喷淋蚀刻系统技术方案

一种喷淋蚀刻系统，系统包括电机、蚀刻箱、蚀刻液喷射装置、摆动导杆机构、压力表、流量计、塑料泵、蚀刻液收集箱、ORP氧化还原计、由加热棒和冷却管道组成的温控系统等设备。蚀刻液在塑料泵的驱动下由蚀刻收集箱流入蚀刻箱中，其以一定压力从多边形的喷射装置喷嘴喷出到蚀刻基板上，来蚀刻裸露在光刻胶之间的基体，期间电机带动基体作平面运动，摆动导杆带动基体作转动，温控系统控制蚀刻液的温度，ORP氧化还原计监控蚀刻液的化学反应能力。本发明专利技术可以控制喷淋蚀刻系统在不同的压力、流量、温度、喷淋装置与基体间距下实现高效可控性蚀刻，有利于研究各因素对蚀刻质量及蚀刻后形貌的影响；蚀刻基板和喷淋装置成多边形分布，有利于充分利用蚀刻箱空间、提高蚀刻效率来实现多块基体同时蚀刻；蚀刻基板在电机和摆动导杆机构的带动下，有助于实现蚀刻的均匀性。

Spray etching system

A spray etching system consists of a motor, an etch box, an etch liquid injection device, a swing guide rod mechanism, a pressure meter, a flowmeter, a plastic pump, an etching solution collection box, a ORP oxidation-reduction meter, a temperature control system composed of a heating rod and a cooling pipe. Under the drive of the plastic pump, the etching solution is driven by the etching collection box into the etching box, which is ejected from the spray device nozzle of the polygon to the etching substrate by a certain pressure to etch the substrate exposed to the photoresist. During the period, the motor drives the matrix to make plane motion, the swing guide rod drives the matrix to rotate, and the temperature control system controls etch. The ORP oxidation-reduction meter monitors the chemical reaction capacity of the etching solution. The invention can control the efficient and controllable etching of the spray etching system under the different pressure, flow, temperature, and the distance between the spray device and the substrate. It is beneficial to study the influence of various factors on the etching quality and after the etching. The etching substrate and spray device are polygonal distribution, which is beneficial to the full use of the etching box space and the extraction. High etch efficiency is used to achieve simultaneous etching of multiple blocks. The etched substrate is driven by the motor and the oscillating guide bar mechanism to help achieve the uniformity of etching.

【技术实现步骤摘要】
喷淋蚀刻系统
：本专利技术属于机械微细加工
，特别涉及一种可用于制备印刷电路板换热器的喷淋蚀刻系统。
技术介绍
：微细加工技术是伴随微机械技术的出现而产生的一类新型的现代化制造技术。它实现了微小尺度范围内的机械加工和装配，其中光化学蚀刻技术以其操作简单、加工精度高、成本低、蚀刻过程无机械应力存在等优点被广泛应用于印刷板路、金属表面花纹及精细加工等领域。衡量蚀刻工艺是否成功的主要标准之一是对蚀刻质量及表面形貌的控制能力，而影响蚀刻质量及表面形貌的因素众多，如何控制各因素的影响以实现高效可控制蚀刻成为难点。
技术实现思路
：本专利技术的目的在于提供一种喷淋蚀刻系统，蚀刻喷淋装置为多边形结构，蚀刻基板呈多边形排布，可以增加蚀刻基体同时蚀刻的板数；通过利用电机、摆动导杆、改进喷射装置等方法来增大喷淋系统的承压能力和改善蚀刻的均匀性等，可以提高基板蚀刻的质量；可以较为精准地控制基板在不同压力、流量、温度、喷淋装置与基体间距等较大范围工况下进行喷淋蚀刻，以分析在喷淋中各因素对蚀刻速度、蚀刻均匀性、侧蚀及粗糙度的影响状况，找到喷淋蚀刻最优蚀刻条件，从而实现基板表面形貌的高效可控加工。为达到上述目本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷淋蚀刻系统包括电机(1)、蚀刻箱(2)、蚀刻液喷射装置(4)、摆动导杆机构(5)、压力表(7)、流量计(8)、塑料泵(10)、蚀刻液收集箱(12)、ORP氧化还原计(13)、由加热棒(15)和冷却管道(16)组成的温控系统等设备，其特征在于：蚀刻液喷射装置(4)设置在蚀刻箱(2)内并且具有由多个平面组成的呈正多边形柱体的外形，蚀刻液喷射装置(4)的两侧分别设置有一个夹板(6)，夹板(6)上具有呈正多边形分布的基板固定孔阵列，蚀刻基板(3)固定在夹板(6)的基板固定孔阵列的基板固定孔(23)上；蚀刻液从蚀刻液喷射装置(4)的多个平面垂直喷淋到由电机(1)和摆动导杆机构(5)带动的呈多边形空...

【技术特征摘要】
1.一种喷淋蚀刻系统包括电机(1)、蚀刻箱(2)、蚀刻液喷射装置(4)、摆动导杆机构(5)、压力表(7)、流量计(8)、塑料泵(10)、蚀刻液收集箱(12)、ORP氧化还原计(13)、由加热棒(15)和冷却管道(16)组成的温控系统等设备，其特征在于：蚀刻液喷射装置(4)设置在蚀刻箱(2)内并且具有由多个平面组成的呈正多边形柱体的外形，蚀刻液喷射装置(4)的两侧分别设置有一个夹板(6)，夹板(6)上具有呈正多边形分布的基板固定孔阵列，蚀刻基板(3)固定在夹板(6)的基板固定孔阵列的基板固定孔(23)上；蚀刻液从蚀刻液喷射装置(4)的多个平面垂直喷淋到由电机(1)和摆动导杆机构(5)带动的呈多边形空间分布的蚀刻基板(3)上。2.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述的蚀刻基板(3)在蚀刻箱(2)内呈多边形与喷嘴(22)垂直分布。3.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述基板固定孔阵列为多个，并且各基板固定孔阵列到夹板(6)中心的距离不同使得蚀刻基板(3)与蚀刻液喷射装置(4)的间距可调节。4.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述的蚀刻液喷射装置(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王秋旺，辛菲，马挺，李雄辉，邓天瑞，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61