一种金属遮罩的支撑平台及检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种金属遮罩的支撑平台及检测装置，支撑平台包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件；所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔，所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。本发明专利技术利用气浮板支撑金属遮罩并对金属遮罩吹起，将金属遮罩吹起的高度可以抵消金属遮罩因自身重量产生的下垂量，利用框体内的光源作为背光源，可以抵消金属遮罩产生的反射光的影响，从而确保金属遮罩的检测效果，大大提高金属遮罩的蒸镀成功率。

【技术实现步骤摘要】
一种金属遮罩的支撑平台及检测装置
本专利技术涉及金属蒸镀
，尤其涉及一种金属遮罩的支撑平台及检测装置。
技术介绍
AMOLED(Active-matrixorganiclightemittingdiode，全称是有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)显示器以轻薄、主动发光、响应速度快、视角广、色彩丰富、亮度高、功耗低以及耐高低温等诸多优点而被业界认为是继液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)之后的新型显示技术，AMOLED显示器可广泛应用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。在现有技术中，对AMOLED进行蒸镀是在真空室内，将作为处理对象的AMOLED基板朝向下安装其蒸镀面，当蒸镀用的金属遮罩配置在AMOLED基板的蒸镀面与蒸镀源之间时，将蒸镀源加热以使蒸镀材料蒸发，并经由金属遮罩的开孔使其附着于AMOLED基板表面而进行蒸镀。例如，AMOLED基板采用精细金属遮罩(FineMetalMask，FMM)蒸镀有机发光材料来制备彩色化像素图案，该精细金属遮罩包括开孔和桥，开孔与需蒸镀的有机发光材料子像素区域精确对位并保持一致，桥用于防止有机发光材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属遮罩的支撑平台，其特征在于，包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件；所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔，所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。

【技术特征摘要】
1.一种金属遮罩的支撑平台，其特征在于，包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件；所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔，所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。2.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，各所述出气孔上均设有喷气嘴。3.根据权利要求1或2所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板的吹气量可以将金属遮罩吹起30～70um。4.根据权利要求3所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板上靠近所述金属遮罩安装件的出气孔的密度为m1，所述气浮板上靠近所述框体的出气孔的密度为m2，m1＜m2。5.根据权利要求4所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板的材质为陶瓷。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴自强，杨慎东，郭连俊，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32