一种加工设备用工件固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种加工设备用工件固定装置，包括固定板，所述固定板的底部设置有基座，所述固定板的底部固定连接有固定块，所述固定块的底部开设有第一凹槽，所述第一凹槽的内部设置有连接块，所述连接块的底部活动连接有工件，所述基座的顶部开设有第二凹槽，所述工件远离连接块的一端延伸至第二凹槽的内部，所述固定板底部的两侧均活动连接有电源线。本实用新型专利技术通过第一弹簧和活动球的设置，可以通过活动球与活动槽的配合对连接块进行固定，通过第二弹簧和夹板的设置，可以对工件底部一端的表面进行固定，防止加工时出现晃动，影响操作，同时解决了无法有效的对工件进行固定，降低了加工处理效率的问题。

A work piece fixer for processing equipment

The utility model discloses a workpiece fixed device for processing equipment, including a fixed plate. The bottom of the fixed plate is provided with a base. The bottom of the fixed plate is fixedly connected with a fixed block. The bottom of the fixed block is provided with a first groove. The inner of the first groove is provided with a connection block and the bottom of the connection block. The movable connection has a workpiece, and the top of the base is provided with second grooves. The workpiece is extended away from one end of the connection block to the inner of the second groove, and both sides of the bottom of the fixed plate are all connected with a power supply line. By setting the first spring and the movable ball, the utility model can fix the connection block through the coordination of the movable ball and the movable slot. Through the setting of the second spring and the splint, the surface of the bottom end of the workpiece can be fixed to prevent the sloshing and the operation of the workpiece in the process of processing, at the same time it solves the ineffective pair of workers. The workpiece is fixed to reduce the processing efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种加工设备用工件固定装置
本技术涉及加工设备
，具体为一种加工设备用工件固定装置。
技术介绍
迄今为止，在半导体器件的制造步骤中，在工件上要进行成膜或蚀刻处理，用于加工这样基底的加工设备设有基座，它是在处理过程中固定半导体基底的固定器，如中国专利公开了“用于加工设备的工件固定器和使用该固定器的加工设备”(专利号：03107447.2)，该装置包括：陶瓷体，其具有电极和加热器电路并能够固定工件：管形件，其具有连接至陶瓷体的末端部分：密封件，其放在管形件的内部并将管形件的内部空间分成两个区域：在第一末端部分的区域(“密封部分”)和在相对侧的区域(“相对区域”)：和电源导电元件，其从相对区域侧，穿过密封件至密封区域侧，并与电极和加热器电路电气连接，而该装置在进行半导体器件制造时无法有效的对工件进行固定，降低了加工处理的效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种加工设备用工件固定装置，可以通过活动球与活动槽的配合对连接块进行固定，具备可以有效的对工件进行固定，提高了加工处理效率的优点，解决了无法有效的对工件进行固定，降低了加工处理效率的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加工设备用工件固定装置，包括固定板(1)，其特征在于：所述固定板(1)的底部设置有基座(2)，所述固定板(1)的底部固定连接有固定块(3)，所述固定块(3)的底部开设有第一凹槽(4)，所述第一凹槽(4)的内部设置有连接块(5)，所述连接块(5)的底部活动连接有工件(6)，所述基座(2)的顶部开设有第二凹槽(7)，所述工件(6)远离连接块(5)的一端延伸至第二凹槽(7)的内部，所述固定板(1)底部的两侧均活动连接有电源线(8)，所述基座(2)顶部的两侧均设置有连接板(9)，所述连接板(9)的中部固定连接有固定套(10)，所述电源线(8)的底部贯穿固定套(10)并延伸至固定套(10)的外部；所...

【技术特征摘要】
1.一种加工设备用工件固定装置，包括固定板(1)，其特征在于：所述固定板(1)的底部设置有基座(2)，所述固定板(1)的底部固定连接有固定块(3)，所述固定块(3)的底部开设有第一凹槽(4)，所述第一凹槽(4)的内部设置有连接块(5)，所述连接块(5)的底部活动连接有工件(6)，所述基座(2)的顶部开设有第二凹槽(7)，所述工件(6)远离连接块(5)的一端延伸至第二凹槽(7)的内部，所述固定板(1)底部的两侧均活动连接有电源线(8)，所述基座(2)顶部的两侧均设置有连接板(9)，所述连接板(9)的中部固定连接有固定套(10)，所述电源线(8)的底部贯穿固定套(10)并延伸至固定套(10)的外部；所述第一凹槽(4)内腔的两侧均固定连接有第一弹簧(11)，所述第一弹簧(11)远离第一凹槽(4)内壁的一端固定连接有活动球(12)，所述连接块(5)的两侧均开设有与活动球(12)配合使用的活动槽(13)，且活动球(12)的一端延伸至活动槽(13)的内部，所述第二凹槽(7)内腔的两侧均固定连接有第二弹簧(14)，所述第二弹簧(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：许莆嘉，
申请(专利权)人：浙江荔禾电气科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33