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本发明公开了一种金属遮罩的支撑平台及检测装置，支撑平台包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件；所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔...
该专利属于苏州精濑光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州精濑光电有限公司授权不得商用。

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