蒸发台行星架制造技术

蒸发台行星架。涉及晶圆加工领域，具体涉及一种蒸发台行星架。提供了一种有效抑制金属蒸发到晶圆背面、提高产品品质的蒸发台行星架。包括伞面状的行星架本体，所述行星架本体上设有若干底部中通的晶圆容置槽和可适配在容置槽上的盖板，所述容置槽内设有与晶圆的边缘适配的平边，使晶圆放在容置槽中时与容置槽之间无空隙；在行星架本体上设有盖板的固定装置。本实用新型专利技术通过简单的措施有效解决了溢蒸的问题，具有良好的实用性。

Evaporator planetary frame

The planetary frame of the evaporator. The invention relates to the wafer processing field, in particular to a planet rack of evaporation platform. An evaporator planetary frame that effectively inhibits metal evaporation to the back of the wafer and improves product quality is provided. The planet frame consists of an umbrella body, which is provided with a number of holes in the bottom and a cover plate that can be fitted to the tank. The tank is provided with a flat edge fitted to the edge of the wafer, so that there is no gap between the wafer and the tank. Fixed device. The utility model effectively solves the problem of overflow by simple measures, and has good practicability.

【技术实现步骤摘要】
蒸发台行星架
本技术涉及晶圆加工领域，具体涉及一种蒸发台行星架。
技术介绍
行星架作为蒸发台主要部件，对产品的良率有着至关重要的影响。原来随机台使用的行星架装片片槽是圆形的，而晶圆因工艺需要会留有一小块平边，将晶圆安装在片槽上后，晶圆平边与片槽圆边之间会有较大空隙，导致金属蒸发到晶圆正面的同时将金属蒸发到了晶圆背面，晶圆平边背面蒸发后发白，影响产品的良品率。
技术实现思路
本技术针对以上问题，提供了一种有效抑制金属蒸发到晶圆背面、提高产品品质的蒸发台行星架。本技术的技术方案是：包括伞面状的行星架本体，所述行星架本体上设有若干底部中通的晶圆容置槽和可适配在容置槽上的盖板，所述容置槽内设有与晶圆的边缘适配的平边，使晶圆放在容置槽中时与容置槽之间无空隙；在行星架本体上设有盖板的固定装置。所述固定装置包括若干设在容置槽四周的卡扣，所述卡扣包括固定轴和首端套接在固定轴上并可绕固定轴转动的弹簧片，所述弹簧片的末端与盖板接触并压紧盖板。所述固定装置包括位于本体中间并与本体垂直的立杆、若干齿轮以及若干首端固定连接在齿轮上的连接杆，使得连接杆以立杆为中心向外发散，所述盖板设在连接杆的末端，所述立杆上设有齿纹，本文档来自技高网...

【技术保护点】
蒸发台行星架，包括伞面状的行星架本体，所述行星架本体上设有若干底部中通的晶圆容置槽和可适配在容置槽上的盖板，其特征在于，所述容置槽内设有与晶圆的边缘适配的平边，使晶圆放在容置槽中时与容置槽之间无空隙；在行星架本体上设有盖板的固定装置。

【技术特征摘要】
1.蒸发台行星架，包括伞面状的行星架本体，所述行星架本体上设有若干底部中通的晶圆容置槽和可适配在容置槽上的盖板，其特征在于，所述容置槽内设有与晶圆的边缘适配的平边，使晶圆放在容置槽中时与容置槽之间无空隙；在行星架本体上设有盖板的固定装置。2.根据权利要求1所述的蒸发台行星架，其特征在于，所述固定装置包括若干设在容置槽四周的卡扣，所述卡扣包括固定轴和首端套接在固定轴上并可绕固...

【专利技术属性】
技术研发人员：周义，王毅，
申请(专利权)人：扬州扬杰电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32