The utility model relates to the vacuum technology field of vacuum sintering furnace, and discloses a vacuum system for vacuum sintering furnace, including a main pumping pipe, a pre pumping pipe and a front stage pipe. The main pumping pipe is provided with a main pumping valve, one end of the pre pumping pipe is connected with one side of the main pumping pipe, and the two sides of the pre pumping valve are described. The pre drainage pipeline is respectively connected with two ends of the slow pumping pipeline, and the slow pumping pipe is provided with a pneumatic slow pumping valve and a manual slow pumping valve. The slow pumping of gas in the vacuum sintering furnace is realized through the slow pumping valve and the manual slow pumping valve on the slow pumping pipe. It can effectively prevent the powder lifting of the workpiece and pollute the main pump and improve the performance of the main pump. At the same time, balance the pressure difference between the pre pumping and the main pumping pipe, and maintain the vacuum needed when the process is divided into pressure. The structure is simple, and the vacuum degree in the sintering furnace is ensured, and the production efficiency is improved.
【技术实现步骤摘要】
一种真空烧结炉用抽真空系统
本技术涉及真空烧结炉抽真空
,特别是涉及一种真空烧结炉用抽真空系统。
技术介绍
真空烧结炉是用于各种材料在真空环境下烧结的真空炉,是工件粉末、粉末压坯在适当温度下受热,借助于原子迁移实现颗粒间的联结。真空烧结的目的是使多孔的粉末压坯,形成具有一定的结构和性能的合金。因为用户的工件一般以金属粉末的形式通过工装安放在真空炉内,而且有些金属材料如金属铌、碳化钽的放气量比较大,且真空炉内的隔热屏等也有部分气体释放,所以为了能达用户所要求的真空度,设备要配置大抽速的真空泵,但是在真空泵开始抽真空工作时,会导致部分工件粉末扬起,抽到泵里,污染主抽泵,降低泵的性能。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术的目的是提供一种真空烧结炉用抽真空系统,以解决现有抽真空系统工作时容易污染主抽泵的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题,本技术提供真空烧结炉用抽真空系统,包括主抽管道、预抽管道和前级管道,所述主抽管道一端与真空烧结炉连通,所述主抽管道的另一端连接设有主抽泵,所述主抽管道上设有主抽阀,所述预抽管道的一端与所述主抽管道的一侧连通,所述预抽管道的另一端连接设有预抽泵,所述预抽管道上设有预抽阀,所述前级管道的两端分别与所述主抽泵和所述预抽管道连接,所述前级管道上设有前级阀,所述预抽阀两侧的所述预抽管道分别连接缓抽管道的两端,所述缓抽管道上设有气动缓抽阀和手动缓抽阀。其中,所述手动缓抽阀设有手动调节开度开关,以控制所述预抽管道的气体流量。其中,所述气动缓抽阀设有电气启闭开关,以控制所述缓抽管道的启闭。其中,所述前级管道的一端通过金属波纹管与位于所 ...
【技术保护点】
一种真空烧结炉用抽真空系统,其特征在于,包括主抽管道、预抽管道和前级管道,所述主抽管道一端与真空烧结炉连通,所述主抽管道的另一端连接设有主抽泵,所述主抽管道上设有主抽阀,所述预抽管道的一端与所述主抽管道的一侧连通,所述预抽管道的另一端连接设有预抽泵,所述预抽管道上设有预抽阀,所述前级管道的两端分别与所述主抽泵和所述预抽管道连接,所述前级管道上设有前级阀,所述预抽阀两侧的所述预抽管道分别连接缓抽管道的两端,所述缓抽管道上设有气动缓抽阀和手动缓抽阀。
【技术特征摘要】
1.一种真空烧结炉用抽真空系统,其特征在于,包括主抽管道、预抽管道和前级管道,所述主抽管道一端与真空烧结炉连通,所述主抽管道的另一端连接设有主抽泵,所述主抽管道上设有主抽阀,所述预抽管道的一端与所述主抽管道的一侧连通,所述预抽管道的另一端连接设有预抽泵,所述预抽管道上设有预抽阀,所述前级管道的两端分别与所述主抽泵和所述预抽管道连接,所述前级管道上设有前级阀,所述预抽阀两侧的所述预抽管道分别连接缓抽管道的两端,所述缓抽管道上设有气动缓抽阀和手动缓抽阀。2.如权利要求1所述的真空烧结炉用抽真空系统,其特征在于,所述手动缓抽阀设有手动...
【专利技术属性】
技术研发人员:王辉,苗志岭,
申请(专利权)人:北京北方华创真空技术有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。