本发明专利技术涉及隧道式超真空镀膜机，它公开了该隧道式超真空镀膜机的机架上设置有二个以上处于不同工作温度和工作压力的箱体，至少一个箱体内设置有镀膜装置。本发明专利技术的箱体高度由传统的１．２米提高到１．８米，绝对工作压力从传统的１×１０↑［－３］Ｐａ降低到１×１０↑［－４］Ｐａ，制造成本低，而产量由传统的１００张／小时提高到４００张／小时。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜设备，特别是隧道式超真空镀膜机。
技术介绍
传统的真空镀膜机常用间隙式镀膜，由于结构原因，镀膜精度难以达到较高要求，因而为了保证达到较高的镀膜精度，只能控制箱体的高度与绝对工作压力。如德国制造的真空镀机的箱体的结构要求就比较苛刻，其箱体高度只有1.2米，其绝对工作压力只能达到1×10-3Pa，其镀膜玻璃的产量为100张/小时。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种隧道式超真空镀膜机，该隧道式超真空镀膜机的箱体采用合理的加强筋结构，特殊的焊接工艺和精加工制成，其箱体高度由传统的1.2米提高到1.8米，其箱体内的绝对工作压力从传统的1×10-3Pa降低到1×10-4Pa，制造成本低，而产量由传统的100张/小时提高到400张/小时。本专利技术的技术解决方案是隧道式超真空镀膜机的机架上设置有至少二个处于不同工作温度和工作压力的箱体，至少一个箱体内设置有镀膜装置。以上所述的箱体可由金属件焊接后加工而成。本专利技术的箱体的两侧可设有加强筋。本专利技术的箱体的下部可设有传动装置。以上所述的箱体的一端可以设有气动门。本专利技术可以有可搭载镀膜工件的在传动装置的的驱动下经过各个箱体并由回程机构驱动回到起始位置的输送小车。以上所述的输送小车在箱体内的输送速度和停留时间可以是可控的。本专利技术的工作原理是装有镀膜工件的输送小车在传动装置的驱动下，从由箱体组成的隧道的一端驶入，在隧道内逐级进行加热和抽真空。在高温和超真空的条件下，对镀膜工件进行镀膜。镀膜完成后，经过冷却和气压平衡，输送小车从隧道的另一端驶出。卸下镀膜工件后，输送小车由回程机构驱动返回起始位置。由于隧道式超真空镀膜机的箱体由金属件焊接而成，在焊接过程中采用合适的焊接工艺，可使箱体在焊接后的受热变形和受力变形控制在设计要求的精度以内，从而保证在高度为1.8米的箱体内的绝对工作压力可达到1×10-4Pa。从而克服了传统的隧道式超真空镀膜机的箱体由于结构要求较苛刻，组装后达不到较高装配精度，因而箱体高度有限，箱体内的绝对工作压力不能达到1×10-4Pa的难题。本专利技术的优点是隧道式超真空镀膜机的箱体的高度由传统的1.2米提高到1.8米，箱体内的绝对工作压力从传统的1×10-3Pa降低到1×10-4Pa，产量由传统的隧道式超真空镀膜机的100张/小时提高到400张/小时，而且制造成本比传统的隧道式超真空镀膜机降低60％。附图说明图1为本专利技术的构造示意图；图2为图1中的沿A-A的剖视图。具体实施例方式根据图1、2所示，本专利技术包括箱体1、机架2、传动装置3、气动门4、加热体5、输送小车6、回程机构7。箱体1由不锈钢板焊接后加工而成，其两侧设有多片加强筋板10。箱体1的高度为1.8米，箱体1内可承受的绝对工作压力可达1×10-4Pa。9个箱体1串接固定安装在机架2的上端，形成一条超真空镀膜隧道。箱体1的一端外侧设有气动门4，在箱体1内的顶部悬挂有加热体5，在箱体1的底部安装有抽真空装置8。在箱体1的下部设有供输送小车6运行的导轨与传动装置3，在靠近机架2中部的两个箱体1内的内侧设有镀膜装置9。输送小车6通过齿带与传动装置3的传动轴上的齿轮啮合，由传动装置3驱动行驶。回程机构7设在机架2上端的一侧。使用时，将玻璃片装在输送小车6上，输送小车6在传动装置3的驱动下，经过自动气动门4从隧道式真空镀膜机的一端进入箱体1的隧道。在第1个箱体1内抽真空装置8抽真空使绝对工作压力从常压降到1×10-2Pa；接着经过下一个自动气动门4进入第2个箱体1，在第2个箱体1内加热体5加热使温度从常温升至60℃；接着经过下一个自动气动门4进入第3个箱体1，在第3个箱体1内加热体5继续加热使温度升至100℃，抽真空装置8继续抽真空使绝对工作压力降到1×10-3Pa；接着又经过下一个气动门4进入第4个箱体1，在第4个箱体1内个继续加热使温度升至150℃，，抽真空装置8继续抽真空使绝对工作压力达到1×10-4Pa，此时镀膜装置9开始对玻璃片进行SiO2镀膜；接着进入第5个箱体1，在第5个箱体1内保温保压过渡；然后进入第6个箱体1，在第6个箱体内镀膜装置9对玻璃片进行ITO镀膜；接着经过自动气动门4分别进入第7、8、9个箱体1，在第7、8、9个箱体1内逐渐降温、升压至常压；镀膜完成后，经一定时间的冷却及气压平衡，输送小车6带着镀膜玻璃片经过最后一个自动气动门4从隧道式超真空镀膜机的另一端驶出箱体1隧道。卸掉镀膜玻璃片后，回程机构7驱动输送小车6返回到起始位置。权利要求1.隧道式超真空镀膜机，包括机架、设置在机架上的回程机构，其特征是机架上设置有至少二个处于不同工作温度和工作压力的箱体，至少一个箱体内设置有镀膜装置。2.根据权利要求1所述的隧道式超真空镀膜机，其特征是箱体由金属件焊接后加工而成。3.根据权利要求1所述的隧道式超真空镀膜机，其特征是箱体的两侧设置有加强筋。4.根据权利要求1所述的隧道式超真空镀膜机，其特征是箱体的下部设置有传动装置。5.根据权利要求1所述的隧道式超真空镀膜机，其特征是箱体的一端设置有气动门。6.根据权利要求4所述的隧道式超真空镀膜机，其特征是有可搭载镀膜工件的在传动装置的的驱动下经过各个箱体并由回程机构驱动回到起始位置的输送小车。7.根据权利要求6所述的隧道式超真空镀膜机，其特征是输送小车在箱体内的输送速度和停留时间是可控的。全文摘要本专利技术涉及隧道式超真空镀膜机，它公开了该隧道式超真空镀膜机的机架上设置有二个以上处于不同工作温度和工作压力的箱体，至少一个箱体内设置有镀膜装置。本专利技术的箱体高度由传统的1.2米提高到1.8米，绝对工作压力从传统的1×10文档编号C23C14/22GK1690243SQ20041002700公开日2005年11月2日 申请日期2004年4月27日 优先权日2004年4月27日专利技术者陈进锋, 肖亮灿, 何俊 申请人:广州机械设计研究所本文档来自技高网...
【技术保护点】
隧道式超真空镀膜机，包括机架、设置在机架上的回程机构，其特征是机架上设置有至少二个处于不同工作温度和工作压力的箱体，至少一个箱体内设置有镀膜装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈进锋，肖亮灿，何俊，
申请(专利权)人：广州机械设计研究所，
类型：发明
国别省市：81[中国|广州]
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