【技术实现步骤摘要】
本申请涉及单晶硅棒生产设备的领域，尤其是涉及一种带有安全防护的单晶炉。
技术介绍
1、目前，采用直拉法生产单晶硅棒时需要实用直拉单晶炉。直拉单晶炉一般包括主炉室、副炉室。主炉室内安装有坩埚、水冷屏和导流筒。
2、在实际晶棒生产过程中会存在误操作、又或者在自动运行提升坩锅的过程中，坩埚中的硅液与导流筒、水冷屏底端距离过近、无安全距离，导致硅液和导流筒、水冷屏直接接触，从而导致喷硅或水冷屏熔穿喷水、冷却水到炉内后电离、高温气化爆炸等安全问题的发生。会对工作人员的安全造成影响、设备财产损失。
技术实现思路
1、为了降低坩埚抬升时硅液与导流筒接触从导致生产事故的概率，本申请提供一种带有安全防护的单晶炉。
2、本申请提供的带有安全防护的单晶炉采用如下的技术方案：
3、一种带有安全防护的单晶炉，包括炉体、炉盖、设置在炉体内部的导流筒，还包括电信号传感器，所述导流筒底部设置有导电柱，所述导电柱与电信号传感器之间设置有导电线，并且所述导电柱与电信号传感器通过导电线实现电连接。
4、通过采用上述技术方案，当坩埚抬升时，导电柱会与坩埚内的硅液接触，此时电信号传感器能够检测到导电柱与硅液的接触，可以向工作人员传递信号，因此可以有效避免因坩埚和导流筒的间距过小而导致的危险情况。
5、优选的，所述导流筒底部开设有安装孔，所述安装孔内设置有安装座，所述导电柱与安装座可拆卸连接。
6、通过采用上述技术方案，导电柱损坏时，可以将导电柱拆下，便
7、优选的，所述导流筒包括外壳和内胆，所述导电柱设置在外壳底部，所述导电线设置在外壳和内胆之间。
8、通过采用上述技术方案，外壳和内胆均可以对导电线起到较好的保护作用，一方面保证导电线的正常工作，另一方面也可以提升导电线的使用寿命。
9、优选的，所述外壳底壁包括倾斜部和水平部，所述导电柱设置于水平部。
10、通过采用上述技术方案，由于外壳底部设置有倾斜部，使导流筒底部直径由上至下逐渐变小，从而使导流筒的底部呈尖端设置，可以一定程度上降低导流筒和硅液接触时导流筒上粘附的硅液量，从而降低喷硅现象发生的概率。
11、优选的，所述炉盖上开设有第一通孔，所述第一通孔内设置有第一石英护套；所述导流筒顶部开设有第二通孔，并且所述第二通孔内设置有第二石英护套；所述导电线穿过第一石英护套和第二石英护套。
12、通过采用上述技术方案，第二石英护套和第一石英护套的功能均为保护导电线不易因高温而损坏，从而提升导电线的使用寿命。
13、优选的，所述导电线与第二石英护套固定连接。
14、通过采用上述技术方案，可以提升导电线安装的稳固性，从而防止导电线在单晶炉内发生位移，并且便于导电线的布线，便于导电线的安装和维护。
15、优选的，所述第二石英护套内侧开设有内螺纹，并且所述导电线与第二石英护套螺纹连接。
16、通过采用上述技术方案，可以有效提升导电线、第一石英护套和第二石英护套之间连接的便利性和稳固性。
17、优选的，所述导电线设置为钨铼丝。
18、通过采用上述技术方案，钨铼丝具有多方面的优点，如高熔点、高强度、高硬度，可以有效保证导电线在高温环境下正常工作，提升使用寿命。
19、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
20、1.导电柱与坩埚内的硅液接触时，此时电信号传感器能够检测到导电柱与硅液的接触，可以向工作人员传递信号，因此只需要将导电柱的长度大于坩埚和导流筒的安全距离，即可有效避免因坩埚和导流筒的间距过小而导致的危险情况；
21、2.工作人员可在本申请带有安全防护的单晶炉的基础上，加装自动控制系统或者警报系统，有利于对现有的单晶炉进行改装，使用成本低，便于推广，有助于提高行业生产的安全性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种带有安全防护的单晶炉，包括炉体（1）、炉盖（2）、设置在炉体（1）内部的导流筒（3），其特征在于：还包括电信号传感器（4），所述导流筒（3）底部设置有导电柱（6），所述导电柱（6）与电信号传感器（4）之间设置有导电线（5），并且所述导电柱（6）与电信号传感器（4）通过导电线（5）实现电连接。
2.根据权利要求1所述的带有安全防护的单晶炉，其特征在于：所述导流筒（3）底部开设有安装孔，所述安装孔内设置有安装座（34），所述导电柱（6）与安装座（34）可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的带有安全防护的单晶炉，其特征在于：所述导流筒（3）包括外壳（31）和内胆（32），所述导电柱（6）设置在外壳（31）底部，所述导电线（5）设置在外壳（31）和内胆（32）之间。
4.根据权利要求3所述的带有安全防护的单晶炉，其特征在于：所述外壳（31）底壁包括倾斜部（311）和水平部（312），所述导电柱（6）设置于水平部（312）。
5.根据权利要求1所述的带有安全防护的单晶炉，其特征在于：所述炉盖（2）上开设有第一通孔，所述第一通孔内设置有
6.根据权利要求5所述的带有安全防护的单晶炉，其特征在于：所述导电线（5）与第二石英护套（33）固定连接。
7.根据权利要求6所述的带有安全防护的单晶炉，其特征在于：所述第二石英护套（33）内侧开设有内螺纹，并且所述导电线（5）与第二石英护套（33）螺纹连接。
8.根据权利要求1所述的带有安全防护的单晶炉，其特征在于：所述导电线（5）设置为钨铼丝。
...【技术特征摘要】
1.一种带有安全防护的单晶炉，包括炉体（1）、炉盖（2）、设置在炉体（1）内部的导流筒（3），其特征在于：还包括电信号传感器（4），所述导流筒（3）底部设置有导电柱（6），所述导电柱（6）与电信号传感器（4）之间设置有导电线（5），并且所述导电柱（6）与电信号传感器（4）通过导电线（5）实现电连接。
2.根据权利要求1所述的带有安全防护的单晶炉，其特征在于：所述导流筒（3）底部开设有安装孔，所述安装孔内设置有安装座（34），所述导电柱（6）与安装座（34）可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的带有安全防护的单晶炉，其特征在于：所述导流筒（3）包括外壳（31）和内胆（32），所述导电柱（6）设置在外壳（31）底部，所述导电线（5）设置在外壳（31）和内胆（32）之间。
4.根据权利要求3所述的带有安全防护的单晶炉，其特征在于：所述外...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨平，黄鸣，尹燕刚，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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