而且能够通过实施干式工艺进行无公害作业。为了实现上述目的，其特征在于，在将多个被涂敷物设置在圆筒形的旋转夹具上并旋转的状态下，通过溅射将电磁波屏蔽膜涂敷到上述被涂敷物上。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电磁波屏蔽膜涂敷方法及其装置，特别涉及一种电磁波屏蔽膜涂敷方法及其装置，在对被涂敷物实施等离子体蚀刻后，涂敷电磁波屏蔽膜，增大被涂敷物和电磁波屏蔽膜间的粘合力，并且制造优质的涂敷膜，能在可旋转地设置在大口径腔体内侧的夹具上设置大量被涂敷物的状态下实施涂敷作业，能够制造批量生产及均匀状态的涂敷膜。一般，电磁波不仅被广泛地应用于现代文明生活的电气、电子、通信、计算机医疗领域，而且其应用范围正在被最大化。此外，最近，随着半导体开发的进步，在家电设备、工业设备、医疗设备的领域中，以设备的小型化、轻量化、多功能化、高可靠性为目的，正在迅速推进数字化，随着这种数字设备的增加，产生各种形式的噪声，成为引起电磁波干扰的原因，即，成为VDT(Video display terminal，视频显示终端)症候群及Na+、Ka+离子流的扰乱引起的荷尔蒙分泌异常、癌的诱发等的原因，像飞机等尖端电子装备的误操作那样对设备相互间及人体造成影响，所以迫切需要早日解决电磁波公害的问题。然而，在用于屏蔽上述有害电磁波的方法中，作为最常用的方法，已知有喷射方式，用喷雾器将屏蔽金属溶液喷射、涂敷到被涂敷物上；和非电解镀方式，将被涂敷物放入镀槽内，实施非电解镀，但是这些方法有下述各种问题。第1，在通过上述喷射方式和非电解镀方式来形成电磁波屏蔽膜的情况下，在大气中进行作业工艺，技术水平低劣，被涂敷物上涂敷的屏蔽膜的粘合力相当低，而且在涂敷的屏蔽膜的涂敷厚度及涂敷的粒子等的浓度不均匀的状态下进行涂敷，提高屏蔽效果很有限。第2，几乎所有的作业都通过手工作业来进行，所以不可能有批量生产的再现性。第3，不仅在作业者的喷射作业时招致安全事故的危险，而且非电解镀时使用的工业用水造成废水处理的费用增多。因此，本专利技术就是为了解决上述各种问题而提出的，本专利技术的目的在于提供一种电磁波屏蔽膜涂敷方法及其装置，能解决上述各种问题。本专利技术的另一个目的在于提供一种电磁波屏蔽膜涂敷方法及其装置，能提高被涂敷物和电磁波屏蔽膜间的粘合力，并且能均匀地进行涂敷。本专利技术的另一个目的在于提供一种电磁波屏蔽膜涂敷装置，能带来批量生产的再现性。本专利技术的另一个目的是提供一种电磁波屏蔽膜涂敷装置，不仅能消除安全事故的危险性，而且能够通过实施干式工艺进行无公害作业。为了实现上述目的，本专利技术的特征在于，在将多个被涂敷物设置在圆筒形的旋转夹具上并旋转的状态下，通过溅射将电磁波屏蔽膜涂敷到上述被涂敷物上。此外，本专利技术的特征在于，在用等离子体蚀刻多个被涂敷物的表面后，在将该蚀刻过的多个被涂敷物设置在圆筒形的夹具上并旋转的状态下通过溅射在上述被涂敷物上涂敷电磁波屏蔽膜。此外，本专利技术的特征在于，包括圆筒形工艺腔体，前面设有门，两侧连结设有多个泵；圆筒形的旋转夹具，设置在该腔体的内侧，用于安装多个被涂敷物；夹具旋转部件，设置在该旋转夹具的后方，用于使旋转夹具以规定速度旋转；夹具移动部件，设置在上述旋转夹具的下侧，用于在旋转夹具上装卸被涂敷物时将旋转夹具引出引入腔体内；多个靶，配置在上述旋转夹具的内外侧，作为阴极；以及控制器，设置在上述腔体的一侧，用于控制装置的操作。附图的简单说明附图说明图1是本专利技术的电磁波屏蔽膜涂敷装置的结构横截面图；图2是本专利技术的电磁波屏蔽膜涂敷装置除去门状态的主视图；图3是本专利技术的电磁波屏蔽膜涂敷装置引出旋转夹具状态的截面图；图4是本专利技术的电磁波屏蔽膜涂敷装置引入旋转夹具状态的截面图；图5是图4的A-A’线截面图；图6是图4的B-B’线截面图；图7是本专利技术的旋转夹具的结构主视图；图8是图7的C-C’线截面图；图9是图8的D部的详细放大图；图10是本专利技术的靶(タ一ダツト)的结构截面图11是O2等离子体蚀刻装置的结构概略截面图；图12是被涂敷物聚碳酸酯的AFM(Atomic Force Microscopy，原子力显微镜)特性图；图13是被涂敷物聚碳酸酯的XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy,X射线光电子分析器)光谱特性图；图14是被涂敷物上涂敷的电磁波屏蔽膜的概略截面图；图15是被涂敷物上涂敷的铜膜的表面的扫描显微镜照片；图16是现有及本专利技术的电磁波屏蔽膜的结构对比照片；图17是现有及本专利技术的电磁波屏蔽膜的EDS成分的分析特性图；图18是现有及本专利技术的电磁波屏蔽膜的粘合力测试后的对比照片；图19是现有及本专利技术的电磁波屏蔽膜的ASTM的电磁波屏蔽效果的对比特性图。以下，参照附图来详述本专利技术的电磁波屏蔽膜涂敷方法及其装置的一优选实施例。如图1～10所示，本专利技术的电磁波屏蔽膜涂敷装置包括圆筒形的腔体1；圆筒形的旋转夹具3，设置在该腔体1的内侧，安装多个被涂敷物2，在电气上为阳极；夹具旋转部件4，设置在该旋转夹具3的后方，用于使旋转夹具3以规定速度旋转；夹具移动部件5，设置在上述旋转夹具3的下侧，用于使旋转夹具3出入腔体1的内侧；多个靶6:6a、6b，配置在上述腔体1的内部，在电气上为阴极；控制器7，设置在上述腔体1的一侧，用于提供电源，并且控制装置的操作；以及夹具移动台8，设置在上述腔体1的外侧，用于搭载旋转夹具3。在上述腔体1的一侧，2个扩散泵11、11’被连结设置在排气管12上，在另一侧，1个低温泵13被连结在排气管12’上，在前面可开闭地设有包括观察口14a的门14，在后端部，设有突出的外部保护管15，在该外部保护管15内，在腔体1的内侧突出规定部分，并且设有内部保护管17，用于保护进入腔体1内侧的电源线16和冷却水管16’及气管16”，在位于该腔体1内侧的内部保护管17的下侧，连结设有靶支承台18。上述旋转夹具3是圆环状，包括一对固定板21、21’，相隔规定间隔配置；多个固定台22，按放射状固定在该固定板21、21’间；以及夹持部件23，位于该固定台22的外侧，用于固定被涂敷物2。上述夹持部件23包括可动夹钳24，配置在上述固定台22的外侧；螺栓25，按规定间隔设置，贯通该固定台22和可动夹钳24；以及紧固螺丝26，与该螺栓25结合，用于紧固或放松可动夹钳24。上述旋转夹具部件4包括马达31，设置在上述腔体1的后面外侧；驱动齿轮32，连结到该马达31的马达轴31a上，并且可旋转地配置在腔体1的内侧；以及环状的从动齿轮34，与该驱动齿轮32啮合，并且内周面由多个支持辊33支持。在上述从动齿轮34的规定部分上，设有驱动侧突起35，在上述旋转夹具3的固定板21，上设有夹具侧突起27，在上述从动齿轮34旋转时与驱动侧突起35啮合。上述夹具移动部件5包括一对半圆形的夹具支承台41、41’，相隔规定间隔设置在上述旋转夹具3的下侧；一对支持台42、42’，设置在两侧，与该支承台41、41’连结；多个辊43，相隔规定间隔设置在该支持台42、42’上；以及一对轨道44、44’，配置在上述腔体1内的两侧，使得上述多个辊43能沿前后方向滚动。在上述支承台41、41’的上面，分别切出规定深度的防脱槽41a、41a’，多个轴承45位于该防脱槽41a、41a’的内侧，上述旋转夹具3的固定板21、21’的外周面上形成的导向突起21a、21a’被嵌入上述防脱槽41a、41a’，所以在旋转时旋转夹具3不会脱离夹具移动部件5。在上述腔体1的内侧上部和上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电磁波屏蔽膜涂敷方法，其特征在于，在将多个被涂敷物设置在圆筒形的旋转夹具上并旋转的状态下，通过溅射将电磁波屏蔽膜涂敷到上述被涂敷物上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金道坤，李应直，金东元，李元钟，李延升，
申请(专利权)人：铣益系统株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[]