【技术实现步骤摘要】
一种石英炉门减震装置
本技术涉及光伏
,尤其涉及石英炉门减震装置。
技术介绍
在光伏行业电池车间,扩散是整个电池片的心脏工序,维持扩散设备稳定尤为重要。由于扩散工序工艺(POCL+H2O==P2O5+HCL;P2O5+Si==SiO2+P,其中三氯氧磷POCL为剧毒化学品,反应温度800℃)决定,扩散工艺化学反应必须在石英制品室内进行,而且对反应室密封性要求也很高。我们现阶段设备状况为了满足上述工艺要求,必然会造成反应管和石英炉门的损坏频繁,从而影响工艺稳定和生产安全。原因主要有以下几点1、为了满足炉口密封性,气缸推进行程会比炉门与反应管刚接触到的行程大(一般大1-2mm),有一定比例损坏炉门和反应管。2、在调节炉门的时候,不可能调成炉门整个面和反应管端面完美接触,总会有一个点先接触,这种情况是造成炉门和反应管破裂损坏的主要原因。3、在出现推进气缸因高温损坏漏气,单向阀因高温损坏失去调节作用时,炉门会以很快的速度推进,直接碰撞在反应管上,出现这种情况基本上炉门、反应管直接报废。
技术实现思路
解决上述技术问题,本技术提出了一种石英炉门减震装置,所述炉体口部设有安装架,所述炉门上连接有推动机构,所述推动机构包括底座、安装于所述底座下部的气缸,所述气缸输出端与所述安装架连接,并通过气缸带动所述炉门靠近所述炉体;所述安装架上设有缓冲机构,所述缓冲机构指向所述底座。优选的,所述缓冲机构包括固定于所述安装架上的固定架,所述固定架上设有液压缓冲器,所述液压缓冲器输出端连接有橡胶块并指向所述底座。优选的,所述液压缓冲器末端设有阻尼调节器。优选的,所述固定架为L形。优选的, ...
【技术保护点】
一种石英炉门减震装置,包括炉体、炉门,所述炉体内设有反应管,其特征在于,所述炉体口部设有安装架,所述炉门上连接有推动机构,所述推动机构包括底座、安装于所述底座下部的气缸,所述气缸输出端与所述安装架连接,并通过气缸带动所述炉门靠近所述炉体;所述安装架上设有缓冲机构,所述缓冲机构指向所述底座。
【技术特征摘要】
1.一种石英炉门减震装置,包括炉体、炉门,所述炉体内设有反应管,其特征在于,所述炉体口部设有安装架,所述炉门上连接有推动机构,所述推动机构包括底座、安装于所述底座下部的气缸,所述气缸输出端与所述安装架连接,并通过气缸带动所述炉门靠近所述炉体;所述安装架上设有缓冲机构,所述缓冲机构指向所述底座。2.根据权利要求1所述的石英炉门减震装置,其特征在于,所述缓冲机构包括固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:李明,隆霹显,陈志运,田小江,李晴晴,张华,
申请(专利权)人:张家港国龙光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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