一种新型半导体单晶片应力检测仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型半导体单晶片应力检测仪，其包括机箱，机箱的上端面左右两侧各设置一条x轴电控滑轨，两条x轴电控滑轨上横向设置有y轴电控滑轨，y轴电控滑轨通过其底部的x轴滑块与x轴电控滑轨滑动连接；y轴电控滑轨上设置有单晶片固定云台，单晶片固定云台通过其底部的y轴滑块与y轴电控滑轨可滑动连接；机箱的后侧中部设置有z轴电控滑轨；z轴电控滑轨上设置有单反相机，单反相机通过z轴滑块与z轴电控滑轨可滑动连接；机箱内设置有控制系统。本申请能够充分利用机箱里的空间容量，加入吸泵，光源控制以及点胶机控制的三轴电机系统以保证相机晶片的灵活移动，避免锥光黑场对应力表征的影响。

A new type of semiconductor single crystal stress detector

The utility model discloses a new type of semiconductor single crystal stress detector, which includes a machine case. A X axis electronic control rail is set on the left and right sides of the upper end of the chassis. The two X axis electronic control slide rail has a Y axis electronically controlled slide rail, and the Y axis electronic control slide rail connects with the X shaft electronically controlled slide rail through the X axis slide block at the bottom; and the Y axis electricity is connected. A single crystal fixed cloud platform is set on the control slide, and the single crystal plate is connected with the Y axis electronically controlled slide rail through the Y shaft slider at the bottom of the single crystal plate; the middle of the rear side of the chassis is equipped with an electronic control slide rail with a Z axis; a single counter camera is set on the electronic control rail of the Z axis, and the single counter camera can be slidably connected with the Z axis electronically controlled slide rail through the Z shaft slider; the inside of the chassis is inside the chassis. Set up a control system. The application can make full use of the space capacity in the chassis, add the suction pump, the light source control and the three axis motor system controlled by the glue dispenser to ensure the flexible movement of the camera chip, and avoid the influence of the force representation of the cone light black field.

【技术实现步骤摘要】
一种新型半导体单晶片应力检测仪
本技术涉及宽禁带半导体单晶应力检测领域，具体涉及一种新型半导体单晶片应力检测仪。
技术介绍
晶体应力的测试方法按照对被测样品是否有损伤分为有损与无损两大类，偏光应力测试是无损检测的重要方法。半导体单晶生长过程中，由于前期生长热场不均导致晶体内部应力较高，在晶体中存在应力分布不均的情况。半导体单晶工业量产中，需对大批量晶片进行表面应力斑分布表征拍摄，该测试手段对拍摄质量的要求是：一.晶片非应力斑处色差最小；二.避开锥光干涉的十字黑场；三.针对不同晶向，不同厚度晶片调整光源位置以及照度；四、快速记录及存档。一般应力仪无法同时满足以上的拍摄需求，操作员手绘存档耗时且误差大，无法满足单晶片大规模产业化的表征需求，因此急需一种全自动且能快速表征并记录整片应力分布的设备。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种新型半导体单晶片应力检测仪，其可以用直观的方式快速的进行筛选判断，数据存档，该设备结构简单，便于实施，测试结果可为产业化单晶生长工艺方向提供方向性指导。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种新型半导体单晶片应力检测仪，所述应力检测仪包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型半导体单晶片应力检测仪，其特征在于，所述应力检测仪包括机箱，所述机箱的上端面左右两侧各设置一条x轴电控滑轨，两条所述x轴电控滑轨上横向设置有y轴电控滑轨，所述y轴电控滑轨通过其底部的x轴滑块与x轴电控滑轨滑动连接；所述y轴电控滑轨上设置有单晶片固定云台，所述单晶片固定云台通过其底部的y轴滑块与y轴电控滑轨可滑动连接；机箱的后侧中部设置有z轴电控滑轨；所述z轴电控滑轨上设置有单反相机，所述单反相机通过z轴滑块与z轴电控滑轨可滑动连接；机箱内设置有控制系统，所述控制系统用于控制所述x轴滑块、y轴滑块以及z轴滑块的移动。

【技术特征摘要】
1.一种新型半导体单晶片应力检测仪，其特征在于，所述应力检测仪包括机箱，所述机箱的上端面左右两侧各设置一条x轴电控滑轨，两条所述x轴电控滑轨上横向设置有y轴电控滑轨，所述y轴电控滑轨通过其底部的x轴滑块与x轴电控滑轨滑动连接；所述y轴电控滑轨上设置有单晶片固定云台，所述单晶片固定云台通过其底部的y轴滑块与y轴电控滑轨可滑动连接；机箱的后侧中部设置有z轴电控滑轨；所述z轴电控滑轨上设置有单反相机，所述单反相机通过z轴滑块与z轴电控滑轨可滑动连接；机箱内设置有控制系统，所述控制系统用于控制所述x轴滑块、y轴滑块以及z轴滑块的移动。2.根据权利要求1所述的新型半导体单晶片应力检测仪，其特征在于，所述控制系统包括主控板以及与所述主控板电连接的x轴驱动器、y轴驱动器、z轴驱动器和手柄控制器；所述x轴驱动器、y轴驱动器和z轴驱动器分别与x轴步进电机、y轴步进电机和z轴步进电机电连接；所述x轴步进电机、y轴步进电机和z轴步进电机分别与所述x轴滑块、y轴滑块和z轴滑块连接。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨丽雯，刘欣宇，代勇，
申请(专利权)人：北京华进创威电子有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11