一种单晶炉的高真空炉体制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉的高真空炉体
本技术涉及钒酸钇晶体
，尤其涉及一种单晶炉的高真空炉体。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。现今市场上单晶炉在经过一段时间作业后，会存在单晶炉内无法继续保持高真空状态的问题，这样会使单晶炉中存在一定量的气体，这些气体内必然会存在一些杂质，这些杂质会影响到晶体的生长，在单晶炉工作时，会对铱锅中的原料铱造成一定的损耗，从而造成生产成本的提高。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种单晶炉的高真空炉体。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种单晶炉的高真空炉体，其特征在于：包括炉体，炉体通过第一管道连接真空罐，真空罐通过第二管道连接扩散泵，扩散泵通过第三管道连接真空泵。优选地，所述炉体包括一侧为敞口的炉箱，在炉箱的敞口一侧转动连接炉门，在接炉门与炉箱的连接处设有第一密封垫。优选地，在所述炉箱上侧设有安装槽，安装槽的中心设有让位孔。优选地，在所述炉门外侧设有观察窗，观察窗中心设有观察孔，在观察孔外侧设有透明板，在透明板与观察窗之间设有第二密封垫。优选地，在所述炉门外侧的四个拐角处均设有用于锁紧炉门的锁紧件。优选地，在所述第一管道、第二管道和第三管道上均连接控制阀。优选地，在所述第一管道上还连接波纹管。本技术的优点在于：本技术对传统的单晶炉进行改进，炉体密封效果好，抽真空时多增加了扩散泵，在真空泵对炉体抽真空完成时，对炉体进行二次抽真空，使炉内达到高真空状态，避免炉内混入杂质气体，降低了对铱锅中的原料铱的损耗，间接降...
【技术保护点】
一种单晶炉的高真空炉体，其特征在于：包括炉体（1），炉体（1）通过第一管道（3）连接真空罐（2），真空罐（2）通过第二管道（6）连接扩散泵（5），扩散泵（5）通过第三管道（8）连接真空泵（7）；所述炉体（1）包括一侧为敞口的炉箱（11），在炉箱（11）的敞口一侧转动连接炉门（12），在接炉门（12）与炉箱（11）的连接处设有第一密封垫；在所述炉箱（11）上侧设有安装槽（17），安装槽（17）的中心设有让位孔（18）；在所述炉门（12）外侧设有观察窗（19），观察窗（19）中心设有观察孔（14），在观察孔（14）外侧设有透明板（13），在透明板（13）与观察窗（19）之间设有第二密封垫；在所述炉门（12）外侧的四个拐角处均设有用于锁紧炉门（12）的锁紧件（16）。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉的高真空炉体，其特征在于：包括炉体（1），炉体（1）通过第一管道（3）连接真空罐（2），真空罐（2）通过第二管道（6）连接扩散泵（5），扩散泵（5）通过第三管道（8）连接真空泵（7）；所述炉体（1）包括一侧为敞口的炉箱（11），在炉箱（11）的敞口一侧转动连接炉门（12），在接炉门（12）与炉箱（11）的连接处设有第一密封垫；在所述炉箱（11）上侧设有安装槽（17），安装槽（17）的中心设有让位孔（18）；在所述炉门（12）外侧设有观...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡治军，
申请(专利权)人：安徽中晶光技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34
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