一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置及方法，包括：接收单元，用于提供给用户输入选择命令；下载单元，用于选择目标机台后，下载相应的待检查程式文件；参数收集单元，用于根据预设的导弹攻击策略对待检查程式文件中的每个程式分别收集待检查参数，并生成待检查参数报表，导弹攻击策略为根据待检查文件的文件格式逐行遍历待检查文件以获取待检查参数；程式正确性检查单元，用于对待检查参数报表进行正确性检查以获得对应待检查程式文件的检查结果。本发明专利技术的有益效果：可以自动对VARIAN离子注入机台的离子注入程式进行正确性检查，不仅节省人工检查时的人力，而且更能保证100％检出程式错误，避免程式错误造成的损失。

【技术实现步骤摘要】
一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置及方法
本专利技术涉及半导体器件制造
，尤其涉及一种针对离子注入程式的自动化程式管理装置及方法。
技术介绍
目前，在芯片制造过程中，离子注入是十分重要的工艺环节，通常利用离子注入机台完成。但是，该工艺无法像其他工艺一样用膜厚、关键性尺寸等手段进行在线监控，一旦离子注入程式有误，到电性测试时才能发现，会造成重大损失。针对上述问题，业界通行做法为：在程式建立后，安排工程师对程式进行复检，以在使用程式前修正程式错误。但是，鉴于程式参数众多和机台软件的复杂性，工程师复检也难以100％检出错误。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置及方法，用于对VARIAN离子注入机台的程式进行正确性检查，不仅节省人工检查时的人力，而且能保证100％检出程式错误，将错误扼杀在跑货前，避免程式错误造成的损失。本专利技术采用如下技术方案：一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置，所述自动化程式管理装置与多个离子注入机台通信连接；所述自动化程式管理装置包括：接收单元，所述接收单元用于提供给用户输入选择命令，以从多个所述离子注入机台中选择目标机台；下载单元，所述下载单元连接所述接收单元，用于在所述接收单元选择所述目标机台后，从所述目标机台下载相应的待检查程式文件；参数收集单元，所述参数收集单元连接所述下载单元，用于根据预设的导弹攻击策略对所述待检查程式文件中的每个程式分别收集待检查参数，并生成待检查参数报表，所述导弹攻击策略为根据所述待检查文件的文件格式逐行遍历所述待检查文件以获取所述待检查参数；程式正确性检查单元，所述程式正确性检查单元连接参数收集单元，用于对所述待检查参数报表进行正确性检查以获得对应所述待检查程式文件的检查结果，并输出所述检查结果。优选的，所述自动化程式管理装置设置于一客户端，所述客户端与多个所述离子注入机台的机台服务器之间采用分布式C/S结构通信连接。优选的，所述程式正确性检查单元采用模块化检查规则管理方式，自动检查所述待检查程式文件中的每个所述程式及相应的待检查参数是否正确，并利用绿红黄白四种颜色标识不同参数。优选的，所述程式正确性检查单元通过如下步骤对所述待检查程式文件中的每个所述程式及相应的所述待检查参数进行正确性检查：检查程式名；如果所述程式为非标准命名，用白色标识所述程式，并转到下一所述程式；如果所述程式为标准命名但命名有误，用黄色标识所述程式，并转到下一所述程式；如果所述程式为标准命名且命名无误，则从所述程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。优选的，所述待检查参数收集单元先定义待收集参数名数组和待收集参数数组，根据所述待检查程式文件的文件格式定位每个所述程式的起始位置，并根据所述待检查程式文件的文件格式逐行遍历所述待检查程式文件，并从所述待检查程式文件的每一行中析出参数名，并判断析出的参数名是否位于待收集参数名数组中，若是，则将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置，若否，则转到当前程式下一行。一种针对离子注入机台的自动化程式管理方法，包括：步骤S1、接收用户输入的选择命令，从多个离子注入机台中选择目标机台；步骤S2、于接收到所述选择命令后，根据所述选择命令从所述目标机台的服务器下载待检查程式文件；步骤S3、采用根据所述待检查文件的文件格式逐行遍历所述待检查文件的导弹攻击策略分别对所述待检查文件中的每个所述程式收集待检查参数，生成待检查参数报表；步骤S4、对所述待检查参数报表进行正确性检查以获得对应所述待检查程式文件的检查结果，并输出所述检查结果。优选的，所述自动化程式管理装置设置于一客户端，所述客户端与多个所述离子注入机台的机台服务器之间采用分布式C/S结构通信连接。优选的，所述步骤S4中，采用模块化检查规则管理方式，自动检查所述待检查程式文件中的每个所述程式及相应的待检查参数是否正确，并利用绿红黄白四种颜色标识不同参数。优选的，所述步骤S4中进一步包括对所述待检查程式文件中的每个所述程式及相应的所述待检查参数进行正确性检查，对所述待检查参数进行正确性检查具体步骤如下：如果所述程式为非标准命名，用白色标识所述程式，并转到下一所述程式；如果所述程式为标准命名但命名有误，用黄色标识所述程式，并转到下一所述程式；如果所述程式为标准命名且命名无误，则从所述程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。优选的，所述步骤S3包括：步骤S31、先定义待收集参数名数组和待收集参数数组；步骤S32、根据所述待检查程式文件的文件格式定位每个所述程式的起始位置；步骤S33、根据所述待检查程式文件的文件格式逐行遍历所述待检查程式文件，并从所述待检查程式文件的每一行中析出参数名，判断析出的参数名是否位于待收集参数名数组中：若判断结果为是，将当前行的参数值置于所述待收集参数数组对应位置；若判断结果为否，则转到当前所述程式下一行。本专利技术的有益效果：可以自动对VARIAN离子注入机台的离子注入程式进行正确性检查，不仅节省人工检查时的人力，而且更能保证100％检出程式错误，避免程式错误造成的损失。附图说明图1为本专利技术的一种优选实施例中，一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置的系统架构图；图2为本专利技术的一种优选实施例中，一种针对离子注入机台的自动化程式管理方法的流程示意图；图3为本专利技术的一种优选实施例中，步骤S3的流程示意图；图4为现有技术中，采用炸弹攻击策略的流程示意图；图5为本专利技术的一种具体实施例中，采用炮弹攻击策略的流程示意图.具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，下述技术方案，技术特征之间可以相互组合。下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步的说明：如图1所示，一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置，上述自动化程式管理装置与多个离子注入机台通信连接；上述自动化程式管理装置包括：接收单元1，上述接收单元1用于提供给用户输入选择命令，以从多个上述离子注入机台中选择目标机台；下载单元2，上述下载单元2连接上述接收单元1，用于在上述接收单元1选择上述目标机台后，从上述目标机台下载相应的待检查程式文件；参数收集单元3，上述参数收集单元3连接上述下载单元2，用于根据预设的导弹攻击策略对上述待检查程式文件中的每个程式分别收集待检查参数，并生成待检查参数报表，上述导弹攻击策略为采用先逐列遍历上述待检查程式文件的标题行、再逐行遍历上述待检查文件以获取上述待检查参数；程式正确性检查单元4，上述程式正确性检查单元4连接参数收集单元3，用于对上述待检查单元4进行正确性检查以获得对应上述待检查程式文件的检查结果，并输出上述检查结果。在本实施例中，通过在客户端设置自动化程式正确性管理装置，将程式从VARIAN离子注入机台分布式服务器下载到客户端，并采用先逐列遍历程式文件标题行、再逐行遍历程式文件的“导弹攻击”策略将程式中的待检查参数收集到软本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置，所述自动化程式管理装置与多个离子注入机台通信连接；其特征在于，所述自动化程式管理装置包括：接收单元，所述接收单元用于提供给用户输入选择命令，以从多个所述离子注入机台中选择目标机台；下载单元，所述下载单元连接所述接收单元，用于在所述接收单元选择所述目标机台后，从所述目标机台下载相应的待检查程式文件；参数收集单元，所述参数收集单元连接所述下载单元，用于根据预设的导弹攻击策略对所述待检查程式文件中的每个程式分别收集待检查参数，并生成待检查参数报表，所述导弹攻击策略为根据所述待检查文件的文件格式逐行遍历所述待检查文件以获取所述待检查参数；程式正确性检查单元，所述程式正确性检查单元连接参数收集单元，用于对所述待检查参数报表进行正确性检查以获得对应所述待检查程式文件的检查结果，并输出所述检查结果。

【技术特征摘要】
1.一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置，所述自动化程式管理装置与多个离子注入机台通信连接；其特征在于，所述自动化程式管理装置包括：接收单元，所述接收单元用于提供给用户输入选择命令，以从多个所述离子注入机台中选择目标机台；下载单元，所述下载单元连接所述接收单元，用于在所述接收单元选择所述目标机台后，从所述目标机台下载相应的待检查程式文件；参数收集单元，所述参数收集单元连接所述下载单元，用于根据预设的导弹攻击策略对所述待检查程式文件中的每个程式分别收集待检查参数，并生成待检查参数报表，所述导弹攻击策略为根据所述待检查文件的文件格式逐行遍历所述待检查文件以获取所述待检查参数；程式正确性检查单元，所述程式正确性检查单元连接参数收集单元，用于对所述待检查参数报表进行正确性检查以获得对应所述待检查程式文件的检查结果，并输出所述检查结果。2.根据权利要求1所述的自动化程式管理装置，其特征在于，所述自动化程式管理装置设置于一客户端，所述客户端与多个所述离子注入机台的机台服务器之间采用分布式C/S结构通信连接。3.根据权利要求1所述的自动化程式管理装置，其特征在于，所述程式正确性检查单元采用模块化检查规则管理方式，自动检查所述待检查程式文件中的每个所述程式及相应的待检查参数是否正确，并利用绿红黄白四种颜色标识不同参数。4.根据权利要求3所述的自动化程式管理装置，其特征在于，所述程式正确性检查单元通过如下步骤对所述待检查程式文件中的每个所述程式及相应的所述待检查参数进行正确性检查：检查程式名；如果所述程式为非标准命名，用白色标识所述程式，并转到下一所述程式；如果所述程式为标准命名但命名有误，用黄色标识所述程式，并转到下一所述程式；如果所述程式为标准命名且命名无误，则从所述程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。5.根据权利要求1所述的自动化程式管理装置，其特征在于，所述待检查参数收集单元先定义待收集参数名数组和待收集参数数组，根据所述待检查程式文件的文件格式定位每个所述程式的起始位置，并根据所述待检查程式文件的文件格式逐行遍历所述待检查程式文件，并从所述待检查程式文件的每一行中析出参数名，并判断析出的参数名是否位于待收集参数名数组中，若是，则将当前行的参数值置于待收集参数数...

【专利技术属性】
技术研发人员：高杏，孙天佑，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31