一种使用卧式干涉仪进行球面镜面型检测的方法技术

本发明专利技术提供了一种在无立式干涉仪条件下，球面镜面型受自重影响较大时，进行准确检测面型的方法，通过45°平面反射镜折转光路，消除测试过程中球面镜面型受自身重力的影响。本发明专利技术有效保证测试数据的准确性，降低科研成本，所使用工装仪器均为常用仪器，成本低，效率高。

A method for measuring the surface shape of spherical mirrors using horizontal interferometer

The invention provides a method for accurate detection of face shape when the surface type of a spherical mirror is affected by self weight without a vertical interferometer. A 45 degree mirror is converted to the light path to eliminate the influence of the surface type of the spherical mirror in the testing process. The invention effectively guarantees the accuracy of test data and reduces the cost of scientific research. The tooling instruments used are all common instruments, with low cost and high efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种使用卧式干涉仪进行球面镜面型检测的方法
本专利技术属于光学零件检测领域，涉及一种使用卧式干涉仪检测球面镜面型的方法。
技术介绍
对于光电类产品，成像质量是判别一套光学系统优劣的重要指标，每一块光学零件的面型指标是保证最终成像质量好坏的决定性因素。目前，球面镜和平面反射镜主要依靠干涉仪检测数据作为判定单块光学零件面型质量的依据。在某些光学系统中，某球面镜口径较大，且所镀膜层易发生形变，如图1所示，在使用卧式干涉仪测试时，待测球面镜受自身重力影响，导致所测值非真实值。在生产过程中，由于这种球面镜数量较少，若购买高精度立式干涉仪成本较高，所以为降低成本，并满足测试结果的准确性，提高生产效率，本专利技术提供了一种使用卧式干涉仪检测该种球面镜面型的方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种在无立式干涉仪条件下，球面镜面型受自重影响较大时，使用卧式干涉仪进行准确面型测试的检测方法。为了实现以上目的，本专利技术提出了一种使用卧式干涉仪检测球面镜面型的方法，通过45°反射镜折转光路，消除测试过程中球面镜面型受自身重力的影响。具体步骤如下：步骤1：打开卧式干涉仪测试软件，在卧式干涉仪前端安装测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种使用卧式干涉仪进行球面镜面型检测的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：打开卧式干涉仪测试软件，在卧式干涉仪前端安装测试标准镜头；步骤2：校正标准镜头光束中心；步骤3：将用于固定待测球面镜的支撑工装置于可前后左右平移、上下升降的调整机构上；步骤4：将平面发射镜置于支撑工装上，前后移动调整调整机构，使标准镜头光束能够会聚于平面发射镜上；步骤5：将待测球面镜置于支撑工装上，位于平面发射镜的正上方，距平面发射镜的距离为待测球面镜的曲率半径R；步骤6：调整平面发射镜角度，使标准镜头光束经过平面发射镜和待测球面镜后能够返回并出现在卧式干涉仪的测试界面中；步骤7：固定平面发射镜角度，在前后、左右、上...

【技术特征摘要】
1.一种使用卧式干涉仪进行球面镜面型检测的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：打开卧式干涉仪测试软件，在卧式干涉仪前端安装测试标准镜头；步骤2：校正标准镜头光束中心；步骤3：将用于固定待测球面镜的支撑工装置于可前后左右平移、上下升降的调整机构上；步骤4：将平面发射镜置于支撑工装上，前后移动调整调整机构，使标准镜头光束能够会聚于平面发射镜上；步骤5：将待测球面镜置于支撑工装上，位于平面发射镜的正上方，距平面发射镜的距离为待测...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙昕晣，张永强，李传凯，董续勇，赵建辉，何兴飞，
申请(专利权)人：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所，
类型：发明
国别省市：河南,41