复合部件及复合部件的制造方法及含有脂肪族聚碳酸酯的层技术

本发明专利技术的课题在于，提供一种实现微细配线形成的简便化及/或高品质化的复合部件。本发明专利技术的解决手段在于，本发明专利技术的一种复合部件(100)，其配置在基材上的多个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层的至少表面，曝露在含有180nm以上且370nm以下的波长的紫外光15分钟后，纯水与其表面的接触角度为50°以上，在各个该前体层所夹持的区域的至少一部分，具备位于前述基材上的金属墨液。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】复合部件及复合部件的制造方法及含有脂肪族聚碳酸酯的层
本专利技术涉及一种复合部件及复合部件的制造方法及含有脂肪族聚碳酸酯的层。现有技术作为各种经微细化的电子组件用的配线形成方法，多年来，持续采用如真空制程中的一种即溅镀法，其为需要较长时间、及/或昂贵的设备的制程。另一方面，作为用以形成导电性配线的其它方法，存在使用金属墨液的所谓喷墨印刷法。近年来，在现有技术文献方面，已公开一种使用喷墨印刷法，而能够在低温(例如，160℃)且短时间形成比电阻较小的导电性配线的喷墨印刷用墨液、以及使用该墨液的导电性配线的形成方法及导电性配线(专利文献1)。另外，着眼于在低温条件下的该配线的形成技术，也已进行在软性树脂基板上形成电子组件的尝试。另一方面，虽然就形成各种经微细化的电子组件用的配线的观点而言，没有关系，本申请专利技术者等，公开一种氧化物半导体层的制造方法，包含下列工序：将氧化物半导体的前体，层状地形成在基板上或其上方的前体层的形成工序，其中该氧化物半导体的前体，使经氧化时成为氧化物半导体的金属化合物分散在含有由脂肪族聚碳酸酯所构成的粘结剂(可能含有不可避免的杂质)的溶液中而成；及将前述前体层，通过使前述粘结剂90wt％以上分解的第1温度加热后，进而通过比前述第1温度更高且前述金属与氧产生键结的温度，而且前述前体在示差热分析法(DTA)的发热尖峰值的第2温度以上的温度，将前述前体层进行烧成的烧成工序(专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-042758号公报专利文献2：日本特许第5749411号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，为了形成其配线图案，通常必须使用以光刻法作为代表的高成本且高度复杂化的工序或设备环境。而且，形成其图案后，因为需要另外的工序用以将其配线以外的不需要的膜(仅用以形成该图案的膜等)除去，所以需要额外的成本，同时也造成以电子装置作为代表的各种最终制品产率降低。另外，使用以往被采用的上述真空制程和光刻法的制程，其采用需要相对较长时间、及/或昂贵的设备的制程，造成原材料和制造能源的使用效率降低或变差。因而，从工业性或量产性的观点而言，采用此种制程并不佳。而且，为了准确性较高地形成以金属墨液作为起始材而形成的金属配线图案，用以形成其图案的膜片，被要求对该金属墨液具有充分的疏液性。但是能够至形成该配线为止，经过所需的若干工序的相当长的时间后，维持其疏液性是非常困难的。另外，另一方面，为了使用金属墨液而形成配线，被要求金属墨液本身与基底层或母材具有较高的亲和性，换言之为较高的湿润性。因此，实现用于形成该配线用的图案的膜片对该金属墨液的疏液性、及所述湿润性的并存，而且该为长时间的并存，成为使用金属墨液用以形成可靠性高的配线的重要的要素技术之一。用以解决课题的手段本专利技术提供一种能够对实现微细配线形成的简便化、及/或高品质化有贡献，同时特别是能够实现使用金属墨液形成微细配线的简便化、及/或高品质化有重大的贡献的复合部件及复合部件的制造方法及含有脂肪族聚碳酸酯的层。本申请专利技术者等，为了利用所谓使用金属墨液的喷墨印刷法来形成金属层的图案，重复专心研讨及分析，而找出比现有的方法更简便且可靠性更高的方法。其结果，得知以下的情形：通过对形成该金属层的基材的至少表面照射紫外光，使该基材的特性(例如，金属墨液的湿润性)提升。另一方面，对用以形成金属层的图案而设置的现有的牺牲层照射紫外光，反而使其疏液性减弱。因此，本申请专利技术者等，为了找出牺牲层的疏液性不因照射紫外光而劣化或降低的材料，而重复专心研讨。其结果，本申请专利技术者等发现一种特殊的材料，即便照射紫外光，在一定时间内，几乎无法观察到作为牺牲层的疏液性的劣化，而且在基材上使用金属墨液形成图案后，加热使该金属墨液成为金属层时，能通过加热的非常简便的方法而能够将该牺牲层确实地，或者是说实质上不残留残渣而进行分解或除去。而且，着眼于该特殊的材料时，针对采用与金属墨液不同的手段而形成的金属层，发现上述材料或见解也能够有效地应用。另外，进一步重复研讨及分析的结果，本申请专利技术者等确认使用所谓纳米·压印法(也称为“压印加工法”，以下皆同)能够形成该图案。据此，同时发现从形成该图案至形成金属层为止，不必从头到尾使用真空或减压条件，也就是说真空制程而能够进行处理。本专利技术是基于上述各观点及许多的分析而创造出来。另外，在本申请，以“从液体至到达凝胶状态的过程”为代表的例子而言，是指通过热处理除去某种程度(相对于溶剂全体，以质量比为80％以上为代表，但是不限定于此数值)的溶剂，但是脂肪族聚碳酸酯实质上未被分解或除去的状况。就本专利技术的一种复合部件而言，配置在基材上的多个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层的至少表面，曝露在含有180nm以上且370nm以下的波长的紫外光15分钟后，纯水与其表面的接触角度为50°以上，而且在各个所述含有脂肪族聚碳酸酯的层所夹持的区域的至少一部分，具备位于前述基材上的金属墨液。根据该复合部件，即便将含有脂肪族聚碳酸酯的层曝露在上述的紫外光，该含有脂肪族聚碳酸酯的层也能够维持较高的疏水性。这是为了使金属墨液确实地配置在所期望的位置的各个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层所夹持的区域，使金属层的图案精确度提升。而且，根据该复合部件，通过加热处理，使配置在各个前述含有脂肪族聚碳酸酯的层所夹持的区域的该金属墨液变化成为金属层，在该含有脂肪族聚碳酸酯的层的溶剂成分消失的同时，该脂肪族聚碳酸酯被分解或除去。其结果，加热使基材上的该金属墨液成为金属层时，能通过非常简便的方法而能使该脂肪族聚碳酸酯实质上为不残留残渣地分解或除去。因此，能够对实现使用金属墨液形成微细配线的简便化、及/或高品质化有重大的贡献。另外，就本专利技术的另外一种复合部件而言，配置在基材上的多个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层的至少表面，曝露在含有180nm以上且370nm以下的波长的紫外光15分钟后，纯水与前述表面的接触角度为50°以上，而且在各个前述含有脂肪族聚碳酸酯的层所夹持的区域的至少一部分，具备位于前述基材上的镀金属层的起始材层。根据该复合部件，即使将含有脂肪族聚碳酸酯的层曝露在上述的紫外光，该含有脂肪族聚碳酸酯的层也能够维持较高的疏水性。这是为了使镀金属层的起始材层确实地配置在所需要的位置的各个岛状的含有脂肪族聚碳酸酯的层所夹持的区域，而能使之后的镀金属层的起始材层的图案精确度提升。而且，根据该复合部件，通过施行加热处理，在该含有脂肪族聚碳酸酯的层的溶剂成分消失的同时，该脂肪族聚碳酸酯被分解或除去。其结果，能通过非常简便的方法而将该脂肪族聚碳酸酯实质上不残留残渣地分解或除去。因此，能够对实现使用镀金属层的起始材层形成微细配线的简便化、及/或高品质化有重大的贡献。另外，本专利技术的一种含有脂肪族聚碳酸酯的层是多个岛状的含有脂肪族聚碳酸酯的层，该含有脂肪族聚碳酸酯的层的至少表面曝露在包含180nm以上且370nm以下的波长的紫外光15分钟后，纯水与前述表面的接触角度为50°以上。根据该含有脂肪族聚碳酸酯的层，该含有脂肪族聚碳酸酯的层即便曝露在上述的紫外光，该含有脂肪族聚碳酸酯的层也能够维持较高的疏水性。其结果，例如在各个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层所夹持的区域配置金属墨液时，因为能够确实地将该金属墨液配本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种复合部件，其中，配置在基材上的多个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层的至少表面，曝露在含有180nm以上且370nm以下的波长的紫外光15分钟后，纯水与所述表面的接触角度为50°以上，在各个所述含有脂肪族聚碳酸酯的层所夹持的区域的至少一部分，具备所述基材上的金属墨液。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.18 JP 2015-185569;2015.11.12 JP 2015-221921.一种复合部件，其中，配置在基材上的多个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层的至少表面，曝露在含有180nm以上且370nm以下的波长的紫外光15分钟后，纯水与所述表面的接触角度为50°以上，在各个所述含有脂肪族聚碳酸酯的层所夹持的区域的至少一部分，具备所述基材上的金属墨液。2.一种复合部件，其中，配置在基材上的多个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层的至少表面，曝露在含有180nm以上且370nm以下的波长的紫外光15分钟后，纯水与所述表面的接触角度为50°以上，在各个所述含有脂肪族聚碳酸酯的层所夹持的区域的至少一部分，具备所述基材上的镀金属层的起始材层。3.根据权利要求1或2所述的复合部件，其中，所述表面曝露在所述紫外光5分钟后，纯水与所述表面的接触角度为60°以上。4.根据权利要求1或2所述的复合部件，其中，边照射含有180nm以上且370nm以下的波长的紫外光，边以120℃以上且小于180℃加热后，所述含有脂肪族聚碳酸酯的层实质上被分解或除去。5.根据权利要求1或2所述的复合部件，其中，在180℃以上加热后，所述含有脂肪族聚碳酸酯的层实质上被分解或除去。6.根据权利要求1或2所述的复合部件，其中，各个所述含有脂肪族聚碳酸酯的层之间的最短距离为500nm以上且20μm以下。7.根据权利要求1所述的复合部件，其中，所述金属墨液为金属配线用中间材。8.一种含有脂肪族聚碳酸酯的层，其是多个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层，所述含有脂肪族聚碳酸酯的层的至少表面曝露在含有180nm以上且370nm以下的波长的紫外光15分钟后，纯水与所述表面的接触角度为50°以上。9.根据权利要求8所述的含有脂肪族聚碳酸酯的层，其中，所述表面曝露在所述紫外光5分钟后，纯水与所述表面的接触角度为60°以上。10.一种复合部件的制造方法，包括以下工序：紫外光照射工序，对配置在基...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上聪，下田达也，深田和宏，西冈圣司，铃木正博，
申请(专利权)人：国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学，住友精化株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP