蚀刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蚀刻机。蚀刻机用于蚀刻工件。蚀刻机包括蚀刻槽，液位检测装置，储液罐，供液管路和控制装置。蚀刻槽用于容置蚀刻液，设有工件入口处。液位检测装置用于检测工件入口处的蚀刻液的液位。储液罐用于存储蚀刻液。供液管路连接储液罐和蚀刻槽。供液管路设有阀门。控制装置连接液位检测装置和阀门，控制装置用于在工件入口处的蚀刻液的液位低于预设液位时控制阀门使储液罐内蚀刻液输入工件入口处。本实用新型专利技术的蚀刻机可以控制补充工件进入蚀刻槽时工件入口处流失的蚀刻液，避免工件进入蚀刻槽时背面存在气泡使得工件表面局部接触不到蚀刻液而蚀刻不均，存在斑点(Mura)。

【技术实现步骤摘要】
蚀刻机
本技术涉及蚀刻技术，特别涉及一种蚀刻机。
技术介绍
在传统浸渍式蚀刻机中，用于蚀刻工件的蚀刻槽设置有用于供工件进入的闸门。工件进入时闸门开启，但是，闸门开启时，工件入口处的蚀刻液容易流失，使得工件入口处液位低于工件所在平面，造成大量空气存在工件背面，后续即使蚀刻液补充完毕后，工件背面依然会存在大量的气泡，气泡会使工件的表面局部位置接触不到蚀刻液，从而蚀刻不均，产生背面斑点(Mura)，进而影响蚀刻的效果。
技术实现思路
本技术的实施方式提供了一种蚀刻机。本技术的实施方式的蚀刻机，用于浸渍蚀刻工件，所述蚀刻机包括：蚀刻槽，用于容置蚀刻液，所述蚀刻槽设有工件入口处；液位检测装置，用于检测所述工件入口处的所述蚀刻液的液位；储液罐，用于存储所述蚀刻液；供液管路，所述供液管路连接所述蚀刻槽和所述储液罐，所述供液管路设有阀门；控制装置，所述控制装置连接所述液位检测装置和所述阀门，在所述工件入口处的所述蚀刻液的液位低于预设液位时，所述控制装置用于控制所述阀门开合使所述储液罐内的所述蚀刻液输入至所述工件入口处。在某些实施方式中，所述蚀刻机包括壳体，所述壳体形成有用于放置所述蚀刻槽的工作腔室。在某些实施方式中，所述蚀刻槽在所述工件入口处设置有入口闸门，所述控制装置用于控制所述入口闸门在所述工件进入所述蚀刻槽时打开以使所述工件进入所述蚀刻槽，及控制所述入口闸门在所述工件进入后关闭。在某些实施方式中，所述液位检测装置包括：连通管路，所述连通管路两端分别连通所述工件入口处的所述蚀刻槽底部和所述蚀刻槽上方区域；和设置在所述连通管路内的液位检测传感器。在某些实施方式中，所述液位检测传感器至少包括第一传感器、第二传感器和第三传感器，所述第一传感器的水平位置高于所述第二传感器的水平位置，所述第二传感器的水平位置高于所述第三传感器的水平位置。在某些实施方式中，所述阀门至少包括第一阀门、第二阀门和第三阀门，所述第一阀门、所述第二阀门和所述第三阀门并联连接所述储液罐和所述工件入口处的所述蚀刻槽底部；所述控制装置用于，当所述工件入口处的所述液位低于所述第一传感器且高于所述第二传感器时，控制所述第一阀门开启，所述第二阀门和所述第三阀门关闭；所述控制装置用于，当所述工件入口处的所述液位低于所述第二传感器且高于所述第三传感器时，控制所述第一阀门和所述第二阀门开启，所述第三阀门关闭；所述控制装置用于，当所述工件入口处的所述液位低于所述第三传感器时，控制所述第一阀门、所述第二阀门和所述第三阀门开启。在某些实施方式中，所述阀门还包括第四阀门，所述第四阀门连接所述储液罐和所述蚀刻槽底部。在某些实施方式中，所述蚀刻机包括泵，所述泵连接所述储液罐和所述供液管路，所述控制装置连接所述泵。在某些实施方式中，所述蚀刻槽包括工件出口处，所述工件出口处远离所述工件入口处，所述蚀刻槽在所述工件出口处设置有出口闸门，所述控制装置用于控制所述出口闸门在所述工件进入所述蚀刻槽时关闭，及控制所述出口闸门在所述工件蚀刻完成后开启。在某些实施方式中，所述蚀刻机包括输送装置，所述输送装置包括位于所述蚀刻槽内的滚轮，所述滚轮用于输送所述工件进出所述蚀刻槽。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本技术实施方式的蚀刻机的结构示意图。主要结构符号说明：蚀刻机10，蚀刻槽11，工件入口处112，入口闸门114，工件出口处116，出口闸门118，液位检测装置12，连通管路122，检测传感器124，第一传感器1242，第二传感器1244，第三传感器1246，储液罐13，供液管路14、阀门142，第一阀门1422，第二阀门1424，第三阀门1426，第四阀门1428，控制装置15，壳体16，工作腔室17，泵18，输送装置19，滚轮192，工件20，蚀刻液30。具体实施方式下面详细描述本技术的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接。可以是机械连接，也可以是电连接。可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1，本技术实施方式的蚀刻机10，用于浸渍蚀刻工件20。蚀刻机10包括蚀刻槽11、液位检测装置12、储液罐13、供液管路14和控制装置15。蚀刻槽11用于容置蚀刻液30，蚀刻槽11设有工件入口处112。液位检测装置12用于检测工件入口处112的蚀刻液30的液位。储液罐13用于存储蚀刻液30。供液管路14连接储液罐13和蚀刻槽11。供液管路14设有阀门142。控制装置15连接液位检测装置12和阀门142，控制装置15用于在工件入口处112的蚀刻液30的液位低于预设液位时控制阀门142开合使储液罐13内的蚀刻液30输入工件入口处112。本技术实施方式的蚀刻机10，蚀刻制程中，工件20进入蚀刻槽11时工件入口处112的蚀刻液30会流失，在工件入口处112设置阀门142将储液罐13中的蚀刻液30导入蚀刻槽11可以补充流失的蚀刻液30。液位检测装置12可以检测工件入口处112的蚀刻液30的液位从而根据蚀刻液30的液位确定蚀刻液30流失程度。控制装置15根据蚀刻液30流失的程度控制阀门142开合以补充蚀刻液30。可以理解，预设液位可根据实际情况具体设定。在某些实施方式中，蚀刻机10包括壳体16。壳体16形成有用于放置蚀刻槽11的工作腔室17。具体地，浸渍式蚀刻使用的蚀刻液30通常含有化学试剂(例如氟化氢HF)，会污染环境。蚀刻机10的壳体16形成相对密闭的工作腔室17，蚀刻槽11放置在工作腔室17内，可以防止蚀刻时蚀刻液30中的化学试剂(例如氟化氢HF)挥发或泄露造成环境污染。同时，相对密闭的工作腔室17可以隔绝蚀刻机10外部污染源(例如杂物、灰尘)进入蚀刻槽11，以免外部污染源影响蚀刻。在某些实施方式中，蚀刻槽11在工件入口处112设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蚀刻机，用于浸渍蚀刻工件，其特征在于，所述蚀刻机包括：蚀刻槽，用于容置蚀刻液，所述蚀刻槽设有工件入口处；液位检测装置，用于检测所述工件入口处的所述蚀刻液的液位；储液罐，用于存储所述蚀刻液；供液管路，所述供液管路连接所述蚀刻槽和所述储液罐，所述供液管路设有阀门；控制装置，所述控制装置连接所述液位检测装置和所述阀门，在所述工件入口处的所述液位低于预设液位时，所述控制装置控制所述阀门开合使所述储液罐内的所述蚀刻液输入至所述工件入口处。

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻机，用于浸渍蚀刻工件，其特征在于，所述蚀刻机包括：蚀刻槽，用于容置蚀刻液，所述蚀刻槽设有工件入口处；液位检测装置，用于检测所述工件入口处的所述蚀刻液的液位；储液罐，用于存储所述蚀刻液；供液管路，所述供液管路连接所述蚀刻槽和所述储液罐，所述供液管路设有阀门；控制装置，所述控制装置连接所述液位检测装置和所述阀门，在所述工件入口处的所述液位低于预设液位时，所述控制装置控制所述阀门开合使所述储液罐内的所述蚀刻液输入至所述工件入口处。2.如权利要求1所述的蚀刻机，其特征在于，所述蚀刻槽在所述工件入口处设置有入口闸门，所述控制装置用于控制所述入口闸门在所述工件进入所述蚀刻槽时打开以使所述工件进入所述蚀刻槽，及控制所述入口闸门在所述工件进入后关闭。3.如权利要求1所述的蚀刻机，其特征在于，所述液位检测装置包括：连通管路，所述连通管路两端分别连通所述工件入口处的所述蚀刻槽底部和所述蚀刻槽上方区域；和设置在所述连通管路内的液位检测传感器。4.如权利要求3所述的蚀刻机，其特征在于，所述液位检测传感器至少包括第一传感器、第二传感器和第三传感器，所述第一传感器的水平位置高于所述第二传感器的水平位置，所述第二传感器的水平位置高于所述第三传感器的水平位置。5.如权利要求4所述的蚀刻机，其特征在于，所述阀门至少包括第一阀门、第二阀门...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱俊，
申请(专利权)人：深圳市柔宇科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44