The present invention relates to a method of calculating cross section area to calculate the cross section area attached to a substrate. The method used to calculate the cross section area includes the process of obtaining the thickness change curve of the adhesion body; used to extract the existence of the peak and the baseline between the thickness of the adhesive body thickness change curve map. The process of multiple transition points; and the process of calculating the cross sectional area of the adhesive body with the value between the transition points on the curve of the adhesive body. By means of the method, the cross-sectional area of the adhesive body can be produced instantly and accurately.
【技术实现步骤摘要】
用于计算横截面积的方法
本专利技术涉及一种用于计算横截面积的方法,且更确切地说,涉及一种能够即时且准确地计算粘附到衬底上的粘附体的横截面积的用于计算横截面积的方法。
技术介绍
一般来说,涂覆装置将例如硅的原材料涂覆到玻璃上以形成图案。涂覆装置可包含用于排出原材料的喷嘴、用于测量喷嘴与玻璃之间的空间的位移传感器和用于移动喷嘴的驱动器。为了使用此涂覆装置将图案形成于玻璃上,首先应测量玻璃与喷嘴之间的距离,且接着应通过涂覆装置上下移动来调整玻璃与喷嘴之间的空间,使得原材料由涂覆装置排出。且接着,通过移动喷嘴(原材料从其排出)而形成图案。此时,重要地,应按预定量将原材料涂覆于玻璃上。为了验证以上,测量涂覆的原材料的横截面积,且可将测量的横截面积与待涂覆到单位面积上的原材料的量比较。为了测量原材料的横截面积,在相关技术中使用表面扫描激光位移传感器。然而,此位移传感器在可测量横截面积的范围中具有限制以具有非常小的可测量的区域。因此,为了准确地测量原材料的横截面积,应通过移动和停止位移传感器来测量多个地方的横截面积。因此,存在在测量原材料的横截面积上花费太多时间的问题。& ...
【技术保护点】
一种用于计算横截面积的方法,以计算粘附到衬底上的粘附体的所述横截面积,其特征在于,用于计算所述横截面积的所述方法包括:用于获取所述粘附体的厚度改变曲线图的过程;用于提取在所述粘附体的所述厚度改变曲线图上的峰顶与基线之间存在的多个过渡点的过程;以及用于使用所述粘附体的所述厚度改变曲线图上的所述过渡点之间的值计算所述粘附体的所述横截面积的过程。
【技术特征摘要】
2016.10.26 KR 10-2016-01402931.一种用于计算横截面积的方法,以计算粘附到衬底上的粘附体的所述横截面积,其特征在于,用于计算所述横截面积的所述方法包括:用于获取所述粘附体的厚度改变曲线图的过程;用于提取在所述粘附体的所述厚度改变曲线图上的峰顶与基线之间存在的多个过渡点的过程;以及用于使用所述粘附体的所述厚度改变曲线图上的所述过渡点之间的值计算所述粘附体的所述横截面积的过程。2.根据权利要求1所述的用于计算所述横截面积的方法,其中用于获取所述粘附体的所述厚度改变曲线图的所述过程包括:用于获取所述衬底的均匀性曲线图的过程;用于获取所述粘附体的均匀性曲线图的过程;以及用于计算所述衬底的所述均匀性曲线图和所述粘附体的所述均匀性曲线图的过程。3.根据权利要求2所述的用于计算所述横截面积的方法,其中用于获取所述衬底的所述均匀性曲线图的所述过程包括用于测量在所述衬底上的一个方向上的线上的高度值的过程,用于获取所述粘附体的所述均匀性曲线图的所述过程包括用于测量对应于所述线的所述粘附体的高度值的过程,且用于计算所述衬底的所述均匀性曲线图和所述粘附体的所述均匀性曲线图的所述过程包括用于从所述粘附体的所述均匀性曲线图减去所述衬底的所述均匀性曲线图的过程。4.根据权利要求3所述的用于计算所述横截面积的方法,其中用于测量所述衬底的所述高度值的所述过程包括用于通过沿着所述衬底上的所述线在所述一个方向上移动用于测量高度的所述测量仪器来测量所述高度值的过程,且用于测量所述粘...
【专利技术属性】
技术研发人员:成元珉,李根德,黄仁九,
申请(专利权)人:AP系统股份有限公司,
类型:发明
国别省市:韩国,KR
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