下载一种新型半导体单晶片应力检测仪的技术资料

文档序号:17884037

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本实用新型公开了一种新型半导体单晶片应力检测仪,其包括机箱,机箱的上端面左右两侧各设置一条x轴电控滑轨,两条x轴电控滑轨上横向设置有y轴电控滑轨,y轴电控滑轨通过其底部的x轴滑块与x轴电控滑轨滑动连接;y轴电控滑轨上设置有单晶片固定云台,单...
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