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蒸发台行星架。涉及晶圆加工领域，具体涉及一种蒸发台行星架。提供了一种有效抑制金属蒸发到晶圆背面、提高产品品质的蒸发台行星架。包括伞面状的行星架本体，所述行星架本体上设有若干底部中通的晶圆容置槽和可适配在容置槽上的盖板，所述容置槽内设有与晶圆...
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