The field alignment equipment and field alignment system provided by the utility model, the laser transmitter and the laser output device are connected through the optical fiber in the field alignment equipment, and the laser generated by the laser transmitter is transmitted through the fiber to the laser output device. The laser output end of the laser output device is located at the focal point of the collimating lens, so that the laser collimated lens can output parallel light. The parallel light forms two optical branches through the first half through half reverse mirror and the second half through half reverse mirror, in which a branch of the optical path forms a far field spot imaging on the first camera via an imaging lens. After the other branch branch is used for calibration through the diaphragm, the Hartmann sensor is formed by the beam shrinking system to form light. Spot array. The field alignment device can be monitored in real time by two cameras, which greatly improves the operability and accuracy of the alignment of the field of view.
【技术实现步骤摘要】
视场对准设备及视场对准系统
本技术涉及成像系统的视场对准领域,具体而言,涉及一种视场对准设备及视场对准系统。
技术介绍
像差测量仪是光学检测中的一个重要设备类型,视场对准中哈特曼传感器是一种重要的手段。哈特曼波前传感器在对成像系统进行视场对准时,必须将汇聚光斑通过准直透镜准直形成入射波面后,利用微透镜阵列对入射波前进行分割,并通过放置在微透镜阵列的焦面上的CCD探测器直接探测分割后远场光斑阵列。哈特曼传感器的微透镜阵列对应同一个视场,因此需要在微透镜阵列之前加上光学准直系统,便于透镜阵列对于波前的分割。并且微透镜阵列对应同一个视场,加上微透镜的工艺限制,使得其所能测量的视场十分小。为了保证哈特曼传感器的正常工作,首先要完成哈特曼传感器的视场对准。传统的哈特曼传感器的视场对准方式是通过观察其子孔径上的光斑位置。一方面无法保证子孔径的光斑能够与微透镜阵列单元实现一一对应,从而保证结果是准确的;另一方面整个哈特曼传感器的探测视场是十分小的,将目标视场在子孔径上成像难度都极大,以这种方式对准视场是十分有限的。
技术实现思路
为了克服现有技术中的上述不足,本技术的目的在于提供一种视 ...
【技术保护点】
一种视场对准设备,其特征在于,所述视场对准设备包括:激光发射器、激光输出器、准直透镜、第一半透半反镜、第二半透半反镜、第一相机、光阑、成像透镜、缩束系统、哈特曼传感器及电源;所述激光发射器与所述激光输出器通过光纤连接,所述激光发射器产生的激光经由所述光纤传递到所述激光输出器;所述激光输出器的激光输出端位于所述准直透镜的焦点位置处,以使激光经过所述准直透镜后输出平行光;所述平行光经由所述第一半透半反镜及所述第二半透半反镜形成两个光路分支,其中,一光路分支经由成像透镜在所述第一相机上形成远场光斑成像,另一光路分支经由所述光阑用于进行校准之后,通过所述缩束系统在所述哈特曼传感器形 ...
【技术特征摘要】
1.一种视场对准设备,其特征在于,所述视场对准设备包括:激光发射器、激光输出器、准直透镜、第一半透半反镜、第二半透半反镜、第一相机、光阑、成像透镜、缩束系统、哈特曼传感器及电源;所述激光发射器与所述激光输出器通过光纤连接,所述激光发射器产生的激光经由所述光纤传递到所述激光输出器;所述激光输出器的激光输出端位于所述准直透镜的焦点位置处,以使激光经过所述准直透镜后输出平行光;所述平行光经由所述第一半透半反镜及所述第二半透半反镜形成两个光路分支,其中,一光路分支经由成像透镜在所述第一相机上形成远场光斑成像,另一光路分支经由所述光阑用于进行校准之后,通过所述缩束系统在所述哈特曼传感器形成光斑阵列;所述电源为所述视场对准设备提供能量。2.如权利要求1所述的视场对准设备,其特征在于,所述视场对准设备还包括:反射镜;所述反射镜设置在通过所述准直透镜形成的平行光的光路上,用于改变所述平行光的方向。3.如权利要求2所述的视场对准设备,其特征在于,所述缩束系统还包括:第一缩束镜及第二缩束镜;所述光阑位于所述第一缩束镜与所述第二缩束镜之间,且所述光阑位于所述第一缩束镜的焦点位置。4.如权利要求3所述的视场对准设备,其特征在于,所述视场对准设备还包括:第二相机;所述第二相机对准所述光阑,所述第二相机用于观察视场内光斑在所述光阑上的位置以进行对准,其中,所述...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。