温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种喷淋蚀刻系统，系统包括电机、蚀刻箱、蚀刻液喷射装置、摆动导杆机构、压力表、流量计、塑料泵、蚀刻液收集箱、ORP氧化还原计、由加热棒和冷却管道组成的温控系统等设备。蚀刻液在塑料泵的驱动下由蚀刻收集箱流入蚀刻箱中，其以一定压力从多边形的喷射...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。