真空蒸镀机制造技术

本发明专利技术涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室（１８）侧朝玻璃基板（１２）侧流入的蒸镀材料（１５）的蒸气量在玻璃基板（１２）的板宽度方向Ｌ均匀地控制的阀部件（２１）；以及在玻璃基板（１２）的下面侧以平行于玻璃基板（１２）的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室（２５ａ）内对蒸镀材料（１５）的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板（２３），从而谋求对于玻璃基板（１２）的板宽度方向Ｌ的蒸镀均匀化。由此，本发明专利技术能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及向基板等被蒸镀体蒸镀蒸镀材料而形成薄膜的真空蒸镀机。
技术介绍
所谓真空蒸镀机是指，在真空容器内配置蒸镀材料和被蒸镀体，以对真空容器内减压的状态，加热并熔融蒸镀材料使其蒸发或者升华从而使其气化，并将气化的蒸镀材料堆积在被蒸镀体表面而形成薄膜的装置。在上述真空蒸镀机中，作为蒸镀材料的加热方法，正在采用的有用外部加热器加热已放入蒸镀材料的坩锅的外部加热坩锅法等。近年来，真空蒸镀机的使用并没有仅限于通过金属蒸镀的金属薄膜的形成，还使用于通过有机物蒸镀的有机物薄膜形成或者通过多种有机物的共同蒸镀而进行的高分子薄膜形成。例如，使用于平板显示器(以下简称为FPD)的有机场致发光元件(以下称为有机EL元件)的形成等。特开平10-152777号公报近年来，随着FPD的普及，FPD基板越来越大型化。而在对FPD进行大型化时，很难对已气化的蒸镀材料形成均匀的浓度分布和流动，很难在FPD基板上进行均匀蒸镀，容易引起出现不均匀等问题。例如，对于有机系蒸镀材料，考虑到控制的容易性，多采用上述的外部加热坩锅法，并通过控制蒸镀材料的温度或者控制设置在蒸镀材料和基板之间的阀(Shutter)的开闭量等，控制来自蒸镀材料的蒸气量。从而在上述方法中，即使能控制整体的蒸气量，也很难对相对大型FPD基板的宽度方向的蒸气量进行控制，进而很难通过蒸镀获得均匀的薄膜。
技术实现思路
本专利技术鉴于以上的事实，其目的在于提供一种即使对大型基板也能控制蒸镀材料的蒸气分布的同时，还能形成均匀流动，从而能由蒸镀获得均匀薄膜的真空蒸镀机。为解决上述问题，本专利技术提供如下的真空蒸镀机。即，一种真空蒸镀机，包含以下各部分设置在真空容器内并运送基板的运送机构；设置在所述基板的下面侧，且至少具有以下长度即作为与所述基板的运送方向垂直的方向的板宽度方向的被蒸镀区域的长度的蒸镀室；设置在所述真空容器的下方侧，通过气化或者升华蒸镀材料而产生所述蒸镀材料的蒸气的蒸发室；至少具有以下长度即所述基板的所述板宽度方向的被蒸镀区域的长度，同时对沿所述基板的所述板宽度方向的来自所述蒸发室的所述蒸镀材料的蒸气量进行控制的蒸气量控制机构；对从所述蒸发室到所述蒸镀室的真空容器的壁面进行加热的加热机构，其中，所述蒸气量控制机构又包含以下各部分在所述基板的所述板宽度方向上，具备多个入口孔和与其对应的多个出口孔的块部件；以可转动的方式嵌合在所述块部件内，且在所述基板的所述板宽度方向排列设置多个的圆柱形轴部件；设置在各个所述轴部件上，且连通所述一个入口孔和与其对应的所述一个出口孔的连通孔。即，所述蒸气量控制机构以从蒸发室侧流入的蒸镀材料的蒸气量在基板的板宽度方向均匀分布的方式使各轴部件独立转动，从而独立地调整板宽度方向的蒸气量。为解决上述问题，本专利技术还提供如下的真空蒸镀机。即，一种真空蒸镀机，包含以下各部分设置在真空容器内并运送基板的运送机构；设置在所述基板的下面侧，且至少具有以下长度即作为与所述基板的运送方向垂直的方向的板宽度方向的被蒸镀区域的长度的蒸镀室；设置在所述真空容器的下方侧，通过气化或者升华蒸镀材料而产生所述蒸镀材料的蒸气的蒸发室；至少具有以下长度即所述基板的所述板宽度方向的被蒸镀区域的长度，同时在所述基板的下面侧，以平行于所述基板的被蒸镀面表面的方式配置，且调整所述蒸镀室内的所述蒸镀材料的蒸气的分布和流动的蒸气整流机构；对从所述蒸发室到所述蒸镀室的真空容器的壁面进行加热的加热机构，其中，所述蒸气整流机构又包含以下各部分具备多个第一贯通孔的固定板；在所述固定板的平面上，以在所述基板的所述板宽度方向上可动的方式配置的同时，具备控制所述多个第一贯通孔的开口面积的开口面积控制机构的多个可动板。即，所述蒸气整流机构，在作为基板的下面侧的蒸镀室中，以蒸镀室内的蒸镀材料的蒸气在面内分布和流动都均匀的方式，独立移动各可动板，控制蒸镀材料蒸气的分布和流动。为解决上述问题，本专利技术又提供如下的真空蒸镀机。即，一种真空蒸镀机，包含以下各部分设置在真空容器内并运送基板的运送机构；设置在所述基板的下方侧，且至少具有以下长度即作为与所述基板的运送方向垂直的方向的板宽度方向的被蒸镀区域的长度的蒸镀室；设置在所述真空容器的下方侧，通过气化或者升华蒸镀材料而产生所述蒸镀材料的蒸气的蒸发室；至少具有以下长度即所述基板的所述板宽度方向的被蒸镀区域的长度，同时对沿所述基板的所述板宽度方向的来自所述蒸发室的所述蒸镀材料的蒸气量进行控制的蒸气量控制机构；至少具有以下长度即所述基板的所述板宽度方向的被蒸镀区域的长度的同时，在作为所述蒸气量控制机构的上方侧的所述基板的下面侧，以平行于所述基板的被蒸镀面表面的方式配置，且调整所述蒸镀室内的所述蒸镀材料的蒸气的分布和流动的蒸气整流机构；对从所述蒸发室到所述蒸镀室的真空容器的壁面进行加热的加热机构，其中，所述蒸气量控制机构又包含以下各部分在所述基板的所述板宽度方向上，具备多个入口孔和与其对应的多个出口孔的块部件；以可转动的方式嵌合在所述块部件内，且在所述基板的所述板宽度方向排列设置多个的圆柱形轴部件；设置在各个所述轴部件上，且连通所述一个入口孔和与其对应的所述一个出口孔的连通孔，另外其中，所述蒸气整流机构又包含以下各部分具备多个第一贯通孔的固定板；在所述固定板的平面上，以在所述基板的所述板宽度方向上可动的方式配置的同时，具备控制所述多个第一贯通孔的开口面积的开口面积控制机构的多个可动板。为解决上述问题，本专利技术又提供如下的真空蒸镀机。即，所述的真空蒸镀机，其特征是，所述蒸气量控制机构在所述轴部件的内部或者外部具有转动所述轴部件的转动机构。作为转动机构，例如在轴部件的内部或者外部设置齿轮或者把手等突设部分，并通过由转动轴等的转动运动而转动该突设部，使轴部件本身转动。为解决上述问题，本专利技术又提供如下的真空蒸镀机。即，所述的真空蒸镀机，其特征是，在所述蒸气整流机构中，将多个第二贯通孔作为所述开口面积控制机构；以规定间隔配置所述第一贯通孔和所述第二贯通孔的同时，所述第一贯通孔和所述第二贯通孔的开口宽度，在与所述可动板的移动方向垂直的方向上相同。作为所述贯通孔的开口宽度在与可动板的移动方向垂直的方向相同的形式，适合使用矩形的贯通孔。为解决上述问题，本专利技术又提供如下的真空蒸镀机。即，所述的真空蒸镀机，其特征是，在所述蒸气整流机构中，将多个第二贯通孔作为所述开口面积控制机构；以规定间隔配置所述第一贯通孔和所述第二贯通孔的同时，所述第一贯通孔和所述第二贯通孔的开口宽度，在与所述可动板的移动方向垂直的方向上不相同。作为所述贯通孔的开口宽度在与可动板的移动方向垂直的方向不相同的形式，适合使用圆形、椭圆形的贯通孔。为解决上述问题，本专利技术又提供如下的真空蒸镀机。即，所述的真空蒸镀机，其特征是，在所述蒸气整流机构中，将以规定间隔配置的多个切口作为所述开口面积控制机构。为解决上述问题，本专利技术又提供如下的真空蒸镀机。即，所述的真空蒸镀机，其特征是，在所述蒸气整流机构中，以使所述蒸镀室内的所述蒸镀材料的蒸气均匀分布的方式，设置所述规定间隔。例如，如果蒸气整流机构的下方侧(蒸发室侧)的蒸镀材料的蒸气在基板的板宽度方向均匀分布，则最好以均等间隔配置贯通孔，而在分布有偏重的情况下，可根据该偏重适当变更配置贯通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空蒸镀机，其特征是，包含以下各部分：设置在真空容器内并运送基板的运送机构；设置在所述基板的下面侧，且至少具有与所述基板的运送方向垂直的方向即板宽度方向的被蒸镀区域的长度的蒸镀室；设置在所述真空容器的下方 侧，通过气化或者升华蒸镀材料而产生所述蒸镀材料的蒸气的蒸发室；至少具有在所述基板的所述板宽度方向上的被蒸镀区域的长度，同时对沿所述基板的所述板宽度方向上的来自所述蒸发室的所述蒸镀材料的蒸气量进行控制的蒸气量控制机构；对从所述 蒸发室到所述蒸镀室的真空容器的壁面进行加热的加热机构，其中，所述蒸气量控制机构又包含以下各部分：在所述基板的所述板宽度方向上，具备多个入口孔和与其对应的多个出口孔的块部件；以可转动的方式嵌合在所述块部件内，且在所述基 板的所述板宽度方向排列设置多个的圆柱形轴部件；设置在各个所述轴部件上，且连通所述一个入口孔和与其对应的所述一个出口孔的连通孔。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：神川进，森崎裕彦，和田宏三，平井悦郎，小林敏郎，加藤光雄，平野龙也，
申请(专利权)人：三菱日立制铁机械株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]