柔性显示器件及其制造方法技术

本发明专利技术提供了柔性显示器件及其制造方法，其中，柔性显示器件包括：一柔性基板；至少两层聚酰亚胺层，形成于柔性基板的一侧；以及至少一无机膜层，形成于两层聚酰亚胺层之间，无机膜层的一面设有多个突起，多个突起之间的间隙相互连通形成至少一个方向上的多条相互平行的弯折应力通道。本发明专利技术的柔性显示器件及其制造方法通过在第一聚酰亚胺层与第二聚酰亚胺层之间的无机膜层上设置多条配合弯折方向的弯折应力通道，来缓解在单方向的弯折时两层聚酰亚胺层之间内应力，减少无机膜层在弯曲到较大角度时弯折断裂的几率，改善了柔性有机发光器件的内应力，保障了柔性有机发光器件的可靠性，并同时保证无机膜层的阻水能力。

【技术实现步骤摘要】
柔性显示器件及其制造方法
本专利技术涉及OLED面板制程领域，尤其涉及柔性显示器件及其制造方法。
技术介绍
现今，柔性电子与柔性显示已成为近几年的研究热点；具有固定曲面、可弯曲、可折叠甚至可卷曲的柔性显示电子产品，包括柔性薄膜晶体管液晶显示器(FlexibleTFT-LCD)，柔性有机发光显示器(FlexibleOLED)等逐渐成为最具前景的高科技行业。众多国内外手机面板厂商均已投入巨资展开相关研究及验证，争相争抢柔性EL的技术及商业先机。图1为现有的柔性有机发光器件的剖面图。如图1所示，现有的柔性有机发光器件包括自下而上层叠的柔性基板1’、第一聚酰亚胺层21’、无机膜层3’和第二聚酰亚胺层22’。第一聚酰亚胺层21’位于柔性基板1’的一侧。无机膜层3’位于第一聚酰亚胺层21’背离柔性基板1’的一侧。第二聚酰亚胺层22’位于无机膜层3’背离第一聚酰亚胺层21’的一侧。第一聚酰亚胺层21’和第二聚酰亚胺层22’的主要材料都是PI(Polyimide，聚酰亚胺)，目前作为基板的PI结构通常为单层或者多层。由于PI本身阻水能力较差，也为了工艺中一些其它因素考量，在多层结构的PI与PI之间会加入无机膜层3’(以SiOx为例)来作为缓冲层。图2为现有的柔性有机发光器件弯折时的示意图。如图2所示，这种SiOx膜层的分布基本上为整面性且厚度较厚，由于无机膜层刚性较强，这增加了PI基板的内应力状况，在单方向弯折时容易使中间的无机膜层产生弯折断裂。(为了更容易看清断裂位置，图2中省略了无机膜层3’)有鉴于此，专利技术人提供了柔性显示器件及其制造方法。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的在于提供柔性显示器件及其制造方法，缓解了在单方向的弯折时两层聚酰亚胺层之间内应力，减少无机膜层在弯曲到较大角度时弯折断裂的几率，改善了柔性有机发光器件的内应力，保障了柔性有机发光器件的可靠性，并同时保证无机膜层的阻水能力。根据本专利技术的一个方面，提供一种柔性显示器件，包括：一柔性基板；至少两层聚酰亚胺层，形成于所述柔性基板的一侧；以及至少一无机膜层，形成于两层所述聚酰亚胺层之间，所述无机膜层的一面设有多个突起，多个所述突起之间的间隙相互连通形成至少一个方向上的多条相互平行的弯折应力通道。优选地，相邻的两层无机膜层的突起相互错位排列。优选地，所述突起包括平行排列的条状突起和/或矩阵排列的岛状突起。优选地，所述条状突起沿第一方向延伸，在与第一方向垂直的第二方向上排列，所述条状突起之间的弯折应力通道在所述第二方向上的宽度范围是50nm至500nm。优选地，每个所述条状突起的高度是10nm至500nm。优选地，每个所述条状突起在所述第二方向上的宽度范围是10nm至20um优选地，所述条状突起沿所述第二方向的横截面为矩形或梯形。优选地，所述梯形的底角的范围是5°至20°。优选地，所述岛状突起之间分别形成多个第一弯折应力通道和多个第二弯折应力通道；所述第一弯折应力通道沿第一方向延伸，在与第一方向垂直的第二方向上排列；所述第二弯折应力通道沿第二方向延伸，在第一方向上排列。优选地，所述岛状突起是锥台或柱体。优选地，所述无机膜层的厚度是5nm至50nm。优选地，还包括有机发光器件层，所述聚酰亚胺层位于所述有机发光器件层与所述柔性基板之间。根据本专利技术的另一个方面，还提供一种柔性显示器件的制造方法，包括：提供一柔性基板；在所述柔性基板的一侧形成第一聚酰亚胺层；在所述第一聚酰亚胺层背离所述柔性基板的一侧形成第一无机膜层，所述第一无机膜层的一面设有多个突起，多个所述突起之间的间隙相互连通形成至少一个方向上的多条相互平行的弯折应力通道；在所述第一无机膜层背离所述第一聚酰亚胺层的一侧形成第二聚酰亚胺层。优选地，在所述第二聚酰亚胺层背离所述第一无机膜层的一侧形成第二无机膜层；在第二无机膜层背离所述第二聚酰亚胺层的一侧形成第三聚酰亚胺层。优选地，在第三聚酰亚胺层背离所述第二无机膜层的一侧形成第三无机膜层；在第三无机膜层背离所述第三聚酰亚胺层的一侧形成第四聚酰亚胺层。优选地，相邻的两层无机膜层的突起相互错位排列。优选地，所述突起包括平行排列的条状突起和/或矩阵排列的岛状突起。优选地，所述条状突起沿第一方向延伸，在与第一方向垂直的第二方向上排列，所述条状突起之间的弯折应力通道在所述第二方向上的宽度范围是50nm至500nm。优选地，所述条状突起沿所述第二方向的横截面为矩形或梯形。优选地，所述岛状突起之间分别形成第一弯折应力通道和第二弯折应力通道；所述第一弯折应力通道沿第一方向延伸，在与第一方向垂直的第二方向上排列；所述第二弯折应力通道沿第二方向延伸，在与第二方向垂直的第一方向上排列。有鉴于此，本专利技术的柔性显示器件及其制造方法通过在第一聚酰亚胺层与第二聚酰亚胺层之间的无机膜层上设置多条配合弯折方向的弯折应力通道，来缓解在单方向的弯折时两层聚酰亚胺层之间内应力，减少无机膜层在弯曲到较大角度时弯折断裂的几率，改善了柔性有机发光器件的内应力，保障了柔性有机发光器件的可靠性，并同时保证无机膜层的阻水能力。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为现有的柔性有机发光器件的剖面图；图2为现有的柔性有机发光器件弯折时的示意图；图3为本专利技术的柔性有机发光器件的剖面图；图4为本专利技术的柔性有机发光器件的俯视图；图5为本专利技术的柔性有机发光器件弯折时的示意图；图6为本专利技术的另一种柔性有机发光器件的俯视图；图7为本专利技术的另一种柔性有机发光器件的剖面图；以及图8a至8f为另一种本专利技术的柔性有机发光器件的制程过程示意图。附图标记1’柔性基板21’第一聚酰亚胺层22’第二聚酰亚胺层3’无机膜层1柔性基板21第一聚酰亚胺层22第二聚酰亚胺层23第三聚酰亚胺层24第四聚酰亚胺层3第一无机膜层31条状突起32岛状突起33弯折应力通道33a第一弯折应力通道33b第二弯折应力通道4第二无机膜层41条状突起43弯折应力通道5第三无机膜层51条状突起53弯折应力通道A弯折区域B第一中线C第二中线E条状突起在剖面视角中的宽度F条状突起在剖面视角中的高度G条状突起在剖面视角中的底角H无机膜层的厚度I相邻条状突起在剖面视角中的间距X第二方向Y第一方向Z第三方向具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本专利技术将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本专利技术的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员应意识到，没有特定细节中的一个或更多，或者采用其它的方法、组元、材料等，也可以实践本专利技术的技术方案。在某些情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本专利技术。图3为本专利技术的柔性有机发光器件的剖面示意图。图4为本专利技术的柔性有机发光器件的俯视图。如图3和4所示，本专利技术的柔性显示器件，包括：柔性基板1、至少两层聚酰亚胺层、至少一无机膜层以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性显示器件，其特征在于，包括：一柔性基板；至少两层聚酰亚胺层，形成于所述柔性基板的一侧；以及至少一无机膜层，形成于两层所述聚酰亚胺层之间，所述无机膜层的一面设有多个突起，多个所述突起之间的间隙相互连通形成至少一个方向上的多条相互平行的弯折应力通道。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示器件，其特征在于，包括：一柔性基板；至少两层聚酰亚胺层，形成于所述柔性基板的一侧；以及至少一无机膜层，形成于两层所述聚酰亚胺层之间，所述无机膜层的一面设有多个突起，多个所述突起之间的间隙相互连通形成至少一个方向上的多条相互平行的弯折应力通道。2.如权利要求1所述的柔性显示器件，其特征在于，相邻的两层无机膜层的突起相互错位排列。3.如权利要求1或2所述的柔性显示器件，其特征在于，所述突起包括平行排列的条状突起和/或矩阵排列的岛状突起。4.如权利要求3所述的柔性显示器件，其特征在于：所述条状突起沿第一方向延伸，在与第一方向垂直的第二方向上排列，所述条状突起之间的弯折应力通道在所述第二方向上的宽度范围是50nm至500nm。5.如权利要求3所述的柔性显示器件，其特征在于：每个所述条状突起的高度是10nm至500nm。6.如权利要求3所述的柔性显示器件，其特征在于：每个所述条状突起在所述第二方向上的宽度范围是10nm至20um。7.如权利要求3所述的柔性显示器件，其特征在于：所述条状突起沿所述第二方向的横截面为矩形或梯形。8.如权利要求7所述的柔性显示器件，其特征在于：所述梯形的底角的范围是5°至20°。9.如权利要求3所述的柔性显示器件，其特征在于：所述岛状突起之间分别形成多个第一弯折应力通道和多个第二弯折应力通道；所述第一弯折应力通道沿第一方向延伸，在与第一方向垂直的第二方向上排列；所述第二弯折应力通道沿第二方向延伸，在第一方向上排列。10.如权利要求3所述的柔性显示器件，其特征在于：所述岛状突起是锥台或柱体。11.如权利要求3所述的柔性显示器件，其特征在于：所述无机膜层的厚度是5nm至50nm。12.如权利要求1所述的柔性显示器件，其特征在于：还包括有机发光器件层，所述聚酰亚胺层位于所述有机发光器件层与所述柔性基...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛晨航，亢澎涛，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31