下载一种使用卧式干涉仪进行球面镜面型检测的方法的技术资料

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本发明提供了一种在无立式干涉仪条件下,球面镜面型受自重影响较大时,进行准确检测面型的方法,通过45°平面反射镜折转光路,消除测试过程中球面镜面型受自身重力的影响。本发明有效保证测试数据的准确性,降低科研成本,所使用工装仪器均为常用仪器,成本...
该专利属于中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所授权不得商用。

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