包括体声波谐振器的滤波器及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种包括体声波谐振器的滤波器及其制造方法。所述滤波器包括：多层结构，具有被构造为体声波谐振器的膜；布线，连接到所述体声波谐振器；以及盖，在结合线上结合到所述多层结构，并且通过所述布线和所述结合线之间的互感来构造所述滤波器的滤波特性。

Filter including body acoustic resonator and its manufacturing method

The invention provides a filter comprising a bulk acoustic resonator and a manufacturing method thereof. The filter includes: a multilayer structure with a membrane that is constructed as a sonic resonator; wiring, connecting to the body acoustic resonator; and the lid, combining the multilayer structure on the binding line, and constructing the filter characteristics of the filter through the wiring and the mutual inductance between the combined lines.

【技术实现步骤摘要】
包括体声波谐振器的滤波器及其制造方法本申请要求于2016年10月31日在韩国知识产权局提交的第10-2016-0143690号以及于2017年3月27日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0038523号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。
以下描述涉及一种包括体声波谐振器的滤波器及其制造方法。
技术介绍
近来，由于移动通信装置、化学和生物装置等的飞速发展，对在这样的装置中使用的小且轻的滤波器、振荡器、谐振元件、声谐振质量传感器等的需求也已经增加。作为实现这样小且轻的滤波器、振荡器、谐振元件以及声谐振质量传感器的装置，使用膜体声波谐振器(在下文中，称为“FBAR”)。FBAR可以以最小的成本大批量生产，并可实现为具有超小型尺寸。此外，FBAR可实现作为滤波器的主要特性的高品质因子(Q)值，甚至可被使用在微波频带以及个人通信系统(PCS)和数字无线系统(DCS)的其他频带中。通常，FBAR包括通过在基板上依次堆叠第一电极、压电层和第二电极而实现的谐振部。将在下文中描述FBAR的操作原理。首先，当将电能施加到第一电极和第二电极以在压电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滤波器，包括：多层结构，包括被构造为体声波谐振器的膜；布线，连接到所述体声波谐振器；以及盖，在结合线上结合到所述多层结构，其中，通过所述布线和所述结合线之间的互感来构造所述滤波器的滤波特性。

【技术特征摘要】
2016.10.31 KR 10-2016-0143690;2017.03.27 KR 10-2011.一种滤波器，包括：多层结构，包括被构造为体声波谐振器的膜；布线，连接到所述体声波谐振器；以及盖，在结合线上结合到所述多层结构，其中，通过所述布线和所述结合线之间的互感来构造所述滤波器的滤波特性。2.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述体声波谐振器包括串联谐振器和分路谐振器。3.根据权利要求2所述的滤波器，其中，所述滤波特性通过连接到所述分路谐振器的布线的电感与所述结合线的电感之间的所述互感来确定。4.根据权利要求3所述的滤波器，其中，所述互感提供连接到所述分路谐振器的电感器。5.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述布线的电感基于所述布线的长度和面积来确定。6.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述结合线的电感基于位于离所述布线预定距离处的所述结合线的长度和面积来确定。7.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述互感基于所述布线的电感、所述结合线的电感以及所述布线的所述电感和所述结合线的所述电感之间的耦合系数来确定。8.根据权利要求7所述的滤波器，其中，所述耦合系数基于所述布线和所述结合线之间的距离来确定。9.根据权利要求8所述的滤波器，其中，确定频带的极点的位置基于所述布线和所述结合线之间的所述距离而改变。10.根据权利要求9所述的滤波器，其中，确定所述频带的左极点的增益和频率随着所述布线和所述结合线之间的所述距离减小而减小。11.一种滤波器，包括：串...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴润锡，成重宇，郑原圭，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR