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本发明提供一种针对离子注入机台的自动化程式管理装置及方法，包括：接收单元，用于提供给用户输入选择命令；下载单元，用于选择目标机台后，下载相应的待检查程式文件；参数收集单元，用于根据预设的导弹攻击策略对待检查程式文件中的每个程式分别收集待检查...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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