The invention discloses a preparation method of acid alumina polishing solution, in particular, the following steps are as follows: (1) adding alumina into the container in proportion, dispersing the alumina fully in the water and discharging the air in the powder; (2) mixing the dispersant in the container in proportion and stirring the liquid in a proportional way; and making the solution fluidity. (3), (3), in proportion to the suspension of suspension agent, slowly adding the container, fully stirred; at this time the surface of the solution is more bright; (4), in proportion to be called triethanolamine, ethanolamine into the container, fully stirred; (5), in proportion to be added to the container, full agitation; (6), in proportion to be called corrosion resistance. The scale agent was added to the container and fully stirred. (7) add boric acid or tartaric acid to adjust the pH value of the solution, stir well, and adjust the pH value between 3~5. The preparation method of the invention has simple steps, less machine equipment and low raw material cost, and is suitable for mass production.
【技术实现步骤摘要】
一种酸性氧化铝抛光液的制备方法
本专利技术涉及组合物制备
,尤其涉及一种酸性氧化铝抛光液的制备方法。
技术介绍
随着电子产品的发展,对手机、平板电脑、手表等金属制品的表面质量要求越来越高,消费者也不满足于一般阳极氧化染色带来的视觉效果。化学机械抛光技术(CMP),使金属表面能达到一定的光亮度,且能使金属具有镜面效果,是将磨粒的机械研磨作用与氧化剂的化学作用有机地结合起来,可实现超精密无损伤表面加工。抛光液的性能对CMP效果有非常重要的作用和影响,特别是抛光液中的磨料粒径和磨料的分散均匀度直接影响着抛光面的光亮度。因此对抛光磨料比如氧化铝、氧化硅、碳化硅等磨料的配置进行研究有着非常重要的意义。本专利技术涉及一种氧化铝抛光液的配置方法,传统的氧化铝抛光液一般为碱性混合液,PH值在12以上,对使用设备有很大的伤害作用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种酸性氧化铝抛光液的制备方法。为解决以上技术问题,本专利技术提供一种酸性氧化铝抛光液的制备方法,包括以下步骤:(1)、按比例称取氧化铝加入容器中,搅拌均匀,使氧化铝充分分散在水中,排出粉体中空气;(2)、按比例称取分散剂加入容器内,搅拌均匀;使溶液流动性变好;(3)、按比例称取悬浮剂,缓慢加入容器内,充分搅拌;此时溶液表面显得更为明亮;(4)、按比例依次称取三乙醇胺、乙醇胺加入容器内,充分搅拌;(5)、按比例称取防腐剂加入容器内,充分搅拌;(6)、按比例称取缓蚀阻垢剂加入容器,充分搅拌;(7)、加入硼酸或者酒石酸调节溶液pH值,充分搅拌,调节pH值在3~5之间。优选的,步骤(1)中所述氧化铝为α-氧化铝, ...
【技术保护点】
一种酸性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)、按比例称取氧化铝加入容器中,搅拌均匀,使氧化铝充分分散在水中,排出粉体中空气;(2)、按比例称取分散剂加入容器内,搅拌均匀;(3)、按比例称取悬浮剂,缓慢加入容器内,充分搅拌;(4)、按比例依次称取三乙醇胺、乙醇胺加入容器内,充分搅拌;(5)、按比例称取防腐剂加入容器内,充分搅拌;(6)、按比例称取缓蚀阻垢剂加入容器,充分搅拌;(7)、加入硼酸或者酒石酸调节溶液pH值,充分搅拌,调节pH值在3~5之间。
【技术特征摘要】
1.一种酸性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)、按比例称取氧化铝加入容器中,搅拌均匀,使氧化铝充分分散在水中,排出粉体中空气;(2)、按比例称取分散剂加入容器内,搅拌均匀;(3)、按比例称取悬浮剂,缓慢加入容器内,充分搅拌;(4)、按比例依次称取三乙醇胺、乙醇胺加入容器内,充分搅拌;(5)、按比例称取防腐剂加入容器内,充分搅拌;(6)、按比例称取缓蚀阻垢剂加入容器,充分搅拌;(7)、加入硼酸或者酒石酸调节溶液pH值,充分搅拌,调节pH值在3~5之间。2.根据权利要求1所述的一种酸性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于:步骤(1)中所述氧化铝为α-氧化铝,目数位10000目、12000目、15000目中的一种。3.根据权利要求1所述的一种酸性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于:步骤(2)中所述分散剂为聚乙二醇200或聚乙二醇400。4.根据权利要求1所述的一种酸性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于:步骤(3)...
【专利技术属性】
技术研发人员:王田军,何伟东,宁润东,
申请(专利权)人:惠州市米特仑科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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